感光性非电解镀基底剂的制作方法

文档序号:11160661阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种感光性基底剂,是用于通过非电解镀处理在基材上形成金属镀膜的基底剂,其包含:

(a)分子末端具有铵基且重均分子量为1,000~5,000,000的超支化聚合物,

(b)金属微粒,

(c)分子内具有3个以上(甲基)丙烯酰基的聚合性化合物,以及

(d)光聚合引发剂。

2.根据权利要求1所述的感光性基底剂,所述(c)聚合性化合物为分子内具有3个以上(甲基)丙烯酰基且具有氧亚烷基的化合物。

3.根据权利要求1或2所述的感光性基底剂,其进一步包含(e)分子内具有1个或2个(甲基)丙烯酰基的氨基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯化合物。

4.根据权利要求1~3中的任一项所述的感光性基底剂,所述(a)超支化聚合物为式[1]所示的超支化聚合物,

式中,R1各自独立地表示氢原子或甲基,R2~R4各自独立地表示氢原子、碳原子数1~20的直链状、分支状或环状的烷基、碳原子数7~20的芳基烷基或-(CH2CH2O)mR5,式中,R5表示氢原子或甲基,m表示2~100的整数,该烷基和芳基烷基可以被烷氧基、羟基、铵基、羧基或氰基取代,或者R2~R4中的2个基团连在一起而表示直链状、分支状或环状的亚烷基,或者R2~R4以及它们所结合的氮原子可以连在一起而形成环,X-表示阴离子,n为重复单元结构数,表示5~100,000的整数,A1表示式[2]所示的结构,

式中,A2表示可以包含醚键或酯键的碳原子数1~30的直链状、分支状或环状的亚烷基,Y1~Y4各自独立地表示氢原子、碳原子数1~20的烷基、碳原子数1~20的烷氧基、硝基、羟基、氨基、羧基或氰基。

5.根据权利要求4所述的感光性基底剂,所述(a)超支化聚合物为式[3]所示的超支化聚合物,

式中,R1~R4和n表示与上述相同的含义。

6.根据权利要求1~5中的任一项所述的感光性基底剂,所述(b)金属微粒为选自铁(Fe)、钴(Co)、镍(Ni)、铜(Cu)、钯(Pd)、银(Ag)、锡(Sn)、铂(Pt)和金(Au)中的至少一种金属的微粒。

7.根据权利要求6所述的感光性基底剂,所述(b)金属微粒为钯微粒。

8.根据权利要求1~7中的任一项所述的感光性基底剂,所述(b)金属微粒为具有1~100nm的平均粒径的微粒。

9.根据权利要求1~8中的任一项所述的感光性基底剂,其能够通过光刻来形成图案。

10.一种非电解镀基底层,其是通过将权利要求1~9中的任一项所述的感光性基底剂形成层,将该层进行光刻而获得的。

11.一种金属镀膜,其是通过对权利要求10所述的非电解镀基底层进行非电解镀而在该基底层上形成的。

12.一种金属被膜基材,其具备:基材;在该基材上形成的权利要求10所述的非电解镀基底层;以及在该非电解镀基底层上形成的权利要求11所述的金属镀膜。

13.一种金属被膜基材的制造方法,其包含下述A工序~C工序,

A工序:将权利要求1~9中的任一项所述的感光性基底剂涂布在基材上,具备基底层的工序,

B工序:通过光刻形成所期望的图案的基底层的工序,

C工序:将具备经图案形成的基底层的基材浸渍于非电解镀浴中,形成金属镀膜的工序。

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