技术总结
本发明公开了一种设有耗能板的外延片曝光装置，包括影像定准器，影像定准器顶部设有数字电子偏振画面捕捉结构，数字电子偏振画面捕捉结构与影像定准器之间安装有曝光灯，数字电子偏振画面捕捉结构与影像定准器之间通过可调节装置连接，影像定准器底部位于一操作平台上，影像定准器与操作平台之间铰接，操作平台靠近两侧面下表面处安装有云台，云台与操作平台之间固定连接，两云台之间连接有耗能板，耗能板不止一个，耗能板上设有导轨。本设有耗能板的外延片曝光装置提高了设备的制动化和智能化程度，使得安全系数大幅度提高，提高了曝光精度，同时延长了曝光设备的使用寿命，具有良好的调节性，调试简单，方便操作。
技术研发人员：姚海林
受保护的技术使用者：东莞唯度电子科技服务有限公司
文档号码：201611010291
技术研发日：2016.11.17
技术公布日：2017.05.10