技术总结
本发明提供一种基板清洁干燥装置及其维护方法，其通过将基板清洁干燥装置中两个基板清洁干燥单元的进气通路和出气通路分别通过两个三通阀连接到一起，使得当其中一个基板清洁干燥单元的增压泵出现故障需要维护时，可在维护期间利用另一个基板清洁干燥单元的增压泵来继续工作，从而减少因增压泵出现故障而导致基板清洁干燥单元无法工作的问题，能够提高生产效率。
技术研发人员：苏彦荧
受保护的技术使用者：武汉华星光电技术有限公司
文档号码：201611067009
技术研发日：2016.11.28
技术公布日：2017.03.22