一种减缓铝腐蚀的显影液的制作方法

文档序号:12062549阅读:2367来源:国知局

本发明涉及半导体加工技术领域,特别涉及一种减缓铝腐蚀的显影液。



背景技术:

光刻胶也称为光致抗蚀剂,是一种光敏材料,它受到光照后特性会发生改变。光刻胶主要用来将光刻掩膜版上的图形转移到晶圆片上。光刻胶有正胶和负胶之分。正胶经过曝光后,受到光照的部分变得容易溶解,经过显影后被溶解,只留下未受光照的部分形成图形;而负胶却恰恰相反,经过曝光后,受到光照的部分会变得不易溶解,经过显影后,留下光照部分形成图形。

因为光刻胶的显影要在基材上完成,所以显影液会接触基材,但目前市场上大部分显影液存在腐蚀金属铝基材较快、显影均匀性较差、显影不洁、未曝光区域损失较大或显影液泡沫较多等问题,导致产品成品率低。

本发明就是为了提供一种新的显影液来解决以上问题。



技术实现要素:

本发明的主要目的在于提供一种减缓铝腐蚀的显影液。

本发明通过如下技术方案实现上述目的:一种减缓铝腐蚀的显影液,其配方包括:1-10wt%氢氧化季铵,0.1-10wt%缓蚀剂,0.01-3wt%表面活性剂以及余量的去离子水。

具体的,所述氢氧化季铵至少包括四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵、四丁基氢氧化铵、乙基三甲基氢氧化铵、二乙基二甲基氢氧化铵、甲基三丙基氢氧化铵、丁基三甲基氢氧化铵、甲基三丁基氢氧化铵、(2-羟基乙基)三甲基氢氧化铵、(2-羟基乙基)三乙基氢氧化铵、(3-羟基丙基)三乙基氢氧化铵、氢氧化四乙醇铵、苯基三甲基氢氧化铵、苯甲基三甲基氢氧化铵中的一种。

具体的,所述表面活性剂为聚二甲基硅氧烷、聚乙二醇甲基醚聚合物、环氧乙烷/环氧丙烷共聚物、四甲基癸炔二醇、缩水甘油醚封端炔二醇乙氧基化物中的一种。

进一步的,所述缓蚀剂为占显影液总重2-10wt%的木糖醇。

进一步的,所述缓蚀剂为占显影液总重0.1-4wt%的硅酸乙酯。

采用上述技术方案,本发明技术方案的有益效果是:

本发明对铝基材的腐蚀速度慢,不形成泡沫,显影干净,未曝光区域损失更小。

具体实施方式

下面结合具体实施例对本发明作进一步详细说明。

一种减缓铝腐蚀的显影液,其配方包括:1-10wt%氢氧化季铵,0.1-10wt%缓蚀剂,0.01-3wt%表面活性剂以及余量的去离子水。

实施例1~10:

按照表1的配方配制显影液。

表1:

注:表1内总配比不到100wt%的部分均为去离子水。

以现有市面上买到的含四甲基氢氧化铵的显影液作为对照例,同实施例1~15制得的显影液进行对比。

检测方法为:

①取厚度为0.5μm的铝片,浸入以上显影液中,观察现象和完全溶解的时间。

②在铝基材上滴加显影液,20min过后洗去显影液,观察显影表面、测量厚度最大误差以及未曝光区域厚度损失。

结果如下:

表2:

从表2所示的测试结果可以看出,本显影液对铝的腐蚀速度相比现有显影液有明显降低,也不会因为腐蚀而产生大量泡沫。显影过后表面比较干净,显影均匀性比较好,且对未曝光部分铝基材的腐蚀液比较小。因此相比于原技术,本方案效果更佳。

以上所述的仅是本发明的一些实施方式。对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明创造构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本发明的保护范围。

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