一种基于DMD的扫描式光刻机灰度图像曝光方法与流程

技术总结
本发明公开了一种基于DMD的扫描式光刻机灰度图像曝光方法，通过DMD控制器完成灰度曝光图像的分割和拼接，从而高速生成DMD灰度调制实时曝光图像，并根据曝光图像对DMD进行基于二元脉冲宽度的灰度调制，尽量缩短调制基准时间，提高DMD灰度曝光帧频，进而提高DMD数字光刻机曝光的工作效率。

技术研发人员：彭超;邹见效;何建;池文明;李艳
受保护的技术使用者：电子科技大学
文档号码：201710278725
技术研发日：2017.04.25
技术公布日：2017.06.23