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显影辅助剂的制作方法
文档序号:14834615
发布日期:2018-06-30 11:52
阅读:
来源:国知局
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显影辅助剂的制作方法
技术总结
本发明公开了一种显影辅助剂,包括以下各组分且各组分重量百分含量为:有机碱:0.01~5%;无机碱:0.01~5%;有机溶剂:0.1~10%;表面活性剂:0.01~5%;水:余量。本发明显影辅助剂可防止干膜显影过程中残渣的产生,减少金属面污染,提升产品良率;还可以提升溶膜量,进而减少显影液用量,降低显影液废水处理量及生产成本。
技术研发人员:
冯献超;冯泽宪;唐瑞泽
受保护的技术使用者:
昆山长优电子材料有限公司
技术研发日:
2018.03.15
技术公布日:
2018.06.29
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