技术总结
本发明公开了一种基于紫外灰阶光刻制备光波导球形凹面镜的方法，其核心部件主要是由一种特殊设计的长条形及紧接的半圆形组成的掩模图形；长条形区域无灰阶分布，透过的紫外光强各区域相同，半圆形区域具有灰阶分布，透过的紫外光强由圆心沿径向按特定函数分布规律变化；对于长条形区域，芯层胶通过掩模板的紫外光照射，显影后形成光波导芯层；在半圆形区域，对于正性芯层胶来说，厚度由圆心沿径向呈递增分布规律变化，对于负性芯层胶来说，厚度由圆心沿径向呈递减分布规律变化，从而整体形成光波导球形凹面或凸面；对球形凹面或凸面进行镀金属膜或介质高反射膜，形成球形凹面镜。本发明具有操作简单，可控性好，兼容光波导制备工艺流程的优点。
技术研发人员：王廷云;邓传鲁;王雪婷;黄怿;张小贝
受保护的技术使用者：上海大学
技术研发日：2019.09.06
技术公布日：2020.01.10