一种接近式光刻机光学系统的制作方法

技术总结
本实用新型提供了一种接近式光刻机光学系统，包括光源模块、导光管、照明镜头模块以及掩模面，所述光源模块的输出光束输入到所述导光管的输入端，所述照明镜头模块用于接收所述导光管的输出光线并输出照明光线，所述照明光线照射在所述掩模面上，使光源模块和导光管之间调试方便，便于组装和维护该光刻机光学系统。

技术研发人员：徐占辉;张晓辉;霍荣标;尹建刚;高云峰
受保护的技术使用者：大族激光科技产业集团股份有限公司
技术研发日：2019.03.14
技术公布日：2019.10.08