技术特征：
1.一种浸液供给回收装置，其特征在于：包括内基体和外基体，内基体环绕于末端物镜的径向外侧，外基体环绕于内基体的径向外侧；内基体和外基体之间具有间隙或隔离物；外基体位于衬底上方，与衬底形成第三间隙；内基体向末端物镜与衬底之间的间隙提供浸液；外基体从第三间隙中抽取浸液。2.如权利要求1所述的浸液供给回收装置，其特征在于：所述内基体包括主注液口和主抽排口，经主注液口提供浸液，经主抽排口抽排浸液。3.如权利要求1所述的浸液供给回收装置，其特征在于：所述外基体朝向衬底的一面具有密封抽排口，经密封抽排口抽排浸液和气体，随后浸液和气体流入外基体中的密封抽排腔。4.如权利要求1所述的浸液供给回收装置，其特征在于：所述内基体和外基体之间具有隔振垫，隔振垫使外基体向内基体传递的振动减弱。5.如权利要求4所述的浸液供给回收装置，其特征在于：所述隔振垫包含含氟塑料或含氟橡胶材料。6.如权利要求4所述的浸液供给回收装置，其特征在于：所述外基体与衬底的最小间距小于所述内基体与衬底的最小间距。7.如权利要求6所述的浸液供给回收装置，其特征在于：在所述外基体离衬底最近的面上设置所述密封抽排口。8.如权利要求4所述的浸液供给回收装置，其特征在于：所述内基体与外基体固定连接，支撑件连接外基体与基座。9.如权利要求1所述的浸液供给回收装置，其特征在于：所述内基体与外基体之间形成基体间隙。10.如权利要求9所述的浸液供给回收装置，其特征在于：所述内基体由内基体支撑件连接至基座，所述外基体由外基体支撑件连接至基座。11.如权利要求10所述的浸液供给回收装置，其特征在于：所述内基体由内基体支撑件刚性地连接至基座，保持与末端物镜的相对位置不变。12.如权利要求10所述的浸液供给回收装置，其特征在于：所述外基体支撑件可以驱动外基体靠近或者远离衬底。13.如权利要求9所述的浸液供给回收装置，其特征在于：在所述外基体中设置朝向基体间隙的间隙抽排口，经间隙抽排口抽排浸液。14.如权利要求13所述的浸液供给回收装置，其特征在于：所述间隙抽排口与密封抽排腔连通。15.如权利要求1至14中任一权利要求所述的浸液供给回收装置，其特征在于：还包括朝向衬底的底部注液口，经底部注液口提供浸液。16.如权利要求15所述的浸液供给回收装置，其特征在于：所述底部注液口位于内基体。