技术特征：
1.一种散热单元，其特征在于，该散热单元具有：散热构件，使热散出；以及传热构件，使通过吸收来自光源的光而产生的热传导到所述散热构件，在所述传热构件的所述光源所在侧的面配置有包含熔点比所述传热构件的材料高的材料的膜，所述膜接收所述光。2.根据权利要求1所述的散热单元，其特征在于，所述膜的厚度为1mm以下。3.根据权利要求2所述的散热单元，其特征在于，所述膜的厚度为0.01mm以上。4.根据权利要求1所述的散热单元，其特征在于，所述膜被热喷涂到所述传热构件的所述光源所在侧的面上。5.根据权利要求1所述的散热单元，其特征在于，所述膜的材料是陶瓷系的材料。6.根据权利要求1所述的散热单元，其特征在于，所述膜的材料是熔点为1100度以上的材料。7.根据权利要求1的散热单元，其特征在于，所述膜的材料包含氧化铝、氧化锆、二氧化钛、铬氧化物、氧化钇、氧化镁、氧化铬中的至少一种。8.根据权利要求1所述的散热单元，其特征在于，所述膜的材料包含钨、钽、钼、铌、铝、不锈钢系、mcralx合金、镍、ni基合金、高碳铁铬系、钴合金系、铜中的至少一种。9.根据权利要求1所述的散热单元，其特征在于，所述传热构件是未被分割的一体构造。10.根据权利要求1所述的散热单元，其特征在于，所述传热构件的材料包含银、铜、铝、镍、铂中的至少一种。11.根据权利要求1所述的散热单元，其特征在于，所述光是436nm以上的波长的光。12.根据权利要求1所述的散热单元，其特征在于，该散热单元还具有填埋所述散热构件与所述传热构件之间的间隙的中间构件，所述中间构件是石墨片、硅脂、加入金属粉末的膏中的任一种。13.根据权利要求1所述的散热单元，其特征在于，该散热单元在所述传热构件与所述膜之间还具有防止所述膜从所述传热构件的表面剥落的中间层，所述中间层的材料包含ni、ni-cr、ni-al、mcraly中的至少一种。14.一种照明光学系统，其特征在于，该照明光学系统具有：权利要求1至13中任一项所述的散热单元；光源；以及
光学元件，分离从所述光源射出的光，所述散热单元使通过吸收由所述光学元件分离出的一方的光而产生的热散出，利用由所述光学元件分离出的另一方的光进行照明。15.一种曝光装置，其特征在于，该曝光装置具有：权利要求14所述的照明光学系统；以及投影光学系统，将原版的图案曝光于基板，所述光学元件将从所述光源射出的光分离为曝光波长的光和非曝光波长的光，所述散热单元使通过吸收所述非曝光波长的光而产生的热散出，所述照明光学系统利用所述曝光波长的光对所述原版进行照明。16.根据权利要求15所述的曝光装置，其特征在于，所述曝光波长的光是比436nm短的波长的光，所述非曝光波长的光是436nm以上的波长的光。17.一种物品的制造方法，其特征在于，该物品的制造方法具备：曝光工序，使用权利要求15所述的曝光装置对基板进行曝光；以及显影工序，对在所述曝光工序中被曝光了的基板进行显影，通过在所述显影工序中被显影了的基板来制造物品。18.一种散热单元的制造方法，该散热单元使通过吸收从曝光装置的光源射出的光中的非曝光波长的光而产生的热散出，其特征在于，所述散热单元具有：散热构件，使热散出；以及传热构件，使通过吸收来自光源的光而产生的热传导到所述散热构件，所述制造方法包含以下的工序：在所述传热构件的所述光源所在侧的面上，热喷涂熔点比所述传热构件的材料高的材料而在所述传热构件上形成接收所述光的膜。
技术总结
本发明提供散热单元、曝光装置及物品的制造方法。该散热单元具有：散热构件，使热散出；以及传热构件，使通过吸收来自光源的光而产生的热传导到所述散热构件，在所述传热构件的所述光源所在侧的面配置有包含熔点比所述传热构件的材料高的材料的膜。构件的材料高的材料的膜。构件的材料高的材料的膜。
技术研发人员：中村阳子 下井泰晃
受保护的技术使用者：佳能株式会社
技术研发日：2022.01.29
技术公布日：2022/8/4