技术特征：
1.一种光学器件，其特征在于，包括：具有主面的基体；在所述基体被支承的可动部；和配置在所述可动部上的光学功能部，所述基体和所述可动部由从所述规定方向上的一侧起依次具有第1半导体层、绝缘层和第2半导体层的半导体基片构成，所述基体由所述第1半导体层、所述绝缘层和所述第2半导体层构成，所述可动部具有由所述第2半导体层构成的配置部，所述光学功能部配置在所述配置部的所述一侧的表面上，所述光学器件还具有设置于所述基体的电极垫，所述电极垫在以到达所述第2半导体层的方式在所述第1半导体层的所述一侧的表面形成的开口内，配置在所述第2半导体层的所述一侧的表面上。2.如权利要求1所述的光学器件，其特征在于：所述可动部还具有配置在所述光学功能部的周边的梁部，所述梁部由配置在所述第2半导体层上的所述第1半导体层和所述绝缘层构成，所述梁部的所述一侧的端面，位于比所述光学功能部靠所述一侧。3.如权利要求2所述的光学器件，其特征在于：所述梁部以在从所述规定方向看时沿所述配置部的外缘延伸的方式配置在所述配置部的所述一侧的所述表面上。4.如权利要求2或3所述的光学器件，其特征在于：所述可动部还具有在从所述规定方向看时包围所述配置部的框部和将所述配置部与所述框部相互连结的连结部，所述框部和所述连结部由所述第2半导体层构成，所述梁部以在从所述规定方向看时沿所述框部延伸的方式配置在所述框部的所述一侧的表面上。5.如权利要求2～4中的任一项所述的光学器件，其特征在于：构成所述梁部的所述第1半导体层比构成所述基体的所述第1半导体层薄。6.如权利要求1～5中的任一项所述的光学器件，其特征在于：所述基体具有槽部，该槽部以到达所述第2半导体层的方式形成于所述第1半导体层的所述一侧的所述表面，且以在从所述规定方向看时包围所述开口的方式延伸。7.如权利要求6所述的光学器件，其特征在于：所述电极垫跨所述开口的底面和侧面延伸。8.如权利要求6或7所述的光学器件，其特征在于：所述电极垫和所述光学功能部分别由金属层构成，构成所述电极垫的金属层比构成所述光学功能部的金属层厚。9.一种反射镜单元，其特征在于，包括：权利要求1～8中的任一项所述的光学器件；相对于所述光学器件配置在所述规定方向的另一侧的光学功能部件；和相对于所述光学功能部件配置在所述另一侧的固定反射镜，
所述光学功能部是与所述可动部一起构成可动反射镜的反射镜面，在所述光学器件形成有构成分束器单元与所述固定反射镜之间的光路的第1部分的第1光通过部，其中，该分束器单元与所述可动反射镜和所述固定反射镜一起构成干涉光学系统，在所述光学功能部件形成有构成所述分束器单元与所述固定反射镜之间的所述光路的第2部分的第2光通过部，所述第2光通过部对在所述分束器单元与所述可动反射镜之间的光路和所述分束器单元与所述固定反射镜之间的所述光路之间产生的光程差进行修正。10.如权利要求1所述的光学器件，其特征在于：所述可动部还具有配置在所述光学功能部的周边的梁部，所述梁部的所述一侧的端面，位于比所述光学功能部靠所述一侧。11.如权利要求1或10所述的光学器件，其特征在于：所述可动部还具有在从所述规定方向看时包围所述配置部的框部和将所述配置部与所述框部相互连结的连结部。12.如权利要求11所述的光学器件，其特征在于：所述框部和所述连结部由所述第2半导体层构成。13.如权利要求1所述的光学器件，其特征在于：所述可动部还具有配置在所述光学功能部的周边的梁部、在从所述规定方向看时包围所述配置部的框部和将所述配置部与所述框部相互连结的连结部，所述梁部以在从所述规定方向看时沿所述框部延伸的方式配置在所述框部的所述一侧的表面上。14.一种反射镜单元，其特征在于，包括：权利要求1～8、10～13中的任一项所述的光学器件；相对于所述光学器件配置在所述规定方向的另一侧的光学功能部件；和相对于所述光学功能部件配置在所述另一侧的固定反射镜，所述光学功能部是与所述可动部一起构成可动反射镜的反射镜面。
技术总结
在光学器件中，基体和可动部由从规定方向上的一侧起依次具有第1半导体层、绝缘层和第2半导体层的半导体基片构成。基体由第1半导体层、绝缘层和第2半导体层构成。可动部具有由第2半导体层构成的配置部。光学功能部配置在配置部的一侧的表面上。光学器件还具有设置于基体的电极垫，电极垫在以到达第2半导体层的方式在第1半导体层的一侧的表面形成的开口内，配置在第2半导体层的一侧的表面上。配置在第2半导体层的一侧的表面上。配置在第2半导体层的一侧的表面上。
技术研发人员：铃木智史 港谷恭辅 杉本达哉 藏本丰 柴山胜己 细川畅郎
受保护的技术使用者：浜松光子学株式会社
技术研发日：2018.07.06
技术公布日：2022/7/29