技术特征：
1.一种平衡块支撑结构，其特征在于，包括底座、顶盖、柔性管和驱动模块；所述柔性管的两端分别与所述底座和所述顶盖固定连接，三者围合形成一个密闭空间；所述顶盖用于安装平衡块；所述驱动模块设置在所述密闭空间内，所述驱动模块用于驱动所述顶盖运动。2.根据权利要求1所述的平衡块支撑结构，其特征在于，所述驱动模块驱动所述顶盖在三维坐标系中沿x轴方向和y轴方向移动以及绕z轴方向转动。3.根据权利要求2所述的平衡块支撑结构，其特征在于，所述驱动模块包括从下至上依次设置的z向转动模块、x向平动模块和y向平动模块；所述z向转动模块用于驱动所述x向平动模块在三维坐标系中绕z轴转动；所述x向平动模块用于驱动所述y向平动模块在三维坐标系中沿x轴方向移动，所述y向平动模块用于驱动顶盖在三维坐标系中沿y轴方向移动。4.根据权利要求3所述的平衡块支撑结构，其特征在于，所述z向转动模块包括轴承和第一支架，所述轴承固定安装在所述底座上，所述第一支架的一端与所述轴承转动连接，所述第一支架的另一端用于安装并带动所述x向平动模块绕z轴转动。5.根据权利要求4所述的平衡块支撑结构，其特征在于，所述第一支架包括转轴和安装部，所述转轴和所述安装部连接为一体并形成有台阶面，所述台阶面与所述轴承抵接，所述转轴与所述轴承转动连接，所述安装部用于安装并带动所述x向平动模块绕z轴转动。6.根据权利要求5所述的平衡块支撑结构，其特征在于，所述第一支架具有贯穿所述转轴和所述安装部的通孔。7.根据权利要求4所述的平衡块支撑结构，其特征在于，所述轴承为止推轴承。8.根据权利要求3所述的平衡块支撑结构，其特征在于，所述x向平动模块包括x向直线导轨和第二支架，所述x向直线导轨安装在所述z向转动模块的顶部，所述第二支架底部设置有滑槽，所述滑槽与所述x向直线导轨滑动配合，所述第二支架用于安装并带动所述y向平动模块沿x轴方向移动。9.根据权利要求3所述的平衡块支撑结构，其特征在于，所述y向平动模块包括y向直线导轨和第三支架，所述y向直线导轨安装在所述x向平动模块的顶部，所述第三支架底部设置有滑槽，所述滑槽与所述y向直线导轨滑动配合，所述第三支架上用于安装并带动所述顶盖沿y轴方向移动。10.根据权利要求3-9中任一项所述的平衡块支撑结构，其特征在于，所述x向平动模块和所述y向平动模块的行程为15-25mm；所述z向转动模块的行程为15-25mrad。11.根据权利要求1-9中任一项所述的平衡块支撑结构，其特征在于，所述柔性管的两端分别通过螺栓或卡箍固定安装在所述底座的顶部和所述顶盖的底部，所述柔性管和所述底座之间、所述柔性管和所述顶盖之间均通过o型密封圈进行密封。12.根据权利要求11所述的平衡块支撑结构，其特征在于，所述柔性管为金属波纹管。
技术总结
本实用新型提供了一种平衡块支撑结构，它包括底座、顶盖、柔性管和驱动模块；所述柔性管的两端分别与所述底座和所述顶盖固定连接，三者围合形成一个密闭空间；所述顶盖用于安装平衡块；所述驱动模块设置在所述密闭空间内，所述驱动模块用于驱动所述顶盖运动。与现有技术相比，本实用新型提供的平衡块支撑结构通过柔性管密封，使得驱动模块与真空环境隔离，不会因为润滑污染真空环境，也不会因为不使用适用于真空环境的材料影响真空释气，驱动模块的部件如导轨和轴承等可以使用普通型号，降低了成本，增强其互换性。通过设计不同结构的驱动模块可为平衡块不同的自由度。通过O型密封圈密封，可增强柔性管和底座以及顶盖之间的密封性。性。性。
技术研发人员：肖凤德 郭少龙
受保护的技术使用者：北京华卓精科科技股份有限公司
技术研发日：2022.03.04
技术公布日：2022/8/8