面板湿制程排气装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种面板湿制程排气装置。
【背景技术】
[0002]在液晶显示面板制造过程中，湿制程设备经常会使用到大量的药液和水对玻璃基板进行喷淋冲刷，期间会产生大量的水汽，所以必须要用湿排气制程进行抽干，将水汽从排气管排出，同时为了防止药液和水进入排气管，一般将排气管设置在湿制程设备侧边，如图1所示，现有技术中面板湿制程排气装置将所述排气支管2设置在水洗单元I的侧边，由于排气主管3埋在地下，所以所述排气支管需要引到地下与所述排气主管3连通，这种设计的排气管设置在水洗单元外侧，因此占用的空间比较大，而且也不美观。
【发明内容】
[0003]本发明的目的在于提供一种面板湿制程排气装置，所述面板湿制程排气装置的排气管安装在水洗单元底部，并收容在水洗单元底面与地面的空间内，能有效减少排气管的占有空间。
[0004]为了实现上述目的，本发明实施方式提供如下技术方案:
[0005]一种面板湿制程排气装置，包括水洗单元、排气风机、排气主管以及第一排气支管，所述排气主管和所述第一排气支管相互连通形成排气管路，所述第一排气支管的进气口与所述水洗单元连接，所述排气主管的出气口与所述排气风机连接，其特征在于，所述第一排气支管的进气口固定在所述水洗单元的底面上，所述第一排气支管的进气口与所述水洗单元的内部空间相通，所述第一排气支管的进气口处设有第一防水盖板，以防止药液或水进入所述排气管路，在所述排气风机的作用下，所述水洗单元中的水汽经由所述排气管路排出。
[0006]优选的，所述第一排气支管的进气口高于所述水洗单元的底面至少5cm。
[0007]优选的，所述面板湿制程排气装置还包括水汽分离装置、第二排气支管和第二防水盖板，所述第一排气支管连接于所述水洗单元和所述水汽分离装置之间，所述第二排气支管连接于所述水汽分离装置与所述排气主管之间，所述第二防水盖板设置在所述第二排气支管的进气口处，所述第二排气支管的进气口与所述水汽分离装置底面连接，且所述第二排气支管进气口与所述水汽分离装置的内部空间相通。
[0008]优选的，所述第一防水盖板与所述第一排气支管的进气口之间设有间隙，所述水洗单元中的水汽经由所述第一防水盖板与所述第一排气支管之间的间隙进入所述排气管路。
[0009]优选的，所述第一防水盖板完全封住所述第一排气支管进气口，所述第一排气支管的侧壁设有透气孔，所述水洗单元中的水汽经由所述透气孔进入所述排气管路。
[0010]优选的，所述第二防水盖板与所述第二排气支管进气口之间设有间隙，所述水汽分离装置中水汽经由所述第二防水盖板与所述第二排气支管之间的间隙进入所述排气管路。
[0011]优选的，所述第二防水盖板底部通过滤水层与所述第二排气支管之间密封连接，所述水汽分离装置中的水汽经由所述滤水层进入所述第二防水盖板与所述第二排气支管之间的间隙，从而进入所述第二排气支管。
[0012]优选的，所述第二防水盖板完全封住所述第二排气支管进气口，所述第二排气支管的侧壁设有透气孔，所述水汽分离装置中的水汽经由所述透气孔进入所述排气管路。
[0013]优选的，所述第二排气支管侧壁上设有滤水层，所述滤水层遮挡住所述透气孔，所述水汽分离装置中的水汽经通过所述滤水层后，经由所述透气孔，进入所述排气管路。
[0014]优选的，所述水汽分离装置底部设有排水口，通过所述水汽分离装置增大与水汽的接触面积，使水汽在所述水汽分离装置中冷凝，冷凝水经排水口排出。
[0015]本发明所产生的有益效果是:在所述的第一排气支管进口处设有第一防水盖板，防止药液和水进入排气管路，因此可以将第一排气支管安装在水洗单元底部，并且第一排气支管设于水洗单元底面与地面的空间内，能有效减少面板湿制程装置的占地空间。
【附图说明】
[0016]为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例、描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明实施例的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1为现有技术提供的面板湿制程排气装置剖面示意图；
[0018]图2为本发明第一种实施例提供的面板湿制程排气装置剖面示意图；
[0019]图3为本发明第二种实施例提供的面板湿制程排气装置剖面示意图；
[0020]图4为本发明第三种实施例提供的面板湿制程排气装置剖面示意图；
[0021]图5为本发明第四种实施例提供的面板湿制程排气装置剖面示意图。
【具体实施方式】
[0022]图2为本发明提供的第一种实施例，包括水洗单元1、第一防水盖板21、第一排气支管31、排气主管6、排气风机(图未不出)。
[0023]所述排气主管6出气口与所述排气风机连接，所述排气主管6和所述第一排气支管31相互连通形成排气管路，图2到图5中排气管路内的箭头方向为排气管路中气体流向。水洗单元I位于排气管路的上游，第一防水盖板21设于所述第一排气支管31进气口处，第一防水盖板21呈倒凹形，第一防水盖板21能防止药液或水进入所述排气管路中，所述第一防水盖板21与所述第一排气支管31进气口设有间隙，所述第一排气支管31进气口固定在所述水洗单元I的底面11上，所述第一排气支管31进气口与水洗单元I的内部空间相通，进一步而言，所述第一排气支管31进气口位置高于所述水洗单元I的底面11，优选的，所述第一排气支管31进气口高于所述水洗单元I的底面11至少5cm。
[0024]所述第一排气支管31与所述水洗单元I为密封连接，防止气体泄漏。第一排气支管31与所述排气主管6直接连通形成本实施例中的排气管路，所述水洗单元I中的水汽在排气风机作用下从所述第一排气支管31进气口与所述第一防水盖板21间的间隙进入排气管路排出。
[0025]通过在所述第一排气支管31进口处设置所述第一防水盖板21，便解决了水汽和药液会进入排气管路的问题，所述第一排气支管31设置在所述水洗单元I的底面11上，从而减少了排气管路占用的空间，布局更加紧凑。
[0026]显而易见的，本发明所述的所述排气主管6和所述第一排气支管31相互连通可以通过第一排气支管与排气主管直接连接，也可以在排气主管6和所述第一排气支管31之间设置其他元件，例如水汽分离装置等，使二者间接连通。
[0027]图3为所述本发明提供的第二种实施例，相对于第一种实施例的区别在于所述第一防水盖板21完全封住所述第一排气支管31的进气口，所述第一排气支管的侧壁设有透气孔30，所述水洗单元中的水汽经由所述透气孔30进入所述排气管路。
[0028]图4为本发明提供的第三种实施例，包括水洗单元1、第一防水盖板21、第二防水盖板22、第一排气支管31、第二排气支管32、滤水层4、排水口 5、排气主管6、水汽分离装置7、排气风机(图未不出)。
[0029]所述排气主管6和所述第一排气支管31、第二排气支管32相互连通形成排气管路，水洗单元I位于排气管路的上游，水汽分离装置7在排气管路中位于水洗单元I的下游。所述排气主管6出气口与所述排气风机连接，所述水洗单元I中的水汽在所述排气风机的作用下经由所述排气管路排出。
[0030]第一防水盖板21设置于所述第一排气支管31进气口处，第一防水盖板21呈倒凹形，第一防水盖板21能防止药液或水进入所述排气管路中，所述第一防水盖板