光的半波长(在此是316nm)大。因此，光路差的变化的大小与干涉光的强度的周期性的变化的频率、即干涉条纹的明暗的数量相当。在将第一定板31向第一方向移动了时观测的干涉条纹的数量设为n，将激光的波长设为λ时，ηλ/2与光路差(I L1- L 21)的变化相当(ηλ/2 = Δ I L1- L 21)。
[0095]激光干涉计输出从成为某基准的时刻开始的干涉条纹的计数数。偏摇检测构件对于该输出应用基准值，判断是否产生了偏摇。
[0096]另外，还能够根据激光干涉计4的输出来算出产生了何种程度的偏摇。详细的说明省略，但如图2所示，在将二个V槽431、432之间的距离设为W时，第一定板31的姿态变化的角度(即，偏摇的大小)Δ Θ以ΛΘ =SirT1(IL1-L2UW)表示。因此，通过将反射镜单元43相对于第一方向垂直的情况下的IL1-L2I作为基准值(零)来计数干涉条纹的数量而获得的η，求出Δ IL1-L2I，并代入到上述式中，从而求出偏摇的产生量(Λ Θ)。
[0097]另外，干涉计主体40保持被固定于未图示的支柱台并相对于第一定板31上的反射镜单元43固定的位置。为此，激光的第一光路及第二光路的各光路长伴随着第一定板31的移动而变化，但只要反射镜单元43的姿态不变化，光路差(IL1-L2I)就是一定的，仅在反射镜单元43的姿态变化了的情况下，表现出如上所述的干涉光强度的变化。也就是说，与基于第一移动机构22的工作台21的移动无关，而且在移动的过程中，始终能够检测偏摇。
[0098]采用这样的激光干涉计4作为偏摇检测构件，关于即使是少许的偏摇也可能成为问题的光定向用的偏振光照射装置是有意义的。激光干涉计是即使是如上所述的少许的姿态变化也能够将其检测为干涉光强度的变化的部件，而且是尤其适合于被要求例如0.05度以下这一非常严格的方向精度的光定向用的偏振光照射装置中的偏摇检测。
[0099]实施方式的装置根据这样的激光干涉计4的动作原理而具备被输入激光干涉计4的输出的数据处理单元5。数据处理单元5与激光干涉计一起构成偏摇检测构件，该数据处理单元5包括存储激光干涉计4的输出值的存储部51、算出激光干涉计4的输出值相对于基准值的偏移的运算处理部52等。关于数据处理单元5中的数据处理的一例，使用图3进行说明。图3是对数据处理单元5中的数据处理的一例进行表示的图。
[0100]实施方式的装置如图1所示，具备对装置的各部进行控制的主控制部50。数据处理单元5成为该主控制部的要素，以下说明的数据处理由主控制单元执行。
[0101]如前所述，若在偏振光的照射时产生偏摇，则偏振轴的朝向偏移而进行照射，所以需要至少在偏振光的照射时检测是否未产生偏摇。在实施方式的装置中，通过校准机构预先对基板S进行校准，校准也包括θ方向的校准。因此，考虑将校准完成时的位置作为基准，从该位置起开始干涉条纹的数量的计数，从而检测偏摇。也就是说，在载入位置进行校准，所以考虑将载入位置处的激光干涉计4的输出值作为基准值，通过伴随着第一方向上的第一定板31的移动而激光干涉计4的输出相对于基准值是否变化为限度以上，监视偏摇的产生。
[0102]可以是这样的数据处理，但也有能够简化的要素。这是因为，有时即使在从载入位置一直到照射面I的位置的过程暂时产生偏摇，也返回到原来的姿态，而在照射面I未产生偏摇。例如，也存在如下情况，即，在第一移动机构22包括的部件上有如接缝那样的特殊部位，虽然在该特殊部位暂时产生偏摇，但是如果超过该部位则还返回到原来的姿态的情况。考虑到这样的点，在该实施方式中，将即将到达照射面I的位置之前的位置处的激光干涉计4的输出值设为基准，用相对于该值的差分来监视偏摇的产生。
[0103]具体进行说明，在图3中，横轴表示第一方向即输送方向上的第一定板31的位置，纵轴表示激光干涉计4的输出值(干涉条纹的计数数)。如图3所示，伴随着向第一方向的移动，激光干涉计4的输出值(干涉条纹的计数数)变化。此时，如果输出值(计数数)的最大值为一定以下，则成为问题的偏摇并不产生。另外，通过激光干涉计4的检测部的输出的变化来检测第一定板31姿态变化为相反朝向的情况，所以在该情况下，减去输出值(计数数)后输出。
[0104]在图3中，第一定板31处于即将到达照射面I的位置前的位置处时的激光干涉计4的输出值被设为基准值。以下将该位置称为基准位置，在图3以Ptl表示。另外，将工作台21上的基板S的输送方向前侧的边缘到达了照射面I时的第一定板31的后侧的边缘的位置设为P1，并称为照射开始位置。另外，将基板S的输送方向后侧的边缘已通过了照射面I时的第一定板31的后侧的边缘的位置设为P2，并作为照射结束位置。基准位置Ptl是相对于照射开始位置P1离开了距离d的位置，距离d在例如2000?5000mm程度的范围内适当选定。
[0105]数据处理单元5首先取得基准位置Ptl处的激光干涉计4的输出值作为基准值并存储在存储部51。例如，当基板S在载入位置搭载于工作台21时激光干涉计4开始动作，将此时的输出值重置为零。并且，将到达基准位置Ptl时的输出值(计数数)作为基准值。在工作台21从基准位置Ptl进一步前进时，数据处理单元5依次存储激光干涉计4的输出值，并且依次计算与基准值的差分，并存储于存储部51。并且，在偏摇的监视区域，将差分的最大值作为偏摇值而存储。
[0106]如图3所示，从照射开始位置Pjlj照射结束位置P 2之间是偏摇的监视区域，对这期间的激光干涉计4的输出值进行计数。另外，来自激光干涉计4的输出值的取得及向存储部51的存储可以在到达P2的时刻结束，也可以之后还稍微继续。
[0107]在数据处理单元5中，存储部51是如RAM那样的存储器元件，运算处理部52是微处理器。数据处理单元5中安装程序，以进行如上所述的数据处理。并且，数据处理单元5具备显示存储于存储部51的各数据的显示部53。数据处理单元5能够将偏摇的产生量作为如图3所示那样的曲线图并显示在显示部53。
[0108]接下来，对实施方式的偏振光照射装置的整体的动作进行说明。
[0109]工作台21位于载入位置的状态下，未图示的机器人动作，基板S被载置于工作台21。然后，校准机构动作而进行第二方向及Θ方向的校准。
[0110]在校准完成后，第一移动机构22动作，使工作台21从载入位置向第一方向移动。工作台21在基准位置Ptl通过后到达照射面I的位置，在照射面I的位置通过后到达前进界限位置。前进界限位置是，工作台21上的基板S的后侧的边缘完全通过照射面1、然后稍微前进了的位置。
[0111]工作台21到达前进界限位置时，第一移动机构22使工作台21后退，通过照射面I后返回到载入位置。相对于工作台21上的基板S，在去路移动中通过照射面I时和在归路移动中通过照射面I时这两个时刻照射偏振光。
[0112]然后，返回到载入位置的基板S由机器人从工作台21取走，机器人将下一个基板S载置于工作台21。然后，重复同样的动作。
[0113]在上述动作中，如前所述，将工作台21到达了基准位置时的激光干涉计4的输出值作为基准值而存储在存储部51中，基准位置以后的激光干涉计4的输出值依次存储在存储部51中。数据处理单元5算出与基准值的差分，并且算出差分在从？1至P2的最大值作为偏摇值。
[0114]进行这样的对于各基板S的单片的偏振光照射，装置将对各基板S进行了处理时的激光干涉计4的输出值的数据作为履历数据存储在存储部51中。履历数据与存储该数据时的基板S的特定信息(基板ID) —起存储。
[0115]存储部51的履历数据由作业员随时检查。例如，一天中几次将数据显示在显示部53进行检查、或在产品有不良时特别进行检查。在不考虑产品的定向特性的情况下，按照该产品中的基板ID参照履历数据，进行是否未发生偏摇的分析。
[0116]这样，根据实施方式的偏振光照射装置，具备对工作台21的偏摇进行检测的构件，所以能够将不知道偏摇的产生而继续处理的情况防患于未然。为此，不会出现制造出大量不良品而使成品率恶化。
[0117]另外，在实施方式的偏振光照射装置中，如前所述，对第一定板31设置激光干涉计4并计测干涉光的强度，所以能够通过Θ方向移动机构24任意地进行基板S的姿态调整并且能够可靠地进行基板S的偏摇的检测