光照射装置的制造方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及光照射装置，具体地，涉及用于制造显示装置时使用的光照射装置。
【背景技术】
[0002] 通常，液晶显示装置是在具有用于产生电场的电极的两个基板之间注入液晶物质 并向两个电极施加不同电势形成电场，由此改变液晶分子的排列，调整透光率，从而显示图 像的装置。上述液晶显示装置具有使上述液晶分子朝预定方向线倾斜的取向膜。
[0003] 制造上述液晶显示装置时需要进行多个阶段的工序。例如，尤其是对上述取向膜 赋予方向性时或者通过光刻使薄膜图案化的工序中包括向基板照射光的曝光工序。
【发明内容】
[0004] 本发明要解决的技术问题
[0005] 本发明的目的在于提供一种能够高效率地向基板照射光的光照射装置。
[0006] 本发明的目的在于提供一种制造显示装置时使用的光照射装置，具体地，在基板 上形成取向膜时，能够短时间内高效率地向上述取向膜照射光的光照射装置。
[0007] 解决技术问题的技术手段
[0008] 根据本发明的一实施例的光照射装置，包括光源、第一反光镜以及第二反光镜。所 述光源设在相对的第一基板以及第二基板之间，分别向所述第一基板和所述第二基板提供 第一光以及第二光。所述第一反光镜隔着所述光源与所述第一基板相对配置，所述第二反 光镜隔着所述光源与所述第二基板相对配置。
[0009] 在本发明的一实施例中，所述第一反光镜以及所述第二反光镜中的至少一个的截 面为椭圆的一部分形状。
[0010] 在本发明的一实施例中，所述第一反光镜的截面可以相当于第一椭圆的一部分， 所述第二反光镜的截面可以相当于第二椭圆的一部分。
[0011] 在本发明的一实施例中，所述第一反光镜和所述第二反光镜的截面能够与穿过所 述光源的线中的一个线对称。
[0012] 在本发明的一实施例中，所述第一反光镜可以具有切除部分第一反光镜的第一开 口，以使第二光在所述光源和所述第二基板之间前进，所述第二反光镜可以具有切除部分 第二反光镜的第二开口，以使第一光在所述光源和所述第一基板之间前进。
[0013] 在本发明的一实施例中，所述第一椭圆的多个焦点中的一个和所述第二椭圆的多 个焦点中的一个一致，所述光源可以位于所述第一椭圆和所述第二椭圆的一致的焦点上或 者其周围。
[0014] 在本发明的一实施例中，所述第一基板可以设在所述第一椭圆的剩余焦点中的一 个上或者其附近，所述第二基板可以设在所述第二椭圆的剩余焦点中的一个上或者其附 近。
[0015] 在本发明的一实施例中，所述光照射装置还可以包括：设在所述第一基板和所述 光源之间的第一光学板和设在所述第二基板和所述光源之间的第二光学板。
[0016] 在本发明的一实施例中，所述第一光学板以及所述第二光学板可以分别包括偏光 器。
[0017] 在本发明的一实施例中，所述第一光学板以及所述第二光学板分别还包括设在所 述偏光器的一侧的带通滤波器。
[0018] 在本发明的一实施例中，所述第一光以及所述第二光可以是紫外线。
[0019] 在本发明的一实施例中，所述第一光以及所述第二光可以是偏振光。
[0020] 在本发明的一实施例中，所述第一基板以及所述第二基板可以分别包括基底基板 和设在所述基底基板上的取向膜。
[0021] 在本发明的一实施例中，所述第一基板和所述第二基板可以配置为垂直于地面， 所述光源和所述第一以及第二基板中的一个可进行移动。
[0022] 发明效果
[0023] 根据本发明的一实施例，光照射装置中的光源的有效照射区域比现有的光照射装 置中的光源的有效照射区域更广，从而，与现有的光照射装置相比，能够显著提高光效率。
[0024] 并且，当利用本发明的光照射装置进行基板的曝光时，能够从光源的两侧同时对 基板进行曝光，因此能够显著增加曝光处理数量，同时显著减少制造时间。
【附图说明】
[0025] 图1是根据本发明的一实施例的光照射装置立体图。
[0026] 图2是图1所示的光照射装置的部分截面图。
[0027] 图3是现有的光照射装置的部分截面图。
【具体实施方式】
[0028] 本发明可以有多种变化，可以以多种方式实施本发明，在附图中示出特定的实施 例并进行详细说明。但是，这并不是用于将本发明限定于特定的方式，包含在本发明的思想 以及技术范围的所有变更、等同物以及代替物均包括在本发明的保护范围内。
[0029] 在说明各图时，对于类似的构成要素标注了类似的符号。为了明确本发明，在附图 中，构成物的尺寸比实际有所扩大示出。第一、第二等术语用于说明多种构成要素，但是，上 述构成要素并不限定于所述术语。所述术语仅用于与其他构成要素加以区别。例如，在不 脱离本发明的保护范围的情况下，第一构成要素可以命名为第二构成要素，类似地，第二构 成要素可以命名为第一构成要素。如果没有明确表示不同，则单数的表述方式包括多个的 情况。
[0030] 在本申请中，"包括"或者"具有"等术语指定存在说明书中记载的特征、数字、步 骤、动作、构成要素、部件或者其组合，并不是用于排除存在或者追加一个或一个以上的其 他特征或者数字、步骤、动作、构成要素、部件或者其组合的可能性。并且，当记载为层、膜、 区域、板等部分位于其他部分的"上面"时，不仅包括位于其他部分的"正上面"的情况，还包 括其之间具有另一部分的情况。相反，当记载为层、膜、区域、板等部分位于其他部分的"下 面"时，不仅包括位于其他部分的"正下面"的情况，还包括其之间具有另一部分的情况。
[0031] 图1是根据本发明的一实施例的光照射装置的立体图，图2是图1所示的光照射 装置的一部分的截面图。图2是沿平行于地面的面截取时的截面图，为了方便说明，省略了 一部分构成要素。
[0032] 参照图1以及图2,根据本发明的一实施例的光照射装置可以包括发射光的光源 LS和反射所述光以使所述光向基板前进的反光镜。所述光照射装置在所述光源LS和所述 基板之间还可以包括过滤所述光的一部分的光学板。一对基板彼此相对地配置在所述光源 LS的两侧。
[0033] 根据本发明的一实施例的光照射装置向上述相对的两个基板照射光。
[0034] 根据本发明的一实施例的光照射装置可用于在制造显示装置的步骤中需要照射 光的步骤。尤其是，在制造液晶显示装置的步骤中形成取向膜时可以将根据本发明的一实 施例的光照射装置用作紫外线照射装置。但是，根据本发明的一实施例的光照射装置的用 途并不限定于此，只要是用于向基板上照射光就可以使用，并不特别限定。例如，通过光刻 使特定构成要素图案化时，可以在曝光工序使用根据本发明的一实施例的光照射装置。并 且，在制造除了显示装置之外的其他装置时，只要未脱离本发明的概念，可以使用根据本发 明的一实施例的光照射装置。从而，从所述光照射装置接收光的被照射基板通常是用于显 示装置的基板，但并不限定于此。
[0035] 下面，以根据本发明的一实施例的光照射装置用于形成液晶显示装置的取向膜时 为例子进行说明。
[0036] 所述基板是用于液晶显示装置的基板，可配置在支座上。可以省略所述支座。可 设置一对所述基板，下面，为了方便说明，以所述光源LS为中心，将位于一侧的基板称为第 一基板SUB1，位于另一侧的基板称为第二基板SUB2,将支撑所述第一基板SUB1和所述第二 基板SUB2的支座分别称为第一支座ST1以及第二支座ST2。并且，在本发明的一实施例中， 以地面为标准，构成平行于所述地面的平面的两个方向称为第一方向D1和第二方向D2,分 别垂直于所述第一方向D1和所述第二方向D2且远离所述地面的方向称为第三方向D3。
[0037] 在本发明的一实施例中，所述第一基板SUB1包括第一基底基板BS1和形成在其上 面的第一取向膜ALN1。所述第二基板SUB2包括第二基底基板BS2和形成在其上的第二取 向膜ALN1。所述第一取向膜ALN1和所述第二取向膜ALN1彼此相对。
[0038] 所述第一基底基板BS1以及所述第二基