一种彩膜基板的彩色图案缺失的检测方法及装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种彩膜基板的彩色图案缺失的检测方法及
目.ο
【背景技术】
[0002]液晶显示器(Liquid Crystal Display，简称LCD)具有体积小、功耗低、无福射等特点，在当前的显示器市场中占据主导地位。
[0003]液晶显示器包括阵列基板和彩膜基板。如图1所示，形成彩膜基板包括在衬底基板10上形成黑矩阵图案20的工序、形成第一彩色光阻图案30(例如红色光阻图案)的工序、形成第二彩色光阻图案40(例如绿色光阻图案)的工序、形成第三彩色光阻图案50(例如蓝色光阻图案)的工序。其中，形成黑矩阵图案20的工序、第一彩色光阻图案30的工序、第二彩色光阻图案40的工序和第三彩色光阻图案50的工序统称为形成彩色图案的工序。
[0004]不管是形成黑矩阵图案20，还是形成第一彩色光阻图案30或第二彩色光阻图案40或第三彩色光阻图案50，都需要涂布成膜、曝光的过程才能形成相应的图案。其中，若在涂布或曝光时设备出现异常，则会出现整张基板未涂布或者未曝光的情况，从而使得基板上某一或几类图案缺失，产生无法使用的不良品。
[0005]可行的检测上述缺失的方法是采用全数检查机(AutomaticOpticalInspect1n，简称Α0Ι)和人工检测方式。全数检查机进行缺失检测的原理为:通过电荷耦合元件(Charge-coupled Device，简称CCD)采集待检测彩膜基板的一定区域(S卩，检测区域)的图像平均灰度值，与预设的基准值对比，若上述检测区域的灰度值高于基准值，则认为存在图案缺失，若低于基准值，则认为正常。
[0006]然而，该方法也仅能识别出存在图案缺失异常，无法具体判断出是哪一种颜色图案存在缺失。
[0007]对于人工检测方式，由于某些工序抽检而非全检，人员经验不足，疲劳检查，麻痹检查等，存在漏检的问题，且速度慢影响生产率。
【发明内容】
[0008]本发明的实施例提供一种彩膜基板的彩色图案缺失的检测方法及装置，可定位出哪一种颜色图案存在缺失，且可消除人工检测方式的不足。
[0009]为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案:
[0010]—方面，提供一种彩膜基板的彩色图案缺失的检测方法，包括:在每个形成彩色图案的工序完成后，获取彩膜基板的预定区域的当前图像，该当前图像以灰度值向量表征;其中，所述预定区域至少包括一个像素区域;计算所述当前图像与标准样本图像的相似度;其中，所述标准样本图像至少包括与当前工序对应的正常彩膜基板的第一样本图像，所述标准样本图像以灰度值向量表征;根据所述相似度，判断当前工序是否存在彩色图案缺失的异常。
[0011]优选的，所述标准样本图像还包括与上游工序对应的正常彩膜基板的第二样本图像;基于此，根据所述相似度，判断当前工序是否存在彩色图案缺失的异常，包括:根据所述当前图像与所述第一样本图像的第一相似度、以及所述当前图像与所述第二样本图像的第二相似度，判断当前工序是否存在彩色图案缺失的异常。
[0012]优选的，所述方法还包括存储对当前工序的判断结果。
[0013]进一步优选的，对于除起始工序外的其他工序，在计算所述当前图像与标准样本图像的相似度之前，所述方法还包括:读取对上游工序的判断结果;基于此，计算所述当前图像与标准样本图像的相似度，包括:若对上游工序的判断结果为正常，则计算所述当前图像与所述标准样本图像的相似度。
[0014]优选的，获取彩膜基板的预定区域的当前图像，包括:在彩膜基板的单排预设个数的像素区域中，获取所有所述预设个数的像素区域的中间位置的所述当前图像。
[0015]优选的，计算所述当前图像与标准样本图像的相似度，包括:通过余弦相似度计算方法，计算所述当前图像与所述标准样本图像的相似度。
[0016]优选的，当每个形成彩色图案的工序需要移动至少两次掩模板时，获取彩膜基板的预定区域的当前图像，包括:分别获取与每次掩模板对应的彩膜基板的预定区域的所述当前图像。
[0017]另一方面，提供一种彩膜基板的彩色图案缺失的检测装置，包括:获取模块、第一存储模块、计算模块和判断模块;所述获取模块，用于在每个形成彩色图案的工序完成后，获取彩膜基板的预定区域的当前图像，该当前图像以灰度值向量表征;其中，所述预定区域至少包括一个像素区域;所述第一存储模块，用于存储标准样本图像;其中，所述标准样本图像至少包括与当前工序对应的正常彩膜基板的第一样本图像，所述标准样本图像以灰度值向量表征;所述计算模块，用于计算所述获取模块获取的所述当前图像和所述第一存储模块存储的所述标准样本图像的相似度;所述判断模块，用于根据所述计算模块得到的相似度，判断当前工序是否存在彩色图案缺失的异常。
[0018]优选的，所述第一存储模块存储的所述标准样本图像还包括与上游工序对应的正常彩膜基板的第二样本图像;基于此，所述判断模块，具体用于根据所述计算模块得到的所述当前图像与所述第一样本图像的第一相似度、以及所述当前图像与所述第二样本图像的第二相似度，判断当前工序是否存在彩色图案缺失的异常。
[0019]优选的，所述检测装置还包括第二存储模块;所述第二存储模块，用于存储所述判断模块对当前工序的判断结果。
[0020]进一步优选的，所述检测装置还包括读取模块;所述读取模块，用于对除起始工序外的其他工序，从所述第二存储模块中读取对上游工序的判断结果；基于此，所述计算模块，具体用于根据所述读取模块的读取结果，若对上游工序的判断结果为正常，则计算所述当前图像与所述标准样本图像的相似度。
[0021]优选的，当每个形成彩色图案的工序需要移动至少两次掩模板时，所述获取模块分别获取与每次掩模板对应的彩膜基板的预定区域的所述当前图像。
[0022]本发明实施例提供一种彩膜基板的彩色图案缺失的检测方法及装置，通过在每个工序后，将获取的当前图像与该工序对应的标准样本图像进行相似度计算，可以获知当前工序是否存在彩色图案缺失的异常，其中，由于当前工序要形成的具体颜色的图案是已知的，因此可以知道是那种颜色的图案存在缺失。此外，由于本发明并非人工检测，因此可消除人工检测方式的不足。
【附图说明】
[0023]为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0024]图1为现有技术中提供的一种彩膜基板的结构示意图；
[0025]图2为本发明实施例提供的一种彩膜基板的彩色图案缺失的检测方法的流程示意图；
[0026]图3a为本发明实施例提供的形成黑矩阵图案的工序的示意图；
[0027]图3b本发明实施例提供的形成蓝色光阻图案的工序的示意图；
[0028]图3c本发明实施例提供的形成绿色光阻图案的工序的示意图；
[0029]图3d本发明实施例提供的形成红色光阻图案的工序的示意图；
[0030]图4a为本发明实施例提供的对黑矩阵图案缺失的检测方法的流程示意图；
[0031 ]图4b为本发明实施例提供的对蓝色光阻图案缺失的检测方法的流程示意图；
[0032]图4c为本发明实施例提供的对绿色光阻图案缺失的检测方法的流程示意图；
[0033]图4d为本发明实施例提供的对红色光阻图案缺失的检测方法的流程示意图；
[0034]图5a为在图3a基础上获取的当前图像的灰度值示意图；
[0035]图5b为在图3b基础上获取的当前图像的灰度值示意图；
[0036]图5c为在图3c基础上获取的当前图像的灰度值示意图；
[0037]图5d为在图3d基础上获取的当前图像的灰度值示意图；
[0038]图6为本发明实施例提供的在整张大的彩膜基板中设置预定区域的示意图；
[0039]图7为本发明实施例提供的一种检测装置的结构示意图一；
[0040]图8为本发明实施例提供的一种检测装置的结构示意图二；
[0041 ]图9为本发明实施例提供的一种检测装置的结构示意图三。
[0042]附图标记:
[0043]10-衬底基板;20-黑矩阵图案；30-第一彩色光阻图案；301-红色