基板装配装置和使用该装置的基板装配方法
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及基板装配装置、和使用该基板装配装置的基板装配方法。
【背景技术】
[0002]在专利文献I中，记载为“在本发明中，在设置于上腔室的内侧的上载物台形成使粘附销通过的孔，进而设置用于固定具有弹性体的平板的磁铁和螺钉孔，并设成可更换。另外，粘附销的上下机构做成如下结构:能够相对上载物台的上下机构独立地动作，采用能够进行速度以及位置控制的伺服马达或者步进马达来进行驱动，能够根据需要制作最佳的脱离条件”(参照第0006段)。
[0003]专利文献1:日本专利第4379435号公报
【发明内容】
[0004]在专利文献I记载的基板装配装置中，在用多个粘附销来保持(粘附保持)了上基板的状态下使下基板移动，对下基板和上基板进行对位。多个粘附销被安装到I个粘附销板，所有粘附销一体地进行动作(上下移动)。
[0005]上基板和下基板是在不同的工序中生产的基板，有时在纵横方向上产生尺寸差。在专利文献I的基板装配装置中，以将由于尺寸差而产生的位置偏移抑制于容许范围内的方式进行对位而使上基板和下基板贴合。
[0006]本发明的课题在于提供一种能够减小在使上基板和下基板贴合时产生的误差而提高贴合的位置精度的基板装配装置和使用该装置的基板装配方法。
[0007]为了解决上述课题，本发明提供一种使保持于下载物台的下部基板面的下基板、和保持于上载物台的上部基板面的上基板贴合的基板装配装置和使用该装置的基板装配方法。另外，具有使在相对上部基板面挠曲的状态下保持的上基板贴合到下基板这样的特征。
[0008]根据本发明，能够提供能够减小在使上基板和下基板贴合时产生的误差而提高贴合的位置精度的基板装配装置和使用该装置的基板装配方法。由此，能够有效地校正在上基板和下基板之间产生的标志间距偏移。
【附图说明】
[0009]图1是示出基板装配装置的图。
[0010]图2是示出支持销的图。
[0011 ]图3是示出粘附销的图。
[0012]图4是示出上载物台的上部基板面的图。
[0013]图5(a)是示出下载物台的图，(b)是Secl-Secl下的剖面图。
[0014]图6是示出通过基板装配装置使基板贴合的工序的图。
[0015]图7是示出用于调整上基板和下基板的贴合位置的标记的图，(a)是示出在上基板上附加的上标志的图，(b)是示出在下基板上附加的下标志的图。
[0016]图8(a)是示出XY轴方向的偏移的图，(b)是示出调整了 XY轴方向的偏移的状态的图。
[0017]图9 (a)是不出绕Z轴的偏移的图，(b)是不出调整了绕Z轴的偏移的状态的图。
[0018]图10是示出第I上标志和第I下标志的偏移处于规定范围内的状态的图，(a)是示出第I上标志处于第I下标志的中心的状态的图，(b)是示出第I上标志从第I下标志的中心偏移了的状态的图。
[0019]图11是示出改变粘附销的突出量而降低上基板和下基板的偏移的状态的图，(a)是不出第I上标志和第I下标志偏移了的状态的图，(b)是不出第I上标志和第I下标志的偏移降低了的状态的图。
[0020]图12是示出设计变更例的图，(a)是示出在I个粘附销板上安装了的粘附销的突出量不同的状态的图，(b)是示出在I个粘附销处具备I个上下移动机构的结构的图。
[0021]符号说明
[0022]1:基板装配装置；3:上载物台；3a:上部基板面；4:下载物台；4a:下部基板面；5:真空腔室；5a:上腔室；5b:下腔室；8:粘附销；8a:粘附销板(基础部)；8b:粘附部；8c:真空吸附孔；8d:气体供给单元；10:摄像装置；20:Z轴驱动机构(第I驱动机构);41:移动机构;43:吸引孔；80:上下移动机构(第2驱动机构)；100:控制装置；K1:上基板；K2:下基板；Mkl:第I上标志(上标志)；Mk2:第I下标志(下标志)；P2:真空栗(第I吸引单元)；P3:真空栗(第2吸引单元)。
【具体实施方式】
[0023]以下，适当地参照附图，详细说明本发明的实施例的基板装配装置以及基板装配方法。另外，在以下所示的各附图中，对共用的部件附加同一符号而适当地省略重复的说明。
[0024]【实施例】
[0025]图1是示出基板装配装置的图。
[0026]基板装配装置I是使通过机械手等传送装置200搬入的上基板Kl (玻璃基板)和下基板K2(玻璃基板)在真空中贴合来装配液晶面板等基板的装置。通过控制装置100控制基板装配装置I。
[0027]基板装配装置I具有台架Ia和上框架2。台架Ia放置于设置面(地面等)。在台架Ia的上方，以能够上下移动的方式具备上框架2。
[0028]经由测压元件20d，将上框架2安装到安装于台架Ia的第I驱动机构(Z轴驱动机构 20) ο
[0029]在基板装配装置I中，具备上载物台3和下载物台4。经由移动组件(XY Θ移动组件40)，安装于台架Ia下载物台4。XY Θ移动组件40构成为相对于台架Ia在相互正交的2轴(X轴、Y轴)方向上独立地可移动。另外，XY Θ移动组件40构成为相对于台架Ia可绕Z轴旋转。作为ΧΥΘ移动组件40，能够利用使用了在Z轴方向上固定而能够在XY轴方向上自由地移动的球轴承等的组件。
[0030]另外，在本实施例的基板装配装置I中，将相对于台架Ia的上框架2的方向设为Z轴方向(上下方向)。另外，将与Z轴正交的一轴的方向设为X轴方向(横向)，将与Z轴以及X轴正交的一轴的方向设为Y轴方向(纵向)。
[0031]另外，上载物台3以及下载物台4为将Y轴方向以及X轴方向设为纵横方向的矩形。
[0032]经由Z轴驱动机构20，安装于台架Ia上框架2。Z轴驱动机构20具有使在Z轴方向(上下方向)上延伸设置的滚珠螺杆轴20a上下移动的滚珠螺杆机构20b。滚珠螺杆轴20a通过电动马达20c而旋转，通过滚珠螺杆机构20b而上下移动。
[0033]通过控制装置100控制电动马达20c，上框架2根据控制装置100的运算而进行位移(上下移动)。
[0034]经由多个上轴2a将上载物台3固定到上框架2，上框架2和上载物台3 —体地上下移动。在上载物台3的周围配置了上腔室5a。上腔室5a的下方(台架Ia的一侧)开口，被配置成覆盖上载物台3的上方以及侧面。
[0035]经由悬挂机构6，将上腔室5a安装到上框架2。悬挂机构6具有从上框架2向下方延伸设置的支撑轴6a、和按照法兰状扩展地形成了支撑轴6a的下端部的卡止部6b。
[0036]另外，在上腔室5a中具备钩状部6c。钩状部6c在支撑轴6a的周围自由地上下移动。另外，钩状部6c在支撑轴6a的下端与卡止部6b卡合。
[0037]上轴2a贯通上腔室5。上轴2a与上腔室5之间被真空密封部(未图示)密封。
[0038]如果上框架2向上方移动(上动)，则钩状部6c与支撑轴6a的卡止部6b卡合而上腔室5a与上框架2 —起上动。另外，如果上框架2向下方移动(下动)，则钩状部6c靠自重而下动，与此相伴地上腔室5a下动。
[0039]另外，在下载物台4的周围配置了下腔室5b。通过安装于台架Ia的多个下轴Ib来支撑下腔室5b。下轴Ib向下腔室5b内突出。下腔室5b与下轴Ib之间被真空密封部(未图示)密封。
[0040]下腔室5b的上方(上框架2的一侧)开口，被配置成覆盖下载物台4的下方以及侧面。
[0041]XY Θ移动组件40安装于向下腔室5b内突出的下轴Ib而支撑下载物台4。
[0042]上腔室5a和下腔室5b的相互开口的部分相闭合而形成真空腔室5。即，构成为下动了的上腔室5a从上方卡合到下腔室5b，下腔室5b的开口被上腔室5a塞住。另外，上腔室5a和下腔室5b的连接部被密封环(未图示)密封，确保了真空腔室5的气密性。
[0043]另外，上框架2相比于上腔室5a与下腔室5b相接的状态能够进一步下动。由此，从上腔室5a的下动被下腔室5b限制的状态起，上框架2下动，悬挂机构6中的卡止部6b和钩状部6c的卡合解除。上腔室5a达到由于自重而放置于下腔室5b的状态。另外，在真空腔室5的内侧，配设上载物台3和下载物台4。
[0044]在基板装配装置I中具备真空栗PO。真空栗PO与真空腔室5连接，对真空腔室5内的空气进行排气而使真空腔室5内成为真空。S卩，如果真空栗PO驱动，则真空腔室5的内部成为真空环境。通过控制装置100控制真空栗PO。
[0045]上载物台3与在真空腔室5的内侧下动的上框架2 —起下动。通