导光装置、制造方法以及半导体激光模块的制作方法
【技术领域】
[0001 ]本发明涉及将由多个输入光构成的输入光束变换成由多个输出光构成的输出光束的导光装置。另外，涉及这样的导光装置的制造方法以及具备这样的导光装置的LD(半导体激光)模块。
【背景技术】
[0002]为了将从LD(LaserD1de)元件(半导体激光元件)射出的激光与光纤親合，广泛使用LD模块。在这样的LD模块中，作为将从多个LD元件分别射出的激光导向光纤的导光装置，已知有专利文献I所记载的微光学装置。
[0003]图16为专利文献I所记载的微光学装置10的立体图。如图16所示，微光学装置10具备基板11、LD条12、圆柱透镜13、第I镜列14以及第2镜列15。
[0004]LD条12具备沿X轴并排的多个LD元件，从各LD元件向z轴正方向射出激光。从各LD元件向z轴正方向射出的激光的光轴在与Zx面平行的第I平面内沿X轴排列。
[0005]此外，从各LD元件射出的激光的传播方向以z轴正方向为中心向±θχ方向分散。因此，在微光学装置10中，采用利用与LD条12的射出端面对置地配置的圆柱透镜13对从各LD元件射出的激光进行校准(使传播方向向ζ轴正方向收敛)的结构。
[0006]第I镜列14为将与构成LD条12的各LD元件对置的镜面14a—体化的结构。从各LD元件向ζ轴正方向射出的激光通过与该LD元件对置的镜面14a被向y轴正方向反射。另外，第2镜列15为将与构成第I镜列14的各镜面14a对置的镜面15a—体化的结构。经各镜面14a向y轴正方向反射后的激光通过与该镜面14a对置的镜面15a被向X轴正方向反射。
[0007]此外，反射由从X轴正方向侧数起第i+Ι个LD元件射出的激光的镜面14a、15a相比反射由从X轴正方向侧数起第i个LD元件射出的激光的镜面14a、15b配置在ζ轴负方向侧。因此，经各镜面15a向X轴正方向反射后的激光的光轴在与ZX平面平行的第2平面亦即相比上述的第I平面位于y轴正方向侧的第2平面内沿ζ轴排列。
[0008]这样，微光学装置10具有将由从构成LD条12的各LD元件射出的沿ζ轴正方向传播的激光构成的第I光束变换为由被构成第2镜列15的各镜面15a反射后的沿X轴方向传播的激光构成的第2光束的功能。从微光学装置10输出的第2光束(以下，记作“输出光束”)例如通过未图示的透镜向光纤的入射端面上聚光。
[0009]专利文献1:日本国公开专利公报“日本特开2004 — 252428号”(公开日:2004年9月9曰)
[0010]然而，在以往的微光学装置10中，当在从各LD元件射出的激光的传播方向上存在偏差(非一致的倾斜)的情况下，无法避免在构成输出光束的各激光的传播方向上产生偏差。这是由于:反射从各LD元件射出的激光的镜面14a、15a被作为镜列14、15形成一体化，因此无法将构成输出光束的激光的传播方向分别独立地调整。构成输出光束的各激光的传播方向的偏差成为难以将输出光束向光纤的入射端面聚光而妨碍高输出化以及高效率化的重要因素。
[0011]这样的问题在多芯片LD模块中尤为明显。在此，多芯片LD模块是指以分别具备一个LD元件的多个LD芯片为光源的LD模块。在需要分别独立地安装各LD芯片的多芯片LD模块中，明显容易在从各LD芯片射出的激光的传播方向上产生偏差。
[0012]此外，当从各LD元件射出的激光的传播方向的倾斜一致的情况下，通过调整镜列14的倾斜，能够将构成输出光束的各激光向规定的方向传播。然而，由于以下的理由不易维持镜列14的倾斜。
[0013]S卩，为了将镜列14在倾斜的状态下与基板11粘合，需要使介于镜列14与基板11之间的粘合层的厚度不均匀。因此，在固化粘合层时，产生不均匀的固化收缩，致使镜列14的倾斜变化。另外，即使在固化粘合层后，伴随着温度上升或温度降低也会产生不均匀的热膨胀或热收缩，致使镜列14的倾斜变化。
【发明内容】
[0014]本发明正是鉴于这样的问题而形成的，其目的在于针对将由多个输入光构成的输入光束变换为由多个输出光构成的输出光束的导光装置，实现即使在输入光的传播方向上存在非一致或者一致的倾斜，也能够将输出光的传播方向调整为规定的方向的导光装置。另外，意图实现使用这样的导光装置能够形成高输出化以及高效率化的LD模块。
[0015]本发明所涉及的导光装置，将由将由多个输入光构成的输入光束变换为由多个输出光构成的输出光束，其特征在于，具备与各输入光对应的双重反射镜，该双重反射镜从与其他输入光对应的双重反射镜分离，与各输入光对应的双重反射镜由载置于特定的平面上的第I反射镜和载置于该第I反射镜上的第2反射镜构成，上述第I反射镜具有反射输入光的第I反射面，该第I反射面与上述特定的平面所成的夹角为Θ1，上述第2反射镜具有反射经上述第I反射面反射后的输入光的第2反射面，该第2反射面与上述特定的平面所成的夹角为Θ2，如果将上述输入光与上述输出光所成的夹角设为0angle、上述输入光的光轴与上述特定的平面的法线所成的夹角设为Φ 1、上述输出光的光轴与上述特定的平面的法线所成的夹角设为Φ 2、以上述第I反射面的法线向量向上述特定的平面的正投影与上述输入光的光轴向上述特定的平面的正投影平行的朝向作为基准的朝向而使上述第I反射镜从该基准的朝向起以上述特定的平面的法线为轴旋转的旋转角设为91y、以上述第2反射面的法线向量向上述特定的平面的正投影与上述输入光的光轴向上述特定的平面的正投影正交的朝向作为基准的朝向而使上述第2反射镜从该基准的朝向起以上述特定的平面的法线为轴旋转的旋转角设为92y，则上述ΘI满足(90° — 0angle) = -02y X 2 —(90° — Φ I) X 2—(90° —Θ1 X2)，上述 Θ2 满足(90° — Φ2) = —01yX2 —(90° —Θ2Χ2)。
[0016]另外，本发明所涉及的LD模块，具备多个半导体激光元件、以及将由从上述多个半导体激光元件分别射出的激光构成的输入光束变换为由多个输出光构成的输出光束的导光装置，其特征在于，上述导光装置具备与各半导体激光元件对应的双重反射镜，该双重反射镜从与其他半导体激光元件对应的双重反射镜分离，与各半导体激光元件对应的双重反射镜由载置于特定的平面上的第I反射镜和载置于该第I反射镜上的第2反射镜构成，上述第I反射镜具有反射从对应的半导体激光元件射出的激光的第I反射面，该第I反射面与上述特定的平面所成的夹角为Θ1，上述第2反射镜具有反射经上述第I反射面反射后的激光的第2反射面，该第2反射面与上述特定的平面所成的夹角为Θ2，如果将上述激光与上述输出光所成的夹角设为Qangle、上述激光的光轴与上述特定的平面的法线所成的夹角设为Φ 1、上述输出光的光轴与上述特定的平面的法线所成的夹角设为Φ 2、以上述第I反射面的法线向量向上述特定的平面的正投影与上述激光的光轴向上述特定的平面的正投影平行的朝向作为基准的朝向而使上述第I反射镜从该基准的朝向起以上述特定的平面的法线为轴旋转的旋转角设为91y、以上述第2反射面的法线向量向上述特定的平面的正投影与上述激光的光轴向上述特定的平面的正投影正交的朝向作为基准的朝向而使上述第2反射镜从该基准的朝向起以上述特定的平面的法线为轴旋转的旋转角设为92y，则上述Θ1满足(90° — Θangle) = —92y X 2—(90° — Φ I) X 2—(90° — Θ1 X 2)，上述 Θ2 满足(90° - Φ2) = -Θ1ΥΧ2-(90° -Θ2Χ2)0
[0017]根据本发明，能够实现即便在输入光的传播方向上存在非一致或者一致的倾斜，也能够将输出光的传播方向调整为规定的方向的导光装置。另外，通过使用这样的导光装置，能够实现可形成高输出化以及高效率化的LD模块。
【附图说明】
[0018]图1为表示本发明的一实施方式的LD模块的结构的俯视图。
[0019]图2为表示图1所示的LD模块所具备的单位光学系的结构的立体图。
[0020]图3为表示图1所示的LD模块所具备的双重反射镜的结构的立体图。
[0021]图4为用于对图3所示的双重反射镜所具备的第I反射镜以及第2反射镜的微小旋转引起输出光的传播方向的微小旋转的情况进行说明的图。
[0022]图5为表示在实施图6所示的调整方法时的LD模块的结构的俯视图。
[0023]图6为表示调整图3所示的双重反射镜所具备的第I反射镜以及第2反射镜的朝向以及位置的调整方法的流程图。
[0024]图7中，(a)为例示在实施图6所示的流程图中所含的第I反射镜转动工序前的双重反射镜的状态的俯视图(上层)以及主视图(下层)。卬)为例示在实施第I反射镜转动工序后的双重反射镜的状态的俯视图(上层)以及主视图(下层)。
[0025]图8中，(a)为例示在实施图6所示的流程图中所含的第2反射镜转动工序前的双重反射镜的状态的俯视图(上层)以及侧视图(下层)。卬)为例示在实施第2反射镜转动工序后的双重反射镜的状态的俯视图(上层)以及侧视图(下层)。
[0026]图9中，(a)为例示在实施图6所示的流程图中所含的第I反射镜滑动工序前的双重反射镜的状态的侧视图。(b)为例示在实施第I反射镜滑动工序后的双重反射镜的状态的侧视图。
[0027]图10中，(a)为例示在实施图6所示的流程图中所含的第2反射镜滑动工序前的双重反射镜的状态的主视图。(b)为例示在实施第2反射镜滑动工序后的双重反射镜的状态的主视图。
[0028]图11为表示在实施图6所示的调整方法时作为调整目标的输出光的配置的图。
[0029]图12为表示图1所示的LD模块的第I变形例的俯视图。
[0030]图13为表示图1所示的LD模块的第2变形例的俯视图。
[0031 ]图14为表示图1所示的LD模块的第3变形例的三面图。
[0032]图15为表示图1所示的LD模块的第4变形例的三面图。
[0033]图16为表示以往的微光学装置的结构的立体图。
【具体实施