多分割光学元件及激光装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种激光加工中多分割光学元件及激光装置。
【背景技术】
[0002]激光装置是由激光光源及将从激光光源发出的激光聚集到被加工体上的光学镜头、激光光源与光学镜头之间的镜片、过滤镜等组成。在这样的激光装置中镜片及过滤镜等光学装置即多分割光学元件，由于需要承受着高能量的激光照射的压力，使用寿命是有限的。现有的多分割光学元件是以基板整体为单位进行镀膜，因此镀膜层一部分受到的压力会传递到整个镀膜层，只能一次性使用，即使用一段时间后损坏就需要整个零件更换。包括激光装置在内的所有制造用设备在更换零部件时都会导致材料，时间及经济方面的损耗。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型要解决的技术问题是提供一种多分割光学元件。
[0004]为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是:一种多分割光学元件，包括分成至少两个镀膜区域的基板、所述的基板的正反两面中至少一面上设置有至少两个镀膜层，每个镀膜层覆盖于相应的镀膜区域上，相邻的所述的镀膜层之间露出所述的基板的表面形成间隔区域。
[0005]在某些实施方式中，所述的基板为透明板。
[0006]在某些实施方式中，所述的基板呈矩形，并且所述的镀膜区域也呈矩形。
[0007]在某些实施方式中，所述的基板呈圆形，并且所述的镀膜区域也呈圆形。
[0008]在某些实施方式中，所述的基板呈圆形，所述的镀膜区域呈由基板中心位置到外边缘位置宽度渐变渐大的扇形。
[0009]在某些实施方式中，所述的多分割光学元件还包括固定架，所述的基板转动或滑动地设置在所述的固定架上，并且所述的固定架上设置有用于驱动所述的基板转动或滑动的调节部。
[0010]在某些实施方式中，所述的多分割光学元件为镜片、滤波器、波长板、偏振镜及透光板中的一种。
[0011]本实用新型要解决的又一技术问题是提供一种激光装置。
[0012]为了解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是:一种激光装置，包含有以上任一技术方案的所述的多分割光学元件，还包括能够产生激光的激光光源、将所述的激光光源发出的激光聚焦到被加工体上的光学镜头，所述的多分割光学元件设置于所述的激光光源与光学镜头之间的光路上。
[0013]本实用新型的范围，并不限于上述技术特征的特定组合而成的技术方案，同时也应涵盖由上述技术特征或其等同特征进行任意组合而形成的其它技术方案。例如上述特征与本申请中公开的(但不限于)具有类似功能的技术特征进行互相替换而形成的技术方案等。
[0014]由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点:将一个基板分割成多个镀膜区域，每个镀膜区域上分别设置镀膜层，可以将每个镀膜区域为单位安装在激光装置上使用，分割后的镀膜区域与旁边的镀膜区域在物理上是分离的，所以此镀膜区域受到的压力不会传递到旁边的镀膜区域。由此一个镀膜区域就可以相当于一个多分割光学元件来使用，一个镀膜区域使用寿命到期后可以使用旁边的镀膜区域，即每个镀膜区域可以当成一个新的多分割光学元件来使用，大大延长使用寿命。
【附图说明】
[0015]图1为本实用新型中测试所使用的激光装置的简单构成图；
[0016]图2为本实用新型中测试所使用的两种镜片的示意图；
[0017]图3为本实用新型中测试中光学部件镜片的层叠结构的简单示意图；
[0018]图4为本实用新型中固定镜片用的固定架示意图；
[0019]图5为矩形多分割光学元件的形状一与形状二 ；
[0020]图6为圆形多分割光学元件的形状一；
[0021]图7为圆形多分割光学元件的形状二 ；
[0022]图8为说明本实用新型中光学镜片的镀膜区域受压旁边区域不受影响的示意图；
[0023]其中:1、光路；10、激光光源；20、第一个镜片；30、光路调整部；31、32、33、34、35、镜片；31a、基板；31b、镀膜层；31c、间隔区域；40、振镜；41、扫描驱动器；41a、X-扫描驱动器；41b、Y-扫描驱动器；50、光学镜头；60、激光驱动器；71、72、73、固定架；71 a、72 a、73 a、调节部。
【具体实施方式】
[0024]以下根据后面附件的图纸顺序对本实用新型中进行的测试及相应的激光装置进行说明。
[0025]图1为可以应用一种或者几种本实用新型所涉及到的多分割光学元件的激光装置中的一种的简单结构图。
[0026]如图1所示，将从激光光源10中产生的激光聚焦到被加工体上的光学镜头50之间有激光通过的光路1。光路1上有第一个镜片20，多个镜片31，32，33，34，35构成调整光路的光路调整部30及振镜40。激光光源10与控制激光开关的激光驱动器60相连。上述第一个镜片20是起到调整从激光光源10中产生的激光发射角度的功能。
[0027]上述结构中上面的镜片为本实用新型的多分割光学元件中的一种，本实用新型不限定技术范围。本实用新型所涉及的多分割光学元件呈板状结构，包括分成至少两个镀膜区域的基板31a、基板31a的正反两面中至少一面上设置有至少两个镀膜层31b，每个镀膜层31b覆盖于相应的镀膜区域上，相邻的镀膜层31b之间露出基板的表面形成间隔区域31c。基板31a为透明板。镀膜区域与镀膜层31b数量相等，并一一对应。多分割光学元件，可以是镜片、滤波器、波长、偏振镜或透光板等。以下说明中提及的镜片只是多分割光学元件中的一种。
[0028]振镜40为检流式扫描振镜，如大家所熟知的振镜40具有扫描驱动器41，振镜40包括让激光沿X方向及Y方向进行扫描的X扫描工具和Y扫描工具。外扫描驱动器41包括驱动X扫描工具和Y扫描工具的X-扫描驱动器41a和Y-扫描驱动器41b。
[0029]上述的光路调整部30的镜片31，32，33，34，35将射入的激光进行反射，接触高能量的激光并受到较大的压力。
[0030]图2是举了本实用新型中所说的镜片31的两个例子。图2中a类镜片为矩形板状，b类镜片为圆板状，以这样的形态应用于上述的其他镜片32，33，34，35中。
[0031]图3是镜片31的层叠构造的简单图示。如图所示镜片31是由基板31a和基板31a一面的多个镀膜层31b构成。上述的镀膜层31b在其他测试的例子中有可能在基板31a的正反两边都有。另外上述的镀膜层31b为抗反射(ant1-refl