型的曝光装置200具有特征的构成要素，其包括:光源板110，其构成为，多个单位紫外线发光元件(UV LED) 111以矩阵(matrix)形态的列阵构造贴装于电路基板112上并装载于支撑板113 ;光学板120，其具有如下构造，多个单位聚光透镜121以从与所述紫外线发光元件111列阵的间隔p分别对应的间隔P的位置相对主光轴向穿过所述光源板110上的紫外线发光元件111列阵的中心0(参照图2)的任意基准中心轴线侧偏心的状态el、e2的矩阵形态的列阵结构设置在为了与所述光源板110相互面对而配置于所述紫外线发光元件111的光射出侧的透镜板(LENSPANEL)122ο
[0093]根据本实用新型的曝光装置200，就所述紫外线发光元件111而言，如图1所示，优选地，一列以上以射出lOOnm波长至410nm波长范围的紫外线光的芯片(chip)、封装(package)或芯片和封装的混合形态的LED光源安装在带形态的单位电路基板112。
[0094]所述的用于曝光的光源模块单元100对作为多个紫外线发光元件(UV LED)列阵模块的光源板组合作为聚光透镜列阵模块的光学板，所述聚光透镜列阵模块可将聚光效率最大化，具有通过图1至图12详细说明、且权利要求范围的权利要求1至10所记载的构成，省略其详细说明。
[0095]综上所述，就根据本实用新型的曝光装置200而言，其设置为具有对现有常规的曝光装置替换所述用于曝光的光源模块单元100，由此通过低耗电、节省光源替换费用、提升曝光装置的运转时间及解决环境问题等可期待突破性的节省维修费用的效果，不仅如此，尤其具有如下优点:通过紫外线的单一波长和短波长可实现高输出及高效率，由此通过曝光性能和曝光效率的有效提升，使得曝光图案的微细化和突破性的高分辨率成为可能。
[0096]以上说明的本实用新型并非被上述特定的优选实施例所限定，并且在不脱离权利要求范围内所要求的本实用新型的要点的情况下，在该实用新型所属的技术领域具有一般知识的人员皆能进行各种变形实施例，并且所述变形所属于所记载的权利要求范围内。
[0097]标号说明
[0098]100:用于曝光的光源模块单元
[0099]110:光源板
[0100]111:紫外线发光元件
[0101]112:电路基板
[0102]113:支撑板
[0103]120:光学板
[0104]121:聚光透镜
[0105]122:透镜板
[0106]200:曝光装置
[0107]210:反射镜
[0108]240:掩膜
[0109]A:收光区域 / 孔(aperture)
【主权项】
1.一种用于曝光的光源模块单元，其特征在于，包括: 光源板，其构成为，多个单位紫外线发光元件以矩阵形态的列阵构造安装于电路基板上，并装载于支撑板； 光学板，其具有如下构造，多个单位聚光透镜以从与所述发光元件分别对应的位置相对主光轴向穿过所述光源板上的紫外线发光元件列阵的中心的任意基准中心轴线侧偏心的状态的矩阵形态的列阵结构设置在以与所述光源板相互面对的形态配置于所述紫外线发光元件的光射出侧的透镜板。2.根据权利要求1所述的用于曝光的光源模块单元，其特征在于， 所述单位聚光透镜越是逐渐远离穿过所述光源板上的紫外线发光元件列阵的中心的任意的基准中心轴线侧而配置于靠近边缘的位置，相对所对应的单位紫外线发光元件的主光轴的偏心量越是增加，并形成矩形形态的列阵构造，从而使得从各个单位紫外线发光元件所照射的扩散光聚光在收光区域，所述收光区域设定于曝光装置的光学系统。3.根据权利要求1所述的用于曝光的光源模块单元，其特征在于， 所述紫外线发光元件以芯片或封装中所选择的某一个形态或两者混合的形态的LED光源安装于单一或多个单位电路基板。4.根据权利要求1所述的用于曝光的光源模块单元，其特征在于， 所述紫外线发光元件以芯片或封装中所选择的某一个形态或两者混合的形态的LED光源安装于单一的电路基板。5.根据权利要求1至4中任意一项所述的用于曝光的光源模块单元，其特征在于， 所述单位聚光透镜以两面凸透镜形成。6.根据权利要求1至4中任意一项所述的用于曝光的光源模块单元，其特征在于， 所述单位聚光透镜以两面凸透镜形成，所述两面凸透镜具有根据进行列阵的排列位置相互不同光学构造的曲率面。7.根据权利要求1至4中任意一项所述的用于曝光的光源模块单元，其特征在于， 相对从所述紫外线发光元件至收光区域A的光学距离“a”，从穿过所述光源板上的紫外线发光元件列阵的中心0的基准中心轴线侧分离的紫外线发光元件的分离距离“b”、以及所述紫外线发光元件和聚光透镜的面对面分离距离“c”、以及所述各个紫外线发光元件的中心轴和聚光透镜的中心轴之间的偏心距离“X”、以及收光区域A的直径“t”的关系设定为，聚光透镜的偏心距离“X”的基准满足“X = b*c/a”，并且所述“X”的范围满足“bc(2b_t)/2ab〈x〈bc(2b+t)/2ab”。8.根据权利要求1至4中任意一项所述的用于曝光的光源模块单元，其特征在于， 相互对应的所述单位紫外线发光元件和单位聚光透镜的面对面分离距离c和所述聚光透镜的直径d满足1.0c<d<2.5c的条件。9.根据权利要求1至4中任意一项所述的用于曝光的光源模块单元，其特征在于， 所述光源板和所述光学板设置为，被壳体支撑而以可装卸于曝光装置的状态得到单元化。10.根据权利要求1至4中任意一项所述的用于曝光的光源模块单元，其特征在于， 在所述光源板和所述光学板的周围还包括散热装置。11.一种曝光装置，其包括:曝光工作台，其用于对涂覆有感光剂的用于曝光的基板进行支撑；驱动装置，其对所述曝光工作台以能够在X-Y平面坐标上进行移动的状态进行驱动；用于曝光的光源模块单元，其设置为向掩膜射出照明光，所述掩膜用于形成所述基板的曝光图案；光学系统，其设置于所述基板和用于曝光的光源模块单元之间；以及控制装置，其对所述驱动装置和用于曝光的光源单元的驱动联系起来进行控制， 所述曝光装置的特征在于，所述用于曝光的光源模块单元包括: 光源板，其构成为，多个单位紫外线发光元件以矩阵形态的列阵构造安装于电路基板上，并装载于支撑板； 光学板，其具有如下构造，多个单位聚光透镜以从与所述发光元件分别对应的位置相对主光轴向穿过所述光源板上的紫外线发光元件列阵的中心的任意基准中心轴线侧偏心的状态的矩阵形态的列阵结构设置在以与所述光源板相互面对的形态配置于所述发光元件的光射出侧的透镜板。12.根据权利要求11所述的曝光装置，其特征在于， 所述单位聚光透镜越是逐渐远离穿过所述光源板上的紫外线发光元件列阵的中心的任意的基准中心轴线侧而配置于靠近边缘的位置，相对所对应的单位紫外线发光元件的主光轴的偏心量越是增加，并形成矩形形态的列阵构造，从而构成为使得从各个单位紫外线发光元件所照射的扩散光聚光在收光区域，所述收光区域设定于曝光装置的光学系统。13.根据权利要求11或12所述的曝光装置，其特征在于， 相对从所述紫外线发光元件至收光区域A的光学距离“a”，从穿过所述光源板上的紫外线发光元件列阵的中心0的基准中心轴线侧分离的紫外线发光元件的分离距离“b”、以及所述紫外线发光元件和聚光透镜的面对面分离距离“c”、以及所述各个紫外线发光元件的中心轴和聚光透镜的中心轴之间的偏心距离“X”、以及收光区域A的直径“t”的关系为，聚光透镜的偏心距离“X”的基准满足“X = b*c/a”，并且所述“X”的范围满足“bc(2b_t)/2ab〈x〈bc(2b+t)/2ab”。
【专利摘要】本实用新型提出一种用于曝光的光源模块。利用本实用新型的曝光用光源模块单元包括：光源板，其构成为，多个单位紫外线发光元件以矩阵形态的列阵构造贴装于电路基板上，并装载于支撑板；光学板，其具有如下构造，多个单位聚光透镜以从与所述发光元件分别对应的位置相对主光轴向穿过所述光源板上的紫外线发光元件列阵的中心的任意基准中心轴线侧偏心的状态的矩阵形态的列阵结构设置在以与所述光源板相互面对的形态配置于所述紫外线发光元件的光射出侧的透镜板。根据所述构成，使得从各个单位紫外线发光元件(UV？LED)照射而来的扩散光有效地聚光至以孔(aperture)形态设定在曝光装置的光学系统的收光区域，从而可谋求通过低耗电的光亮的最大化，尤其通过实现高效率、高输出的单一波长、短波长的紫外线光，可确保突破性地提高曝光图案的微细化和分辨率的曝光性能的同时，可具有实用且经济可行地替代现有曝光装置的光源的效果。
【IPC分类】G03F7/20
【公开号】CN205103540
【申请号】CN201520858315
【发明人】赵南稙, 印致億, 朴钟沅, 宋友莉, 丁海一
【申请人】赵南稙, 东莞华晶光电科技有限公司
【公开日】2016年3月23日
【申请日】2015年10月30日