偏振光照射装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及具备线状的光源、槽状的主反射镜、以及线栅偏振器的偏振光照射装置。
【背景技术】
[0002]已知如下偏振光照射装置，在槽状的主反射镜内收容线状的光源，通过设置在主反射镜的射出侧的线栅偏振器使该光源的光偏振，从而对照射对象物进行照射。在该偏振光照射装置中，光源的长度方向的照度是在光源的端部附近相对于光源的中心急剧下降，照度不均较大。
[0003]于是，存在如下紫外线照射装置(例如，参照专利文献I)，为了补偿照度不均，而将反射朝向光源的长度方向外侧的光的辅助反射镜设置在光源的两端部外侧。另外，还存在将同样的辅助反射镜设置在包围主反射镜的筐体的下方的紫外可见光照射装置(例如，参照专利文献2)。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1:日本特开2008 - 221170号公报
[0007]专利文献2:日本特开2012 — 138348号公报
【发明内容】
[0008]本发明要解决的问题
[0009]然而，如果只是将上述的以往的结构简单地应用于偏振光照射装置，则不能充分地补偿照度不均。
[0010]本发明是鉴于上述的情况而完成的，其目的是提供能够进一步改善照度不均的偏振光照射装置。
[0011]用于解决问题的方法
[0012]为了达到上述目的，本发明的偏振光照射装置具备:线状的光源；槽状的主反射镜，其对该光源的光进行聚光；以及线栅偏振器，其用于使照射的光直线偏振，所述偏振光照射装置对照射对象物照射偏振光，其特征在于，在所述光源的发光端附近设有从所述光源向所述线栅偏振器附近延伸的辅助反射镜。
[0013]在上述的结构中，也可以使所述辅助反射镜相对于所述照射对象物的铅垂方向在0°?20°的范围内倾斜地设置。
[0014]在上述的结构中，也可以设置成如下，在所述光源和所述线栅偏振器之间具备波长选择滤光器，所述辅助反射镜分割配置在所述光源和所述波长选择滤光器之间、以及所述波长选择滤光器和所述线栅偏振器之间。
[0015]在上述的结构中，也可以如下构成所述辅助反射镜，所述辅助反射镜被分割成上部辅助反射镜和下部辅助反射镜，在所述光源的发光长短于所述光源的长度方向上的所述照射对象物的长度的情况下，将所述下部辅助反射镜的下端配置在所述照射对象物的长度以上的位置上，在所述光源的发光长长于所述照射对象物的所述长度的情况下，将所述下部辅助反射镜的角度配置成不同于所述上部辅助反射镜的角度。
[0016]在上述的结构中，也可以使冷却风在所述主反射镜的前端和所述波长选择滤光器之间的空间部、以及所述波长选择滤光器和所述线栅偏振器之间的空间部中流动。
[0017]在上述的结构中，所述辅助反射镜也可以构成为，以覆盖所述主反射镜的剖面的大小形成所述光源侧的基端部，并在所述基端部上设置有使所述光源贯穿的切口部，并且以至少所述主反射镜的剖面开口宽度以上的大小形成所述线栅偏振器侧的前端部。
[0018]在上述的结构中，也可以对所述辅助反射镜以该辅助反射镜和所述光源的轴的交点为中心而调整该辅助反射镜的倾斜角度。
[0019]在上述的结构中，也可以使所述光源及所述主反射镜的热源冷却路径、和所述波长选择滤光器与所述偏振器单元之间的偏振器冷却路径独立。另外，也可以将所述光源及所述主反射镜收纳在筐体内，在筐体的光射出开口部配置所述线栅偏振器，在所述筐体的内部设置对所述光源及所述主反射镜和所述筐体进行分隔的分隔壁，在所述分隔壁的开口以堵塞该开口的方式配置所述波长选择滤光器，使向所述分隔壁的开口的内侧供给冷却风的所述光源及所述主反射镜的热源冷却路径、和向所述波长选择滤光器和所述线栅偏振器之间的空间部供给冷却风的所述偏振器单元的偏振器冷却路径独立。
[0020]发明效果
[0021]根据本发明，由于在光源的发光端附近设置了从光源向线栅偏振器附近延伸的辅助反射镜，因此能够进一步改善照度不均。
【附图说明】
[0022]图1是示意性表示本发明的第一实施方式涉及的偏振光照射装置的主视图。
[0023]图2是表示偏振光照射装置的侧视图。
[0024]图3是表示偏振器单元的结构的图，其中，(A)是俯视图，(B)是侧剖视图。
[0025]图4是表不偏振光照射装置的侧剖视图。
[0026]图5是关于偏振光照射装置将灯的端部放大而表示的示意图。
[0027]图6是表示辅助反射板的角度和工件的总能量之间的关系的曲线图。
[0028]图7是表示辅助反射镜的角度和照度之间的关系的曲线图，其中，(A)是表示整体，⑶是放大表不(A)的部分Y。
[0029]图8是表示辅助反射镜的长度和照度之间的关系的曲线图。
[0030]图9是示意性表示本发明的第二实施方式涉及的偏振光照射装置的主视图。
[0031]图10是表示偏振光照射装置的侧视图。
[0032]图11关于偏振光照射装置将灯的端部放大而表示的示意图。
[0033]图12是表示偏振光照射装置的侧剖视图。
[0034]图13是表示辅助反射镜的长度和照度之间的关系的曲线图。
[0035]图14是关于本发明的第三实施方式涉及的偏振光照射装置将灯的端部放大而表示的示意图。
[0036]附图标记说明
[0037]1,100,200:偏振光照射装置，4:灯(光源)，5:主反射板(主反射镜)，6、106:辅助反射板(辅助反射镜)，7:波长选择滤光器，10:偏振器单元，16:线栅偏振器，20A:基端部，20B:前端部，21:切口部，106A:上部辅助反射板(上部辅助反射镜)，106B:下部辅助反射板(下部辅助反射镜)，K:剖面开口宽度，M:发光长，P:发光端，S1、S2:空间部，W:工件(照射对象物)。
【具体实施方式】
[0038]以下，参照附图对本发明的实施方式进行说明。
[0039]<第一实施方式>
[0040]图1是示意性表示第一实施方式涉及的偏振光照射装置的主视图，图2是表示偏振光照射装置的侧视图。图3是表示偏振器单元的结构的图，图3(A)是俯视图，图3(B)是侧剖视图。图4是表示偏振光照射装置的侧剖视图。
[0041]如图1及图2所示，偏振光照射装置I是对板状或者带状的工件(照射对象物)W的光取向膜照射偏振光来进行光取向的光取向装置。在偏振光照射装置I中，在下表面具有光射出开口部3A的筐体3内具备:作为光源的灯4、主反射板(主反射镜)5以及辅助反射板(辅助反射镜)6，并且在光射出开口部3A具备偏振器单元10。这些主反射板5及辅助反射板6构成偏振光照射装置I的反射镜。
[0042]工件W通过直动机构(未图示)沿直动方向X被移送，从而通过偏振光照射装置I的正下方，工件W在通过偏振光照射装置I的正下方时暴露在偏振光下，由此光取向膜被取向。在本实施方式中，工件W形成为在俯视时为矩形状，并且以使工件W的短边方向与直动方向X —致的方式被移送。
[0043]筐体3配置在从工件W离开规定距离的上方位置。灯4为放电灯，使用至少以与工件W的长边方向的长度同等以上的长度延伸的直管型(棒状)的紫外线灯。
[0044]主反射板5是剖面为椭圆形且沿灯4的长边方向延伸的圆柱凹面(槽状)反射镜，主反射板5对灯4的光进行聚光之后从光射出开口部3A朝向偏振器单元10照射。
[0045]光射出开口部3A是形成在灯4的正下方的在俯视时为矩形状的开口部，光射出开口部3A设置成长边方向与灯4的长边方向(轴向)一致。
[0046]在光射出开口部3A的内侧设置有