使用超快激光束光学器件、中断层和其他层的堆叠透明材料切割的制作方法

文档序号:12282827阅读:来源:国知局
技术总结
一种激光钻孔、形成穿孔、切割、分离或以其他方式加工材料的方法,该方法包括将脉冲激光束聚焦成激光束焦线,并且将该激光束焦线引导至包含堆叠的工件内,该堆叠至少包含:第一层,面向该激光束,该第一层是待激光加工的材料,包含载体层的第二层,和位于该第一与第二层之间的激光束中断元件,该激光束焦线在该第一层的材料内产生诱导吸收,该诱导吸收在该第一层的材料内沿着该激光束焦线产生缺陷线。该光束中断元件可以是光束中断层或光束中断界面。

技术研发人员:R·G·曼利;S·马加诺维克;G·A·皮奇;S·楚达;R·S·瓦格纳
受保护的技术使用者:康宁股份有限公司
文档号码:201480075653
技术研发日:2014.12.11
技术公布日:2017.02.22

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