一种脆性材料打孔方法与流程

文档序号:11119072阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种脆性材料打孔方法,其特征在于:

采用超短激光脉冲束对待加工脆性材料进行成丝切割,形成穿透所述脆性材料的圆环;

在所述圆环内设置一个消融区域,所述消融区域的形状为指定形状,利用激光消融的方式对所述指定形状的脆性材料进行去除,形成多个待裂片处理且互不相连的待裂片单体;

对多个所述待裂片单体同时进行裂片处理,实现所述脆性材料的打孔加工。

2.如权利要求1所述脆性材料打孔方法,其特征在于:所述指定形状为端部与所述圆环相交的十字形或米字形,所述激光光斑对十字形或米字形区域进行激光消融处理后,形成待裂片处理且互不相连的多个扇形区域。

3.如权利要求1所述脆性材料打孔方法,其特征在于:所述指定形状为顶点与所述圆环相交的中空多边形,所述激光光斑对中空多边形区域进行激光消融处理后,形成待裂片处理且互不相连的弓形区域。

4.如权利要求2或3所述脆性材料打孔方法,其特征在于:采用CO2激光激光器对所述待裂片单体进行裂片处理。

5.如权利要求1所述脆性材料打孔方法,其特征在于:采用超短激光脉冲束对待加工脆性材料进行所述成丝切割时,形成的光斑点间距为3-10um。

6.如权利要求1所述脆性材料打孔方法,其特征在于:采用超短激光脉冲束对待加工脆性材料进行所述成丝切割时,激光输出功率为15-50W,输出频率为20-100KHz。

7.如权利要求1所述脆性材料打孔方法,其特征在于:采用超短激光脉冲束对待加工脆性材料进行所述成丝切割时,激光切割头移动速度为50-200mm/s。

8.如权利要求1所述脆性材料打孔方法,其特征在于:利用所述激光消融的方式对所述脆性材料进行处理时,激光光斑重叠率为70%~95%。

9.如权利要求1所述脆性材料打孔方法,其特征在于:利用所述激光消融的方式对所述脆性材料进行处理时,扫描振镜移动速度为1000-4000mm/s。

10.如权利要求1所述脆性材料打孔方法,其特征在于:利用所述激光消融的方式对所述脆性材料进行处理时,激光输出频率为200-500KHz。

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