1.一种轴向冲液微细电解加工装置,其特征在于:所述的加工装置包括轴向冲液工具头(10)、工件阳极(20)、脉冲电源(30)、增压泵(40)和电解液槽(50)。
2.根据权利要求1所述的轴向冲液微细电解加工装置,其特征在于:所述的轴向冲液工具头(10)包括上腔体(13)、下腔体(14)、组合电极(15)、喷嘴(16)、压紧件ii(18)。
3.根据权利要求2所述的轴向冲液微细电解加工装置,其特征在于:所述的上腔体(13)的底部敞开,上腔体(13)的顶部开有通孔。
4.根据权利要求3所述的轴向冲液微细电解加工装置,其特征在于:所述的轴向冲液工具头(10)还包括止水塞(12),所述的通孔内部设有内螺纹段,内螺纹段底部设有止水塞环形台阶,止水塞(12)安装于通孔内部的止水塞环形台阶上,止水塞(12)顶端放置有压紧件i(11)。
5.根据权利要求2所述的轴向冲液微细电解加工装置,其特征在于:所述的下腔体(14)的顶部敞开,下腔体(14)的侧壁开有电解液入口(141);下腔体(14)底部设有凸台,凸台中心开有电解液出口(142),喷嘴(16)安装在电解液出口(142)的下端。
6.根据权利要求5所述的轴向冲液微细电解加工装置,其特征在于:所述的喷嘴(16)与电解液出口(142)之间采用间隙配合,且通过o型圈(17)密封。
7.根据权利要求5所述的轴向冲液微细电解加工装置,其特征在于:所述的压紧件ii(18)与下腔体(14)螺纹连接,并将喷嘴(16)固定在下腔体(14)的底部。
8.根据权利要求2所述的轴向冲液微细电解加工装置,其特征在于:所述的组合电极(15)包括引电杆(151)、固定盘(152)和工具电极(153)。
9.根据权利要求8所述的轴向冲液微细电解加工装置,其特征在于:所述的固定盘(152)的顶部中心开有与引电杆(151)螺纹连接的螺纹孔,固定盘(152)的底部中心开有与工具电极(153)螺纹连接的螺纹孔,固定盘(152)的中部为盘面,盘面上开有过水孔。
10.根据权利要求8所述的轴向冲液微细电解加工装置,其特征在于:工具电极(153)包括作用端(1532),作用端(1532)的上部设有轴套(1531),轴套(1531)支撑在喷嘴(16)的尾部中心;所述的轴套(1531)上开有过水槽。
11.根据权利要求2所述的轴向冲液微细电解加工装置,其特征在于:所述的上腔体(13)的底部外侧壁开有外螺纹,下腔体(14)顶部内侧壁开有内螺纹,下腔体(14)的顶部内部设有固定盘环形台阶,固定盘(152)的盘面置于固定盘环形台阶上,上腔体(13)通过螺纹与下腔体(14)进行连接并将固定盘(152)的盘面压紧在固定盘环形台阶上。
12.根据权利要求1-11任一项所述的轴向冲液微细电解加工装置,其特征在于:所述的压紧件i(11)、止水塞(12)、引电杆(151)、固定盘(152)、工具电极(153)、电解液出口(141)、轴套(1531)、喷嘴(16)、压紧件ii(18)和作用端(1532)均同轴布置。
13.根据权利要求10所述的轴向冲液微细电解加工装置,其特征在于:所述的作用端(1532)的直径小于等于100μm。
14.根据权利要求1所述的轴向冲液微细电解加工装置,其特征在于:所述的增压泵(40)的压力为0.6mpa~1mpa。
15.一种轴向冲液微细电解加工方法,其特征在于:所述的方法包括以下步骤:
a.将喷嘴(16)安装在下腔体(14)的电解液出口内,使用压紧件ii(18)将喷嘴(16)固定;
b.将引电杆(151)安装在固定盘(152)的上方,工具电极(153)安装在固定盘(152)的下方,组装为组合电极(15);
c.将组合电极(15)的引电杆(151)的上端穿过上腔体(13)、止水塞(12)和压紧件i(11);
d.将组合电极(15)的工具电极(153)的作用端穿过下腔体的电解液出口和喷嘴(16),并使工具电极(153)的作用端伸出喷嘴;
e.连接下腔体(14)与上腔体(13),形成封闭空腔;
f.将引电杆(151)的上端接脉冲电源(30)的负极,工件阳极(20)接脉冲电源(30)的正极,引电杆(151)、固定盘(152)和工具电极(153)依次电连接;
g.所述的增压泵(40)的输出端与下腔体(14)的电解液入口(141)通过供液管连接,增压泵(40)的输入端与电解液槽(50)通过供液管连接;
h.使轴向冲液工具头(10)靠近工件阳极(20),工具电极(153)的作用端与工件阳极(20)加工表面留有加工间隙,调整增压泵(40)的压力使电解液沿工具电极(153)的轴向冲液到工件阳极(20)加工表面,使工具电极(153)与工件阳极(20)加工表面之间产生电解作用,直至在工件阳极加工表面上获得微细特征。
16.根据权利要求15所述的轴向冲液微细电解加工方法,其特征在于:步骤(a)中,压紧件ii(18)与下腔体(14)通过螺纹连接。
17.根据权利要求15所述的轴向冲液微细电解加工方法,其特征在于:步骤(b)中,引电杆(151)与固定盘(152)通过螺纹连接,工具电极(153)与固定盘(152)通过螺纹连接。
18.根据权利要求15所述的轴向冲液微细电解加工方法,其特征在于:步骤(c)中,压紧件i(11)与上腔体(13)通过螺纹连接。
19.根据权利要求15所述的轴向冲液微细电解加工方法,其特征在于:步骤(e)中,下腔体(14)与上腔体(13)通过螺纹连接。