一种光刻机铝合金连接件生产用成型装置的制作方法

文档序号:26081331发布日期:2021-07-30 13:31阅读:62来源:国知局
一种光刻机铝合金连接件生产用成型装置的制作方法

本实用新型涉及一种连接件,具体为一种光刻机铝合金连接件生产用成型装置,属于连接件生产成型技术领域。



背景技术:

光刻机制造时使用材质为铝合金的连接件,光刻机是制造微机电、光电、二极体大规模集成电路的关键设备,铝合金密度低,但强度比较高,接近或超过优质钢,塑性好,可加工成各种型材,具有优良的导电性、导热性和抗蚀性,部分连接件生产时冲压成型。

现有技术的连接件生产成型有以下缺点:1、连接件冲压过程中产生振动易使连接件移位,造成连接件冲压质量差;2、连接件生产自动化程度低,需手动把冲压后的连接件取下,冲压效率低,因此,针对上述问题进行改进。



技术实现要素:

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种光刻机铝合金连接件生产用成型装置,冲压台底部的弹簧和减震箱内减振组件配合进行减振;电动推杆带动推板前移使冲压后的连接件沿斜板滑出冲压台。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的,一种光刻机铝合金连接件生产用成型装置,包括加工台,所述加工台表面固定连接有支撑架,所述加工台表面固定连接有减振箱,所述减振箱位于冲压台的下方,所述减振箱内两侧固定连接有滑架,所述滑架内滑动连接有活塞,所述活塞底端间隙连接有减振弹簧,所述活塞顶端粘接有顶杆,所述顶杆固定连接在冲压台的底端两侧,所述冲压台底端活动连接有弹簧,所述弹簧底端间隙连接在减振箱的表面,所述冲压台两侧开设有滑槽,所述滑槽滑动连接有固定杆,所述固定杆固定连接有固定架a,所述冲压台中部开设有冲压槽,所述冲压槽位于冲压块的底部,所述固定架a表面开设有安装槽,所述安装槽内活动连接有推板,所述推板固定连接有电动推杆,所述冲压台位于固定架b的后方,所述固定架b中部固定连接有斜板,所述电动推杆安装在固定架a的表面。

优选的,所述支撑架内顶端安装有液压缸,所述液压缸底端固定连接有冲压块。

优选的,所述冲压台表面开设有放置槽,所述固定杆两端贯穿连接有固定架a和固定架b。

优选的,所述减振弹簧底端间隙连接有加工台,所述顶杆顶端贯穿减振箱。

优选的,所述推板位于冲压槽的后方,所述斜板位于固定架b的前方。

优选的,所述液压缸和电动推杆的电流输入端与外界电源通过导线电性连接。

本实用新型的有益效果是:

1、冲压台底部的弹簧和减震箱内减振组件配合进行减振;冲压时液压缸伸长带动底端的冲压块下移对冲压台上的连接件进行冲压,冲压产生的压力带动冲压台下移,冲压台下移带动底端两侧固定的顶杆下移,顶杆底端连接有活塞,顶杆下移带动活塞沿减振箱内滑架内壁下移对减振弹簧进行压缩,减振弹簧想恢复原状给活塞一个向上的作用力,该作用力向上传递即给冲压台一个向上的作用力,冲压台下移时同时也对冲压台与减振箱间连接的弹簧进行压缩,弹簧想恢复原状给冲压台一个向上的作用力,减振弹簧和弹簧给冲压台的作用力与冲压块作用在冲压台上的力部分抵消,使冲压台处于平稳状态,即弹簧和减振箱内减振弹簧配合对冲压台进行减振,可避免连接件振动歪斜。

2、电动推杆带动推板前移使冲压后的连接件沿斜板滑出冲压台;冲压台上连接件冲压结束后,液压缸缩短带动冲压块上移,冲压块远离后固定架a上安装的电动推杆通电,电动推杆通电后伸长带动连接的推板前移,推板前移与连接件接触,推板持续前移推动连接件沿冲压槽滑动向前移动,连接件经推板作用下持续前移经过固定架b后移动到斜板上,斜板向下倾斜一定角度,连接件前移一定距离后因自身重力作用沿斜板的倾斜斜面向下滑动离开冲压槽,可通过电动推杆连接的推板推动连接件前移,使其沿斜板下滑自动离开冲压台,可节省人力,提高冲压效率。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图;

图2为本实用新型整体的部分剖结构示意图;

图3为本实用新型冲压装置俯视图的部分结构示意图。

图中:1、支撑架;2、固定架a;3、液压缸;4、冲压台;5、放置槽;6、固定杆;7、滑槽;8、减振箱;9、加工台;10、滑架;11、减振弹簧;12、弹簧;13、活塞;14、顶杆;15、冲压槽;16、冲压块;17、固定架b;18、安装槽;19、电动推杆;20、斜板;21、推板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3所示,一种光刻机铝合金连接件生产用成型装置,包括加工台9,所述加工台9表面固定连接有支撑架1,所述加工台9表面固定连接有减振箱8,所述减振箱8位于冲压台4的下方,所述减振箱8内两侧固定连接有滑架10,所述滑架10内滑动连接有活塞13,所述活塞13底端间隙连接有减振弹簧11,所述活塞13顶端粘接有顶杆14,所述顶杆14固定连接在冲压台4的底端两侧,所述冲压台4底端活动连接有弹簧12,所述弹簧12底端间隙连接在减振箱8的表面,所述冲压台4两侧开设有滑槽7,所述滑槽7滑动连接有固定杆6,所述固定杆6固定连接有固定架a2,所述冲压台4中部开设有冲压槽15,所述冲压槽15位于冲压块16的底部,所述固定架a2表面开设有安装槽18,所述安装槽18内活动连接有推板21,所述推板21固定连接有电动推杆19,所述冲压台4位于固定架b17的后方,所述固定架b17中部固定连接有斜板20,所述电动推杆19安装在固定架a2的表面。

示例的,减振箱8内包括滑架10、减振弹簧11和活塞13,减振弹簧11位于加工台9与活塞13之间,活塞13可沿滑架10内壁进行上下滑动,活塞13下移对减振弹簧11进行压缩,减振弹簧11想恢复原状给活塞13一个向上的作用力,冲压台4两侧开设有滑槽7,可对冲压台4移动位置进行限定,固定架b17上固定的斜板20,斜板20倾斜一定角度,冲压后的连接件因自身重力作用沿斜板20向下滑动离开冲压台4。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述支撑架1内顶端安装有液压缸3,所述液压缸3底端固定连接有冲压块16。

示例的,支撑架1未液压缸3提供安装平台,液压缸3通电后伸缩带动连接的冲压块16下移或上移。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述冲压台4表面开设有放置槽5,所述固定杆6两端贯穿连接有固定架a2和固定架b17。

示例的,冲压台4表面开设的放置槽5可方便未冲压连接件进行放置,固定杆6两端分别与固定架a2和固定架b17连接,可固定固定杆6位置。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述减振弹簧11底端间隙连接有加工台9,所述顶杆14顶端贯穿减振箱8。

示例的,减振弹簧11两端分别与活塞13和加工台9连接,可固定减振弹簧11的位置,顶杆14贯穿减振箱8与冲压台4连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述推板21位于冲压槽15的后方,所述斜板20位于固定架b17的前方。

示例的,推板21前移推动冲压槽15上冲压成型的连接件向前移动,经过固定架b17经斜板20向下滑动进行收集。

作为本实用新型的一种优选技术方案,所述液压缸3和电动推杆19的电流输入端与外界电源通过导线电性连接。

示例的,外界电源分别为液压缸3和电动推杆19提供电源,液压缸3和电动推杆19间并联,均可独立工作。

本实用新型在使用时,外界电源供电,按下启动按钮,把待加工的铝合金连接件放在冲压台4表面的放置槽5内,放置后支撑架1内顶端的液压缸3(是将液压能转变为机械能的、做直线往复运动的液压执行元件)伸长带动底端的冲压块16下移对冲压台4上的连接件进行冲压,液压缸3型号为hob63*100,冲压产生的压力带动冲压台4下移,冲压台4下移过程中两侧的滑槽7沿固定杆6向下滑动,冲压台4下移时带动底端两侧固定的顶杆14下移,顶杆14底端连接有活塞13,顶杆14下移带动活塞13沿减振箱8内滑架10内壁下移对减振弹簧11进行压缩,减振弹簧11想恢复原状给活塞13一个向上的作用力,该作用力向上传递即给冲压台4一个向上的作用力,冲压台4下移时同时也对冲压台4与减振箱8间连接的弹簧12进行压缩,弹簧12想恢复原状给冲压台4一个向上的作用力,减振弹簧11和弹簧12给冲压台4的作用力与冲压块16作用在冲压台4上的力部分抵消,使冲压台4处于平稳状态,冲压台4上连接件冲压结束后,液压缸3缩短带动冲压块16沿冲压槽15上移,冲压块16离开冲压槽15后固定架a2上安装的电动推杆19(电动推杆19内电动机经齿轮减速后,带动一对丝杆螺母。把电机的旋转运动变成直线运动,利用电动机正反转完成推杆动作)通电,电动推杆19型号为xtl50,电动推杆19通电后伸长带动连接的推板21前移,推板21前移与连接件接触,推板21持续前移推动连接件沿冲压槽15滑动向前移动,连接件经推板21作用下持续前移经过固定架b17后移动到斜板20上,斜板20向下倾斜一定角度,连接件前移一定距离后因自身重力作用沿斜板20的倾斜斜面向下滑动离开冲压槽15,冲压后的连接件离开后再把待加工连接件放在冲压台4上持续冲压。

对于本领域技术人员而言,显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节,而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下,能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此,无论从哪一点来看,均应将实施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定,因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外,应当理解,虽然本说明书按照实施方式加以描述,但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案,说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见,本领域技术人员应当将说明书作为一个整体,各实施例中的技术方案也可以经适当组合,形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

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