工件支撑装置及工件吸着固定方法与流程

1.本发明关于一种使工件支撑器兼具吸附功能，可精巧地吸着锁定、保持工件的工件支撑装置及工件吸着固定方法。


背景技术：

2.加工薄板工件时，工件因加工而容易变形，所以必须通过工件支撑器来承接。而且，由于加工时的振动会产生浮起，所以也需要由吸附钳的拉回。
3.例如，专利文献1(日本特开2002-283161)所揭示的技术从下方支持工件下表面，所以无法防止颤振。
4.专利文献2(日本特开2008-87125)所揭示的技术通过吸附垫来吸附保持工件下表面，但由于由弹性构件所构成的吸附垫的弹性变形而无法防止颤振。
5.专利文献3(日本特开平1-109042)所揭示的技术将吸盘与支持体设在不同位置，将吸附与刚体支持的支持功能分散来支持工件，以防止工件的振动，但由于功能分散，所以无法充分防止颤振。
6.上述熟知手段，除了有无法防止颤振的问题外，还有以下的问题点。
7.由于将吸附钳与工件支撑器个别地设置，所以无法精简化，而无法使工件支撑器多点顶触工件。
8.若将工件支撑器的头面间隙设为真空垫(吸附垫)时，因还需要配管等使得重量变重，得加强提升弹簧。如此一来，会使工件大幅变形。
9.即便仅以多点的吸附钳装置来支持，由于没有承受座，因而无法抑制荷重所致的变形。若以吸附钳与多点的定点面来保持时，由于会发生工件材料的翘曲等，所以并无法以多点来承载。
10.平坦面可利用平坦的吸附钳装置来夹持、保持，但两端弯曲的工件或两端有段差的工件则无法使用平坦的吸附钳。
11.(现有技术文献)
12.(专利文献)
13.专利文献1：日本特开2002-283161号公报
14.专利文献2：日本特开2008-87125号公报
15.专利文献3：日本特开平01-109042号公报。


技术实现要素：

16.[发明所欲解决的课题]
[0017]
本发明是为了解决上述熟知技术的课题所研创者，目的在于提供一种工件支撑装置，能够在同一位置进行吸附与刚体支持，以谋求装置的精简化且防止颤振。
[0018]
[解决课题的手段]
[0019]
为了达成所述目的，本发明采取下述构件。也就是，本发明的工件支撑装置具有：
箱构件，设于支持工件的工件支持部，且具有轴心；支撑构件，沿所述轴心方向移动自如地设于该箱构件，且该支撑构件的一端部设为自所述箱构件朝外方突出而支持所述工件的突出端部；吸附垫，同心状地设于所述突出端部，以吸附于所述工件；调整装置，设于所述支撑构件与所述箱构件之间，以调整所述支撑构件对于所述工件的抵接压；吸气通路，使与所述工件抵接的所述吸附垫内成为负压，并将用以将所述突出端部吸附固定于所述工件而设的吸气口与设于所述箱构件的吸气埠之间连通；以及固定装置，在所述吸附固定的状态下，将所述支撑构件固定于所述箱构件。
[0020]
较优选为所述调整装置具有将所述支撑构件朝突出方向弹推的阻尼构件。
[0021]
较优选为所述调整装置具有使所述阻尼构件沿突出方向移动的缸装置。
[0022]
较优选为所述支撑构件具有位于所述箱构件内的杆部，于该杆部的中心部设有中心孔，该中心孔于与所述突出端部相反侧的端面形成开口，且所述阻尼构件收纳于该中心孔。
[0023]
较优选为所述固定装置具有：压接构件，以能够容许所述支撑构件的轴方向移动的方式配置于支撑构件的外周面侧，并通过压接于所述支撑构件的外周面而限制支撑构件的轴方向移动；以及加压部，使该压接构件压接于所述支撑构件的外周面。
[0024]
较优选为于所述突出端部的吸气通路设有开闭阀，且设有将该开闭阀朝突出方向侧弹推而关阀的阀弹簧；在所述吸附固定的状态下，所述开闭阀抵抗所述阀弹簧而维持开阀状态，并抵接固定于所述突出端部。
[0025]
较优选为构成为可调整所述突出端部的前端面与所述吸附垫的前端面的轴方向的相对位置。
[0026]
较优选为所述突出端部的前端面较所述吸附垫的前端面更位于下方。
[0027]
本发明的工件吸着固定方法使用在工件支撑装置，所述工件支撑装置于移动自如地设于箱构件的支撑构件的突出端部设有吸附垫，所述工件吸着固定方法使所述吸附垫与工件抵接，且使所述吸附垫内成为负压，据此使所述突出端部的前端面与所述工件的外表面抵接后，将所述支撑构件固定于所述箱构件。
[0028]
[发明的效果]
[0029]
根据本发明，由于可在同一位置进行吸附固定，因此达成精简化且防止颤振。
附图说明
[0030]
图1是本发明的实施方式的工件支撑装置的使用状态的说明图。
[0031]
图2显示本发明的一实施方式，显示采用流体压举升器作为调整装置，且支撑构件位于下降位置的释放状态的剖面图。
[0032]
图3是图2的装置的使用状态图，图3的(a)部分显示支撑构件上升，吸附垫与工件接触的状态，图3的(b)部分显示吸附固定的状态。
[0033]
图4显示本发明的另一实施方式，显示采用弹簧举升器作为调整装置，且支撑构件位于上升位置的释放状态的剖面图。
[0034]
图5是图4的装置的使用状态图，图5的(a)部分显示工件下降，吸附垫与工件接触的状态，图5的(b)部分显示吸附固定的状态。
[0035]
图6显示本发明的另一实施方式，显示采用流体压举升器作为调整装置并于负压
装置采用开关阀，且支撑构件位于下降位置的释放状态的剖面图。
[0036]
图7是图6的装置的使用状态图，图7的(a)部分显示支撑构件上升，吸附垫及开关阀与工件接触的状态，图7的(b)部分显示吸附固定的状态。
[0037]
图8显示本发明的另一实施方式，显示采用流体压举升器作为调整装置，并以螺丝调整使突出端部的高度调整自如，且支撑构件位于下降位置的释放状态的剖面图。
[0038]
图9是图8的装置的使用状态图，图9的(a)部分显示支撑构件上升，吸附垫与工件接触的状态，图9的(b)部分显示吸附固定的状态。
[0039]
图10显示本发明的另一实施方式，显示采用流体压举升器作为调整装置，并以螺丝调整使突出端部的高度调整自如，且支撑构件位于下降位置的释放状态的剖面图。
[0040]
图11是显示图10所示的工件支撑装置的使用状态的说明图。
具体实施方式
[0041]
以下根据附图说明本发明的实施方式。
[0042]
图1中，本实施方式的工件支撑装置设于工件支持部1。工件2安装于工件支持部1。工件支撑装置在同一位置吸附固定工件2的下表面，而防止切削等加工时的振动。
[0043]
工件支撑装置具有箱构件3。箱构件3设于工件支持部1。箱构件3具有轴心4。
[0044]
箱构件3设于工件支持部1的结构未有具体限制。例如，箱构件3形成为筒状体，于筒状体的外周面形成螺牙部，利用此螺牙部螺锁至工件支持部1。或者，于箱构件3设置凸缘，将此凸缘固定于工件支持部1(参照虚线所示的态样)。通过螺锁结合，可调整工件支撑装置的轴心方向安装位置。
[0045]
工件支撑装置具有支撑构件5。支撑构件5沿轴心方向移动自如地设于箱构件3。支撑构件5的轴心方向的一端自箱构件3朝外方突出的突出端部6。
[0046]
工件支撑装置具有吸附垫7。吸附垫7同心状地设于支撑构件5的突出端部6。吸附垫7吸附于工件2，以橡胶等弹性构件所构成者。吸附垫7的形状未有具体限制，但，例如具有固定于突出端部6的基部，且具有从基部向上方呈喇叭状开口的开口周缘，而通过此周缘来形成吸附面。
[0047]
工件支撑装置具有调整装置8。调整装置8设于支撑构件5与箱构件3之间，调整支撑构件5对于工件2的抵接压。此调整装置8使支撑构件5以较大的力量将工件2上推，且不使工件2变形的装置。
[0048]
就调整装置8的具体例而言，可通过将弹性弱的弹性构件等插设于支撑构件5与箱构件3之间而构成。
[0049]
工件支撑装置具有吸气通路9。吸气通路9可构成为连通设于吸附垫7内的突出端部6的吸气口10及设于箱构件3的吸引埠11。吸引埠11与真空泵等负压产生装置12连接。
[0050]
通过此吸气通路9，使吸附垫7内成为负压，据此使突出端部6的前端面与工件2的外表面抵接，并维持吸附固定的状态。
[0051]
工件支撑装置具有固定装置13。固定装置13在所述吸附固定的状态下，将支撑构件5固定至箱构件3。
[0052]
在此说明上述构成的工件支撑装置的作用。
[0053]
工件支撑装置的吸附垫7与工件2相对地接近，使得吸附垫7的上端的吸附面抵接
于工件2的下表面。此抵接压通过调整装置8调整，支撑构件5以较大的力量将工件2上推而使工件2不致变形。
[0054]
通过负压产生装置12使吸气通路9内成为负压而使吸附垫7内成为负压，据此使吸附垫7变形而使支撑构件5靠近工件2侧，使突出端部6的前端面牢固地吸附固定于工件2下表面。
[0055]
通过固定装置13，将支撑构件5固定于箱构件3。据此，工件2的下表面固定于箱构件3，且在一个吸附垫7的部位，防止已固定于工件支持部1的工件2的上下方向的振动(颤振)。
[0056]
另外，由上述说明可知，本发明的“吸附固定”将通过调整装置8成为轻微推靠的状态的支撑构件5固定于工件2，而不同于将支撑构件5大力推靠的状态下的“按压固定”。也就是，“吸附固定”使用来自箱构件作用于工件的上推力经调整装置调整后的上推力，相对于此“按压固定”直接使用来自箱构件的上推力。
[0057]
使用图1来说明工件吸附固定方法。
[0058]
此方法使用在移动自如地设于箱构件3的支撑构件5的突出端部6设有吸附垫7的工件支撑装置来进行。使吸附垫7与工件2抵接，使吸附垫7内成为负压，据此使突出端部6的前端面与工件2的外表面抵接后，将支撑构件5固定于箱构件3。
[0059]
通过上述方法，可进行非“按压固定”的“吸附固定”，可防止工件支撑装置所致的工件的变形，且可防止上下方向的振动。
[0060]
图2显示进一步明示具体构成的实施方式，且为支撑工件2前的自由状态下的本实施方式的工件支撑装置的剖面图。在此，与图1所示者相同的构成要件使用相同的符号来说明。
[0061]
箱构件3形成为筒状体，且于筒状体的外周面形成有螺牙部14。箱构件3利用此螺牙部14螺锁于工件支持部1。
[0062]
箱构件3的中心部设有上下方向贯通的支撑构件插通孔15。此插通孔15的轴心为箱构件3的轴心4。
[0063]
此插通孔15自其上端部至下端部变化孔径而设有小径部16、中径部17、及大径部18。大径部18的下端螺合盖体19而封闭插通孔15。
[0064]
支撑构件5具有杆部20，该杆部20轴心方向另一端位于箱构件3内。杆部20的中心部设有中心孔21，该中心孔21于轴心方向另一端面形成开口。此杆部20的一端部连接固定突出端部6。
[0065]
杆部20接触滑动自如地插通于箱构件3的支撑构件插通孔15的小径部16。小径部16中设有密封构件22。此密封构件22用以防止异物从小径部16与杆部20之间的间隙侵入。特别是以箱构件3内成为负压时不使异物侵入的刮板密封件为较优选。
[0066]
突出端部6通过螺牙与杆部20的端部结合。突出端部6于中心部形成有上下方向贯通的贯通孔23。贯通孔23的中途设有过滤器24。此过滤器24通过过滤器固定构件25装卸自如地固定于贯通孔23。在较此过滤器24更靠上方的位置，设有在突出端部6的侧面形成开口的吸气口10，且吸气口10与贯通孔23连通。贯通孔23与杆部20的中心孔21连通。吸气口10、贯通孔23、中心孔21形成吸气通路9。
[0067]
突出端部6固定有吸附垫7。吸附垫7具有开口周缘27，此开口周缘27自基部26朝上
方呈喇叭状开口，且此周缘27形成吸附面。突出端部6的前端部位于吸附面的中心部。突出端部6的前端面较吸附面更位于下方。在突出端部6的侧面形成开口的吸气口10在吸附垫7内形成开口。
[0068]
吸附垫7的基部26与设于突出端部6的下部的小径部气密状地嵌合，而防止往小径段部28的上方移动。吸附垫7的基部26的下端通过设于突出端部的承盘构件29支持，而防止往下方的移动。
[0069]
调整装置8具有：将支撑构件5朝突出方向弹推的阻尼构件30、及使阻尼构件30朝突出方向移动的缸装置31。
[0070]
阻尼构件30以由压缩线圈弹簧构成的上升弹簧所构成。此上升弹簧30为弱弹簧。属于阻尼构件30的上升弹簧收纳于杆部20的中心孔21。
[0071]
缸装置31具有：形成于箱构件3的缸室32；接触滑动自如地收纳于缸室32的活塞33；以及设于活塞33而从缸室32突出上方的活塞杆34。
[0072]
缸室32形成于盖体19。盖体19具有朝上方突出的凸部35。此凸部35与杆部20的中心孔21内嵌合，并引导支撑构件5的上下方向移动。
[0073]
收纳于缸室31的活塞33的上表面受到压缩弹簧36的抵接，将活塞33恒常地朝下方弹推。
[0074]
活塞33的下方的缸室32设有下方形成开口的流体压供给埠37。此流体压供给埠37与形成于工件支持部1的加压流体通路38连通。此加压流体通路38与省略图示的泵、压缩机等压力产生装置连通。加压流体可为液体或气体中任一者。
[0075]
收纳于杆部20的中心孔21的上升弹簧30的下端与活塞杆34的上端抵接，其上端与突出端部6的下端抵接。
[0076]
因此，支撑构件5通过活塞33的上升及上升弹簧30的弹推力而朝上方移动。
[0077]
盖体19设有：吸引埠11、及从吸引埠11起与杆部20的中心孔21连通的吸气通路9。吸引埠11与设于工件支持部1的吸引通路39连通，此吸引通路39与负压产生装置12(参照图1)连通。
[0078]
固定装置13具有压接构件40，该压接构件40以能够容许支撑构件5的轴方向移动的方式配置于支撑构件5的外周面侧。压接构件40通过压接于支撑构件5的外周面而限制支撑构件5的轴方向移动。
[0079]
固定装置13具有加压部41，该加压部41使压接构件40压接于支撑构件5的外周面。支撑构件5由于由加压部41进行的压接构件40的压接而固定于箱构件3。
[0080]
压接构件40由外嵌于杆部20而径缩自如的筒状构件所构成。筒状构件形成为锥形套筒42。锥形套筒42的外周面形成为随着愈向下方径部愈大的锥形面。锥形套筒42的下端与盖体19的上表面抵接，而防止往下方的移动。
[0081]
加压部41外嵌于锥形套筒42，形成为轴心方向移动自如的锥形活塞43。锥形活塞43接连地内嵌于箱构件3的插通孔15的中径部17与大径部18。中径部17设有密封材44，以保持气密。锥形活塞43的下端外嵌于盖体19。盖体19设有密封材45，以保持锥形活塞43与盖体19的气密。
[0082]
锥形活塞43与大径部18内面之间形成有间隙46。与此间隙46连通的加压通路47形成于盖体19。此加压通路47与缸室32的下端连通。
[0083]
锥形活塞43通过抵接于盖体19上表面的压缩弹簧48而朝上方弹推。位于中径部17与大径部18的交界的段部的锥形活塞43的肩部成为加压面49。加压面49通过从间隙46供给的加压媒体而朝下方推压，使得锥形活塞43抵抗压缩弹簧48而朝下方移动。
[0084]
锥形活塞43的内面形成为与锥形套筒42相同的锥形角度的锥形面。此锥形活塞43的锥形面与锥形套筒42的锥形面之间插设有多个的钢球50。
[0085]
通过锥形活塞43的下降，锥形套筒42通过钢球50迫紧、缩径而将杆部20锁定于箱构件3。
[0086]
图3的(a)部分显示图2的装置中，活塞33上升，吸附垫7的前端的开口周缘27与工件2下表面接触的状态，图3的(b)部分显示由吸附垫7与支撑构件5进行的同一位置下吸附固定工件2的状态。
[0087]
图3的(a)部分中，工件2固定于工件支持部1。对流体压供给埠37供给加压媒体，使活塞33上升，且支撑构件5通过上升弹簧30而上升，吸附垫7的开口周缘27与工件2的下面抵接。在此抵接的状态下，突出端部6的前端面未与工件2下面抵接。
[0088]
活塞33进一步上升，但上升弹簧30会压缩使得支撑构件5上升量不大。也就是，属于阻尼构件30的上升弹簧非常弱，而防止工件被上推而变形。
[0089]
此状态下，对流体压供给埠37供给的加压媒体通过加压通路47及间隙46而也作用于锥形活塞43的肩部的加压面49，但锥形活塞43受到压缩弹簧48的弹推力，而仍未向下方移动。
[0090]
此状态下，使吸附垫7内成为负压。也就是，通过负压产生装置12(参照图1)，使吸附垫7内成为负压。通过负压产生装置12所致的负压，使工件支持部1的吸引通路39、箱构件3的吸引埠11、形成于盖体19的吸气通路9、支撑构件5的中心孔21、突出端部6的贯通孔23、及吸气口10成为负压，使得吸附垫7的内部成为负压。
[0091]
图3的(b)部分中，吸附垫7内成为负压，据此，吸附垫7弹性变形而将支撑构件5拉起，使突出端部6的前端面“吸附固定”于工件2的下表面。此吸附固定与图3的(a)部分的状态下使支撑构件5上升并按压工件2下面来使突出端部6的前端面抵接的“按压固定”不同，不会产生往工件2的上方的按压力，故没有使工件2变形的疑虑。也就是，“按压固定”与“吸附固定”相异。
[0092]
通过吸附垫7的吸附固定使突出端部6的前端面吸附固定于工件2的下表面时，作用于锥形活塞43的加压媒体的压力增高，使得锥形活塞43抵抗压缩弹簧48朝下方移动。通过此锥形活塞43的下方移动，锥形套筒42通过钢球50缩径而迫紧杆部20，将支撑构件5固定于箱构件3。
[0093]
并且，工件2通过工件支撑装置吸附固定，而防止上下的振动。
[0094]
另外，负压产生装置12也可于成为图3的(a)部分之前即动作。此时，由于吸气通路9内设有过滤器24，因此可阻止异物的吸入。
[0095]
图4显示本发明的另一实施方式，就调整装置8而言，不具有缸装置，而仅由阻尼构件30来构成。
[0096]
本实施方式中，盖体19未设有缸装置。而于盖体19立设有上升弹簧支持体51。此上升弹簧支持体51支持着属于调整装置8的阻尼构件30的上升弹簧的下端。
[0097]
于盖体19形成有连通形成在固定装置13的锥形活塞43与大径部18内面之间的间
隙46的加压通路47。于盖体19的下表面设有与加压通路47连通的流体压供给埠37。
[0098]
其它的构成与所述图2所示构成相同。
[0099]
图5的(a)部分显示图4的装置中，工件2下降，吸附垫7的前端的吸附面接于工件2下表面的状态，图5的(b)部分显示由吸附垫7与支撑构件5进行的同一位置下的吸附固定工件的状态。
[0100]
图5的(a)部分中，使工件2下降而固定于工件支持部1时，工件2的下表面与吸附垫7的开口周缘27抵接。此时，属于调整装置8的阻尼构件30的上升弹簧受到压缩，至抵接压成为既定的压力为止，支撑构件5伴随着工件2的下降而下降。上升弹簧30设定为抵接压不会使工件变形的强度。
[0101]
如图5的(b)部分所示，使吸附垫7内成为负压，将突出端部6的前端面拉引靠近工件2下表面，并且抵接而吸附固定于工件2。
[0102]
固定装置13动作而将支撑构件5固定于箱构件3。据此，工件2的下表面通过吸附垫7与支撑构件5吸附固定，并经由固定装置13固定于箱构件3。
[0103]
图6显示本发明的另一实施方式，于突出端部6的前端面设有吸气口10。并且设有自由开闭此吸气口10的开闭阀52。开闭阀52通过阀弹簧53朝突出方向侧弹推，成为较吸气口10朝外方突出而闭阀。
[0104]
吸气口10的下表面形成为阀座54。开闭阀52具有与此阀座54密接的凸缘55。阀弹簧53使凸缘55与阀座54密接而关闭吸气通路9。
[0105]
开闭阀52抵抗此阀弹簧53朝下方移动将阀座54开启时，开闭阀52的下端面56与突出端部6抵接而封闭吸气通路9。对此，开闭阀52设有在下端面56关闭吸气通路9的状态下，使吸气通路9与吸气口10连通的吸气通路9。
[0106]
其它构成与图2所示的构成相同。
[0107]
图7的(a)部分显示图6的装置中，支撑构件5上升，吸附垫7的前端的吸附面与工件2下表面接触的状态，图7的(b)部分显示由吸附垫7与支撑构件5进行的同一位置下的吸附固定工件2的状态。
[0108]
图7的(a)部分中，吸附垫7的前端的吸附面与工件2下表面接触的状态下使吸气通路9内成为负压时，开闭阀52抵抗阀弹簧53而朝下方移动而开阀，使吸附垫7内成为负压。
[0109]
如图7的(b)部分所示，支撑构件5被拉起，开闭阀52的前端面与工件2抵接，且下端面56与突出端部6抵接。支撑构件5以此状态通过固定装置13固定于箱构件3。
[0110]
另外，开闭阀52也可为受到工件2的按压而开阀。
[0111]
图8显示本发明的另一实施方式，构成为可调整突出端部6的前端面与吸附垫7的开口周缘27的轴方向的相对位置。
[0112]
也就是，突出端部6中，通过前端部57的螺锁结合而构成为轴方向位置调整自如的前端面。突出端部6与前端部57的接合部形成有吸气通路9。此吸气通路9中设有筒状过滤器58，筒状过滤器58以前端部57来固定。
[0113]
前端部57的前端面形成为圆弧状或曲线状。
[0114]
其它构成与图2所示的构成相同。
[0115]
图9的(a)部分显示图8的装置中，支撑构件5上升，吸附垫7的前端的吸附面与工件2下表面接触的状态，图9的(b)部分显示由吸附垫7与支撑构件5进行的同一位置下的吸附
固定工件的状态。
[0116]
此实施方式中，由于可调整前端部57的前端面与吸附垫7的开口周缘27的轴方向的相对位置，所以即便工件2改变，也可容易地调整。
[0117]
由于前端部57的前端面形成为圆弧状或曲线状，所以即使工件2为弯曲面、倾斜面，均可进行吸附固定。
[0118]
图10显示本发明的另一实施方式，与工件2抵接的突出端部6的前端面形成为曲面59的型态。
[0119]
使突出端部6的前端面成为曲面，且突出端部6的吸气口于侧面形成开口，而吸气通路9未设有过滤器。
[0120]
其它构成与图2所示的构成相同。
[0121]
图11显示图10所示的工件支撑装置的使用态样的说明图。
[0122]
即使工件2的周缘非平坦面而为弯曲面、倾斜面等，由于突出端部6的前端面为曲面59，故也可据此吸附固定。
[0123]
又此时，若如图8所示，构成为可调整突出端部6的前端面与吸附垫7的开口周缘27的轴方向的相对位置，则可增加使用态样的范围。
[0124]
本揭示的实施例的型态皆为例示，并非限制性的型态。例如，支撑构件5不限于杆部20与突出端部6由独立构件所构成而也可为一体者。固定装置13不限于锥形套筒型式，也可为日本特开2002-283161号公报所记载的弹性变形套筒型式。阻尼构件30不限于弹簧类的弹性构件，也可为阻尼缸类的构件，总之，若能够使吸附垫7以既定的抵接压抵接者即可。吸附垫7的形状也不限于上方形成开口的喇叭状而也可为蛇腹状。
[0125]
本发明的范围并非为上述说明者，而是由权利要求书所示者，且包含与权利要求书均等意义及权利要求书内所有的变更实施。
[0126]
附图标记说明
[0127]1ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
工件支持部
[0128]2ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
工件
[0129]3ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
箱构件
[0130]4ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
轴心
[0131]5ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
支撑构件
[0132]6ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
突出端部
[0133]7ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
吸附垫
[0134]8ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
调整装置
[0135]9ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
吸气通路
[0136]
10
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
吸气口
[0137]
11
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
吸引埠
[0138]
12
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
负压产生装置
[0139]
13
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
固定装置
[0140]
14
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
螺牙部
[0141]
15
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
支撑构件插通孔
[0142]
16
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
小径部
[0143]
17
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
中径部
[0144]
18
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
大径部
[0145]
19
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
盖体
[0146]
20
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
杆部
[0147]
21
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
中心孔
[0148]
22
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
密封构件
[0149]
23
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
贯通孔
[0150]
24
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
过滤器
[0151]
25
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
过滤器固定构件
[0152]
26
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
基部
[0153]
27
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
开口周缘
[0154]
28
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
小径段部
[0155]
29
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
承盘构件
[0156]
30
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
阻尼构件(上升弹簧)
[0157]
31
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
缸装置
[0158]
32
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
缸室
[0159]
33
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
活塞
[0160]
34
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
活塞杆
[0161]
35
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
凸部
[0162]
36
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
压缩弹簧
[0163]
37
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
流体压供给埠
[0164]
38
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
加压流体通路
[0165]
39
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
吸引通路
[0166]
40
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
压接构件
[0167]
41
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
加压构件
[0168]
42
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
锥形套筒
[0169]
43
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
锥形活塞
[0170]
44
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
密封构件
[0171]
45
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
密封构件
[0172]
46
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
间隙
[0173]
47
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
加压通路
[0174]
48
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
压缩弹簧
[0175]
49
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
加压面
[0176]
50
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
钢球
[0177]
51
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
上升弹簧支持体
[0178]
52
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
开闭阀
[0179]
53
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
阀弹簧
[0180]
54
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
阀座
[0181]
55
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
凸缘
[0182]
56
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
下端面
[0183]
57
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
前端部
[0184]
58
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
筒状过滤器
[0185]
59
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
曲面。