一种加工双极板流道的激光加工系统的制作方法

1.本发明涉及双极板技术领域，具体而言，涉及一种加工双极板流道的激光加工系统。


背景技术：

2.双极板是燃料电池的核心部件之一，石墨复合材料是燃料电池双极板的理想材料，石墨复合材料双极板的流道设计是决定燃料电池性能的关键因素。
3.目前，石墨复合材料双极板的流道加工方法通常基于模具热压如图1所示，经历上料、模压和脱模最终得到加工后的双极板。由于模具热压受限于模具设计、模压工艺和脱模过程的影响，只能加工出比较简单的流道形貌，例如图1中的横截面为矩形的直流道，很难加工出横截面为非矩形横截面的流道。
4.现有技术中通过简单调控流道形貌的参数，例如直流道的宽度、深度和间距来优化双极板的传热传质性能，然而这种简单调控无法达到较好的效果，限制了燃料电池性能的提升。


技术实现要素：

5.本发明提供了一种加工双极板最终流道的激光加工系统，能够加工出横截面为非矩形横截面的流道形貌，提升了燃料电池性能。具体的技术方案如下。
6.第一方面，本发明提供了一种加工双极板流道的激光加工系统，所述激光加工系统包括控制器、表面微观光学检测设备、皮秒激光器、扩束器、振镜和聚焦场镜，所述表面微观光学检测设备、所述皮秒激光器和所述振镜均与所述控制器电连接，所述振镜与所述表面微观光学检测设备电连接，所述聚焦场镜安装于所述振镜的出口，石墨复合材料基材设置于所述聚焦场镜的下方；
7.所述控制器发送待加工流道形貌尺寸特征至所述皮秒激光器，并发送待加工信息至所述振镜，其中，所述待加工信息至少包括多个不同的扫描路径信息，所述待加工流道形貌尺寸特征表征待加工流道的横截面为非矩形横截面；
8.所述皮秒激光器根据接收到的待加工流道形貌尺寸特征射出激光至所述扩束器；
9.所述扩束器对接收到的激光的直径进行扩大得到扩大后的激光并射出至所述振镜；
10.所述振镜根据所述多个扫描路径信息，控制接收到的激光通过所述聚焦场镜形成的聚焦光斑对所述石墨复合材料基材进行扫描得到扫描后流道，并发送扫描完成信息至所述表面微观光学检测设备；
11.所述表面微观光学检测设备接收所述扫描完成信息，检测所述扫描后流道的形貌尺寸特征并发送至所述控制器；
12.所述控制器对比所述扫描后流道的形貌尺寸特征与所述待加工流道形貌尺寸特征之间的差异是否在误差范围内，如果是，将所述扫描后流道作为最终流道。
13.可选的，将所述多个扫描路径信息中的第一个扫描路径信息作为当前扫描路径信息，所述振镜根据所述当前扫描路径信息，控制接收到的激光通过所述聚焦场镜形成的聚焦光斑对所述石墨复合材料基材的上表面进行扫描得到具有矩形横截面的直流道；
14.将所述具有矩形横截面的直流道作为扫描后直流道，将所述当前扫描路径信息的下一个扫描路径信息作为当前扫描路径信息，根据所述当前扫描路径信息，控制接收到的激光通过所述聚焦场镜形成的聚焦光斑对所述扫描后直流道的上表面进行扫描得到新的具有矩形横截面的直流道；
15.将新的具有矩形横截面的直流道作为扫描后直流道，返回执行所述将所述当前扫描路径信息的下一个扫描路径信息作为当前扫描路径信息的步骤直至所有的扫描路径信息均已完成为止得到经多次扫描后形成的扫描后流道；
16.其中，当前扫描路径信息的下一个扫描路径信息包含的起始扫描位置相对于当前扫描路径信息包含的起始扫描位置更靠近扫描后直流道的底面中心，且当前扫描路径信息的下一个扫描路径信息中的路径长度小于当前扫描路径信息中的路径长度。
17.可选的，所述待加工信息还包括第一流道间隔和第一流道数量；
18.在得到所述最终流道后，所述振镜根据所述第一流道间隔、所述第一流道数量和所述多个扫描路径信息，控制接收到的激光通过所述聚焦场镜形成的聚焦光斑对所述石墨复合材料基材的上表面进行扫描得到多个与所述最终流道相同的第一流道，所述最终流道和所述多个第一流道组成第一流道阵列；
19.其中，所述第一流道阵列中包含的各流道之间的间隔为所述第一流道间隔，所述第一流道阵列中包含的流道的总数量为所述第一流道数量。
20.可选的，所述激光加工系统还包括第一反射镜和第二反射镜；
21.所述扩束器对接收到的激光的直径进行扩大得到扩大后的激光并射至所述第一反射镜，经所述第一反射镜反射得到第一反射光并射至所述第二反射镜，经所述第二反射镜反射得到第二反射光并射出至所述振镜。
22.可选的，所述激光加工系统还包括移动平台，所述移动平台与所述控制器连接，所述移动平台设置于所述聚焦场镜的下方，所述石墨复合材料基材固定于所述移动平台的上方；
23.所述控制器发送第二流道间隔和第二流道数量至所述移动平台；
24.在得到所述最终流道后，所述移动平台根据所述第二流道间隔进行移动，所述振镜根据所述多个扫描路径信息，控制接收到的激光通过所述聚焦场镜形成的聚焦光斑对所述石墨复合材料基材的上表面进行扫描得到多个与所述最终流道相同的第二流道，所述最终流道和所述多个第二流道组成第二流道阵列；
25.其中，所述第二流道阵列中包含的各流道之间的间隔为所述第二流道间隔，所述第二流道阵列中包含的流道的总数量为所述第二流道数量。
26.可选的，所述聚焦光斑的直径的量级为微米量级。
27.可选的，所述最终流道的横截面为u型横截面。
28.可选的，所述最终流道的横截面的形状为v型横截面。
29.可选的，所述皮秒激光器的脉宽小于10皮秒。
30.可选的，所述最终流道的横截面的形状为台阶状横截面。
31.由上述内容可知，本发明实施例提供的加工双极板流道的激光加工系统中，控制器发送待加工流道形貌尺寸特征至皮秒激光器，并发送待加工信息至振镜，其中，待加工信息至少包括多个不同的扫描路径信息，待加工流道形貌尺寸特征表征待加工流道的横截面为非矩形横截面，皮秒激光器根据接收到的待加工流道形貌尺寸特征射出激光至扩束器，扩束器对接收到的激光的直径进行扩大得到扩大后的激光并射出至振镜，振镜根据多个扫描路径信息，控制接收到的激光通过聚焦场镜形成的聚焦光斑对石墨复合材料基材进行扫描得到扫描后流道，并发送扫描完成信息至表面微观光学检测设备，表面微观光学检测设备接收扫描完成信息，检测扫描后流道的形貌尺寸特征并发送至控制器，控制器对比扫描后流道的形貌尺寸特征与待加工流道形貌尺寸特征之间的差异是否在误差范围内，如果是，将扫描后流道作为最终流道。本发明实施例中，通过控制器控制皮秒激光器基于待加工流道形貌尺寸特征以及振镜基于多个不同的扫描路径信息对石墨复合材料基材进行扫描的方式得到扫描后流道，并在对比扫描后流道的形貌尺寸特征与待加工流道形貌尺寸特征之间的差异在误差范围内时，将扫描后流道作为最终流道，由于待加工流道形貌尺寸特征表征待加工流道的横截面为非矩形横截面，因此，最终流道为横截面为非矩形横截面的流道，由此能够加工出横截面为非矩形横截面的流道形貌，提升了燃料电池性能。当然，实施本发明的任一产品或方法并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。
32.本发明实施例的创新点包括：
33.1、通过控制器控制皮秒激光器基于待加工流道形貌尺寸特征以及振镜基于多个不同的扫描路径信息对石墨复合材料基材进行扫描的方式得到扫描后流道，并在对比扫描后流道的形貌尺寸特征与待加工流道形貌尺寸特征之间的差异在误差范围内时，将扫描后流道作为最终流道，由于待加工流道形貌尺寸特征表征待加工流道的横截面为非矩形横截面，因此，最终流道为横截面为非矩形横截面的流道，由此能够加工出横截面为非矩形横截面的流道形貌，提升了燃料电池性能。
34.2、本发明实施例提供的激光加工系统，可以通过控制器根据设计方案对最终流道进行快速成型，并用于双极板的研发、优化以及后续的量产。
35.3、随着技术的发展，皮秒激光器的成本越来越低，由于其低成本以及高加工效率使得本发明实施例提供的激光加工系统可以为性能要求较高的特种双极板进行小规模量产，提高加工效率。
36.4、通过控制器控制振镜和移动平台进行联动然后对石墨复合材料基材进行扫描，可以在大面积石墨复合材料基材上快速加工流道阵列，为石墨复合材料双极板的流场研究提供技术支撑。
37.5、光滑的u型横截面的最终流道会降低固液接触面积和黏附，更有利于燃料电池的流场的排水，因此，通过加工不同尺寸和曲率的u型横截面的最终流道对研究和优化双极板的排水性能可以提供技术支撑。
38.6、采用本技术提供的加工双极板流道的激光加工系统进行流场的成型，针对每一种新流道无需设计新的模具和研究新的工艺，通过控制器控制皮秒激光器基于待加工流道形貌尺寸特征以及振镜基于多个不同的扫描路径信息对石墨复合材料基材进行扫描的方式即可得到横截面为非矩形横截面的流道，既节省成本也节省时间，还可以大幅加快流场开发速度，在得到比较优化的流场设计以后，再去设计模具，实现量产。
附图说明
39.为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例。对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
40.图1为基于模具热压的石墨复合材料双极板的流道加工示意图；
41.图2为本发明实施例提供的加工双极板流道的激光加工系统的一种结构示意图；
42.图3为振镜3扫描得到扫描后流道的过程示意图；
43.图4为v型横截面的最终流道的结构示意图；
44.图5为台阶状横截面的最终流道的结构示意图；
45.图6为第一流道阵列的结构示意图。
46.图1-图6中，1皮秒激光器、2扩束器、3振镜、4聚焦场镜、5石墨复合材料基材、6第一反射镜、7第二反射镜、8移动平台、9激光、10聚焦光斑、a第一个扫描路径信息、a矩形流道、b当前扫描路径信息的下一个扫描路径信息、b新矩形流道、a1当前扫描路径信息包含的起始扫描位置、b1当前扫描路径信息的下一个扫描路径信息包含的起始扫描位置、o扫描后直流道的底面中心、c横截面为u型横截面的最终流道、d第一流道。
具体实施方式
47.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述。显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
48.需要说明的是，本发明实施例及附图中的术语“包括”和“具有”以及它们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含的一系列步骤或单元的过程、方法、网络、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其他步骤或单元。
49.本发明实施例公开了一种加工双极板流道的激光加工系统，能够加工出横截面为非矩形横截面的流道形貌，提升了燃料电池性能。下面对本发明实施例进行详细说明。
50.图2为本发明实施例提供的加工双极板流道的激光加工系统的一种结构示意图。参见图2，激光加工系统包括控制器、表面微观光学检测设备、皮秒激光器1、扩束器2、振镜3和聚焦场镜4，表面微观光学检测设备、皮秒激光器1和振镜3均与控制器电连接，振镜3与表面微观光学检测设备电连接，聚焦场镜4安装于振镜3的出口，石墨复合材料基材5设置于聚焦场镜4的下方。
51.示例性的，皮秒激光器1的脉宽可以小于10皮秒，此时皮秒激光器1为超快激光器，具有加工精度高、加工效率高和材料选择性高的优点。
52.在工作时，控制器发送待加工流道形貌尺寸特征至皮秒激光器1，并发送待加工信息至振镜3，其中，待加工信息至少包括多个不同的扫描路径信息，待加工流道形貌尺寸特征表征待加工流道的横截面为非矩形横截面，示例性的，待加工流道形貌尺寸特征可以包括待加工流道的深度、待加工流道的宽度和/待加工流道的弧度。
53.皮秒激光器1根据接收到的待加工流道形貌尺寸特征射出激光9至扩束器2，扩束器2对接收到的激光9的直径进行扩大得到扩大后的激光并射出至振镜3，其中，皮秒激光器1根据接收到的待加工流道形貌尺寸特征射出激光为现有技术，在此不再赘述。
54.振镜3根据多个扫描路径信息，控制接收到的激光通过聚焦场镜4形成的聚焦光斑对石墨复合材料基材5进行扫描得到扫描后流道，并发送扫描完成信息至表面微观光学检测设备。
55.表面微观光学检测设备接收扫描完成信息，获知扫描已完成，检测扫描后流道的形貌尺寸特征并发送至控制器。
56.由于扫描得到的扫描后流道可能存在一定误差，因此，控制器对比扫描后流道的形貌尺寸特征与待加工流道形貌尺寸特征之间的差异是否在误差范围内，如果是，将扫描后流道作为最终流道。
57.具体的，振镜3扫描得到扫描后流道的过程可以为：
58.将多个扫描路径信息中的第一个扫描路径信息作为当前扫描路径信息，振镜3根据当前扫描路径信息，控制接收到的激光通过聚焦场镜4形成的聚焦光斑对石墨复合材料基材5的上表面进行扫描得到具有矩形横截面的直流道；
59.将具有矩形横截面的直流道作为扫描后直流道，将当前扫描路径信息的下一个扫描路径信息作为当前扫描路径信息，根据当前扫描路径信息，控制接收到的激光通过聚焦场镜4形成的聚焦光斑对扫描后直流道的上表面进行扫描得到新的具有矩形横截面的直流道；
60.将新的具有矩形横截面的直流道作为扫描后直流道，返回执行将当前扫描路径信息的下一个扫描路径信息作为当前扫描路径信息的步骤直至所有的扫描路径信息均已完成为止得到经多次扫描后形成的扫描后流道；
61.其中，当前扫描路径信息的下一个扫描路径信息包含的起始扫描位置相对于当前扫描路径信息包含的起始扫描位置更靠近扫描后直流道的底面中心，且当前扫描路径信息的下一个扫描路径信息中的路径长度小于当前扫描路径信息中的路径长度。
62.由于一般激光的聚焦光斑直径是小于流道宽度的，所以可以通过多次扫描的方式来获得预期的横截面为非矩形横截面的流道形貌。横截面为非矩形横截面即最终流道的流道形貌可以有多种，包括但不限于：最终流道的横截面可以为u型横截面，最终流道的横截面的形状为v型横截面，本发明实施例对此并不做任何限定。
63.示例性的，聚焦光斑的直径的量级为微米量级，具体的，聚焦光斑的直径范围可以为10微米-50微米。
64.下面以默认扫描后流道的形貌尺寸特征与待加工流道形貌尺寸特征之间的差异在误差范围内，且最终流道的横截面为u型横截面为例进行介绍：
65.图3为振镜3扫描得到扫描后流道的过程示意图，参见图3，图3中的第一行为石墨复合材料基材5的俯视图，第二行为石墨复合材料基材5的正视图，两者是一一对应的，首先，将多个扫描路径信息中的第一个扫描路径信息a作为当前扫描路径信息，振镜3根据当前扫描路径信息，控制接收到的激光通过聚焦场镜4形成的聚焦光斑10在石墨复合材料基材5的上表面进行第一次扫描，雕刻出一个具有矩形横截面的直流道，简称为矩形流道a。
66.其中，扫描路径信息的数量对应了扫描的次数。通过改变皮秒激光器1的激光输出
功率可以精准控制矩形流道的深度；通过改变振镜3的扫描速率或者皮秒激光器1的脉冲重复频率可以改变矩形流道的表面粗糙度。
67.继续参见图3，当第一次扫描结束后，将具有矩形横截面的直流道a作为扫描后直流道，将当前扫描路径信息的下一个扫描路径信息b作为当前扫描路径信息，根据当前扫描路径信息，振镜3控制接收到的激光通过聚焦场镜4形成的聚焦光斑10对扫描后直流道的上表面进行扫描得到新的具有矩形横截面的直流道，简称新矩形流道b。
68.也就是说，聚焦光斑10在已经成型的矩形流道上进行第二次扫描，由于当前扫描路径信息的下一个扫描路径信息包含的起始扫描位置b1相对于当前扫描路径信息包含的起始扫描位置a1更靠近扫描后直流道的底面中心o，且当前扫描路径信息的下一个扫描路径信息中的路径长度小于当前扫描路径信息中的路径长度，因此，可以在已有的矩形流道上形成宽度更小的矩形流道。
69.接着可以进行第三次扫描、第四次扫描、第五次扫描直至所有的扫描路径信息均已完成为止，得到经n次层层递进扫描后形成的扫描后流道，在此实施例中也就是横截面为u型横截面的最终流道c。
70.由此，通过层层递进扫描的方式，可得到宏观尺度上横截面为u型横截面的较为光滑的最终流道，也就是说多层矩形结构近似于u型。
71.在燃料电池中，反应水在表面粘附的作用下，容易在流道的棱角附近聚集，相较于有棱角的流道，光滑的u型横截面的最终流道会降低固液接触面积和黏附，更有利于燃料电池的流场的排水。因此，通过加工不同尺寸和曲率的u型横截面的最终流道对研究和优化双极板的排水性能可以提供技术支撑。
72.当然，通过改变扫描次数、每次扫描的扫描路径信息和起始扫描位置，加上高斯光斑效应的影响，通过上述扫描方式不仅可以加工出u型横截面的最终流道，还可以加工出v型横截面的最终流道如图4所示，以及台阶状横截面的最终流道如图5所示。
73.由上述内容可知，本实施例中，控制器发送待加工流道形貌尺寸特征至皮秒激光器1，并发送待加工信息至振镜3，其中，待加工信息至少包括多个不同的扫描路径信息，待加工流道形貌尺寸特征表征待加工流道的横截面为非矩形横截面，皮秒激光器1根据接收到的待加工流道形貌尺寸特征射出激光至扩束器2，扩束器2对接收到的激光的直径进行扩大得到扩大后的激光并射出至振镜3，振镜3根据多个扫描路径信息，控制接收到的激光通过聚焦场镜4形成的聚焦光斑对石墨复合材料基材5进行扫描得到扫描后流道，并发送扫描完成信息至表面微观光学检测设备，表面微观光学检测设备接收扫描完成信息，检测扫描后流道的形貌尺寸特征并发送至控制器，控制器对比扫描后流道的形貌尺寸特征与待加工流道形貌尺寸特征之间的差异是否在误差范围内，如果是，将扫描后流道作为最终流道。本发明实施例中，通过控制器控制皮秒激光器1基于待加工流道形貌尺寸特征以及振镜3基于多个不同的扫描路径信息对石墨复合材料基材5进行扫描的方式得到扫描后流道，并在对比扫描后流道的形貌尺寸特征与待加工流道形貌尺寸特征之间的差异在误差范围内时，将扫描后流道作为最终流道，由于待加工流道形貌尺寸特征表征待加工流道的横截面为非矩形横截面，因此，最终流道为横截面为非矩形横截面的流道，由此能够加工出横截面为非矩形横截面的流道形貌，提升了燃料电池性能。
74.以及，本发明实施例提供的激光加工系统，可以通过控制器根据设计方案对最终
流道进行快速成型，并用于双极板的研发、优化以及后续的量产。
75.并且，随着技术的发展，皮秒激光器的成本越来越低，由于其低成本以及高加工效率使得本发明实施例提供的激光加工系统可以为性能要求较高的特种双极板进行小规模量产，提高加工效率。
76.示例性的，待加工信息还可以包括第一流道间隔和第一流道数量，下面仍以最终流道的横截面为u型横截面为例进行介绍：
77.在得到最终流道后，振镜3根据第一流道间隔、第一流道数量和多个扫描路径信息，控制接收到的激光通过聚焦场镜4形成的聚焦光斑对石墨复合材料基材5的上表面进行扫描得到多个与最终流道c相同的第一流道d，最终流道c和多个第一流道d组成第一流道阵列；
78.其中，第一流道阵列中包含的各流道之间的间隔为第一流道间隔，第一流道阵列中包含的流道的总数量为第一流道数量。
79.也就是说，在加工得到最终流道c后，可以通过同样的扫描方式按照第一流道间隔和第一流道数量对石墨复合材料基材5的上表面的其他位置进行扫描得到多个与最终流道c相同的第一流道d，由最终流道c和多个第一流道d组成第一流道阵列如图6所示。由此，振镜3对石墨复合材料基材5直接进行扫描就可以得到第一流道阵列，提高了加工效率。此种方式适合于石墨复合材料基材5的整体尺寸较小，振镜3的扫描范围可以覆盖石墨复合材料基材5的情况下。
80.由此，通过控制器控制振镜3进行扫描，可以在石墨复合材料基材5上快速加工流道阵列。
81.类似的，如图4所示，通过同样的扫描方式可以得到v型横截面的流道阵列，如图5所示，通过同样的扫描方式可以得到台阶状横截面的流道阵列。
82.继续参见图2，激光加工系统还可以包括第一反射镜6和第二反射镜7；
83.扩束器2对接收到的激光的直径进行扩大得到扩大后的激光并射至第一反射镜6，经第一反射镜6反射得到第一反射光并射至第二反射镜7，经第二反射镜7反射得到第二反射光并射出至振镜3。
84.由于有时受限于现实条件，皮秒激光器1的位置可能低于振镜3的位置，为了使经过扩束器2的激光可以射出至振镜3，需要增加反射镜，具体的，可以增加两个反射镜：第一反射镜6和第二反射镜7。
85.由此，通过增加反射镜的方式，使得经过扩束器2的激光可以射出至振镜3，以便后续进行最终流道的扫描。
86.继续参见图2，激光加工系统还可以包括移动平台8，移动平台8与控制器连接，移动平台8设置于聚焦场镜4的下方，石墨复合材料基材5固定于移动平台8的上方；
87.控制器发送第二流道间隔和第二流道数量至移动平台8；
88.在得到最终流道后，移动平台8根据第二流道间隔进行移动，振镜3根据多个扫描路径信息，控制接收到的激光通过聚焦场镜4形成的聚焦光斑对石墨复合材料基材5的上表面进行扫描得到多个与最终流道相同的第二流道，最终流道和多个第二流道组成第二流道阵列；
89.其中，第二流道阵列中包含的各流道之间的间隔为第二流道间隔，第二流道阵列
中包含的流道的总数量为第二流道数量。
90.也就是说，在加工得到最终流道后，控制器需要控制移动平台8根据第二流道间隔进行移动以便于振镜3对移动后的移动平台8上的石墨复合材料基材5的上表面进行扫描，振镜3通过同样的扫描方式扫描得到多个与最终流道相同的第二流道，最终流道和多个第二流道组成第二流道阵列。由此，控制器需要通过控制移动平台8移动，然后再控制振镜3对移动后的移动平台8上的石墨复合材料基材5的上表面进行扫描的方式来得到第二流道阵列，提高了加工效率。此种方式适合于石墨复合材料基材5的整体尺寸较大的情况下。
91.示例性的，移动平台8为三轴移动平台。
92.由此，通过控制器控制振镜3和移动平台8进行联动然后对石墨复合材料基材5进行扫描，可以在大面积石墨复合材料基材5上快速加工流道阵列，为石墨复合材料双极板的流场研究提供技术支撑。
93.并且，现有技术中的石墨复合材料双极板的流场的成型需要的周期较长，例如采用热压进行流场的成型，针对每一种新流道都需要设计新的模具和研究新的工艺，然后才能进行加工成型，这导致周期较长。但是采用本技术提供的加工双极板流道的激光加工系统进行流场的成型，针对每一种新流道无需设计新的模具和研究新的工艺，通过控制器控制皮秒激光器1基于待加工流道形貌尺寸特征以及振镜3基于多个不同的扫描路径信息对石墨复合材料基材5进行扫描的方式即可得到横截面为非矩形横截面的流道，既节省成本也节省时间，还可以大幅加快流场开发速度，在得到比较优化的流场设计以后，再去设计模具，实现量产。
94.以上所述的实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，尤其对于最终流道的横截面的形状，本技术仅提供了几种样例，实际加工中由于激光控制便捷，可以加工出各种特殊形貌的最终流道。然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
95.本领域普通技术人员可以理解：附图只是一个实施例的示意图，附图中的模块或流程并不一定是实施本发明所必须的。
96.本领域普通技术人员可以理解：实施例中的装置中的模块可以按照实施例描述分布于实施例的装置中，也可以进行相应变化位于不同于本实施例的一个或多个装置中。上述实施例的模块可以合并为一个模块，也可以进一步拆分成多个子模块。
97.最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明实施例技术方案的精神和范围。