技术特征：
1.一种飞秒激光微加工的同步监测装置，包括底盘和飞秒激光器，其特征在于，还包括：顶盘，与所述底盘平行布设，所述顶盘通过支撑件与底盘连接，且所述底盘与顶盘之间设置有通道，以便于激光对待加工件进行加工；调节组件，所述调节组件设置于顶盘顶端，调节组件与其一端设置的齿轮传动组件铰接，且调节组件的末端安装有监测头，并在齿轮传动组件的驱动下调整监测头的摆动角度；拉伸组件，所述拉伸组件设置于调节组件的末端，用于调节监测头在调节组件末端的位置；齿轮传动组件，所述齿轮传动组件安装于调节组件的一端，且齿轮传动组件上均匀设置有夹持组件，用于在调整待加工件的同时控制调节组件的工作过程。2.根据权利要求1所述的飞秒激光微加工的同步监测装置，其特征在于，所述调节组件包括转动安装于顶盘上的固定柱、布设于固定柱侧面的侧板一和侧板二、滑动安装于侧板一和侧板二上的滑块、设置于滑块侧面的支撑杆；所述侧板一和侧板二上开设有供所述滑块滑动的滑槽；所述固定柱侧面安装有悬挂杆，悬挂杆上铰接有伸缩件一，且伸缩件一的自由端安装有限位块，限位块与支撑杆上开设的限位槽滑动连接。3.根据权利要求2所述的飞秒激光微加工的同步监测装置，其特征在于，所述拉伸组件包括滑动安装于支撑杆上的抽杆、安装于抽杆一端与限位块相配合的磁极、安装于抽杆另一端的弹性件一；所述限位块中内置与磁极磁性相斥的磁极二；所述监测头安装于抽杆上并与支撑杆末端开设的槽滑动连接。4.根据权利要求2所述的飞秒激光微加工的同步监测装置，其特征在于，所述齿轮传动组件包括安装于侧板一和侧板二自由端的内齿圈、与所述内齿圈啮合的主动轮、与主动轮啮合的外齿圈；所述外齿圈与待加工件同轴心布设。5.根据权利要求4所述的飞秒激光微加工的同步监测装置，其特征在于，所述主动轮通过传动轴与外置的电机传动连接。6.根据权利要求4所述的飞秒激光微加工的同步监测装置，其特征在于，所述夹持组件包括等角度分布于外齿圈内部的套筒、与套筒滑动连接的导向杆、安装于导向杆一端的夹爪；所述导向杆上套设有弹性件二，所述弹性件二的两端分别与套筒和夹爪连接。7.根据权利要求6所述的飞秒激光微加工的同步监测装置，其特征在于，所述夹爪的工作面上设置有防护层，防护层由橡胶材料制成。
技术总结
本发明适用于飞秒激光微加工技术领域，提供了一种飞秒激光微加工的同步监测装置，包括底盘、顶盘、飞秒激光器、调节组件、拉伸组件和齿轮传动组件，顶盘与底盘平行布设，通过支撑件与底盘连接；调节组件与齿轮传动组件铰接，末端安装有监测头，并在齿轮传动组件的驱动下调整监测头的摆动角度；拉伸组件设置于调节组件的末端；齿轮传动组件安装于调节组件的一端，且齿轮传动组件上设置有夹持组件，用于调整待加工件的同时控制调节组件的工作过程；本监测装置在使用的过程中，能对飞秒激光器发出的激光对待加工件的加工过程进行实时监测，通过设置齿轮传动组件带动调节组件工作，控制监测头的位置，对加工位置进行多角度全方位的实时监测。时监测。时监测。
技术研发人员：和万霖
受保护的技术使用者：西安石油大学
技术研发日：2021.11.03
技术公布日：2022/3/15