一种半导体零部件加工用慢走丝切割工件装夹治具的制作方法

文档序号:30052689发布日期:2022-05-17 15:28阅读:244来源:国知局
一种半导体零部件加工用慢走丝切割工件装夹治具的制作方法

1.本实用新型属于半导体零部件加工治具技术领域,具体涉及一种半导体零部件加工用慢走丝切割工件装夹治具。


背景技术:

2.半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用,如二极管就是采用半导体制作的器件。
3.现有一种半导体零部件加工用慢走丝切割设备可对上下两个叠放的圆片状工件进行切割,切割时通过工件装夹治具对工件进行固定,但现有的工件装夹治具不具有定心功能,为此我们提出一种半导体零部件加工用慢走丝切割工件装夹治具。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的在于提供一种半导体零部件加工用慢走丝切割工件装夹治具,以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种半导体零部件加工用慢走丝切割工件装夹治具,包括底座,所述底座顶部设置有固定机构,所述固定机构可固定底座顶部放置的工件。
6.还包括定心机构,所述定心机构设置在固定机构顶端,所述固定机构可将叠放在一起的工件移动至同轴线处。
7.优选的,所述固定机构包括多个呈圆周阵列分布的固定组件,所述固定组件包括侧板,所述侧板固定连接在底座顶部,所述侧板外侧设置有活动块,所述活动块一侧固定安装有橡胶垫,所述活动块朝向侧板一侧两端固定安装有两个间隔分布的导向杆,所述导向杆贯穿侧板,所述导向杆上套设有弹簧,所述弹簧两端分别固定连接在侧板和活动块上,所述活动块一侧固定安装有铁片,所述侧板朝向活动块一侧固定安装有电磁铁,所述电磁铁通电可吸附铁片。
8.优选的,所述橡胶垫外侧面呈弧面设置。
9.优选的,所述定心机构包括多组呈圆周阵列分布的定心组件,所述定心组件包括支撑板,所述支撑板固连在底座顶部,所述支撑板一侧设有推板,所述推板两端均固定安装有横杆,所述横杆贯穿支撑板,所述推板上固定安装有驱动条,所述支撑板上固定安装有两个间隔分布的竖板,两个所述竖板之间可转动安装有横轴,所述横轴上固定安装有驱动轮,所述驱动轮与驱动条啮合,所述横轴贯穿竖板,所述横轴端部固定安装有第一锥齿轮。
10.优选的,所述定心机构还包括驱动组件,所述驱动组件可驱动多个第一锥齿轮同步同向转动。
11.优选的,所述驱动组件包括顶板,所述顶板位于底座顶端,所述顶板上固定安装有支撑杆,所述支撑杆下端固连在底座上,所述顶板底部可转动安装有多个竖轴,多个所述竖
轴之间通过皮带机构传动,所述竖轴底部均固定安装有第二锥齿轮,所述第二锥齿轮分别与第一锥齿轮啮合。
12.优选的,所述驱动组件还包括电机,所述电机固连在顶板顶部,所述电机的输出轴贯穿顶板并与竖轴固连。
13.与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
14.(1)、该装置通过设置固定机构,将工件放置在底座顶部,通过弹簧处于压缩状态下的弹力带动活动块、橡胶垫压紧工件,从而将工件固定在底座上,加工完成之后通过启动电磁铁通电,电磁铁通电吸附铁片,从而可取出工件。
15.(2)、该装置通过设置定心机构通过电机带动多个竖轴、第二锥齿轮同步同向转动,第二锥齿轮带动第一锥齿轮转动,从而驱动轮带动驱动条移动,多个推板相互靠近并使上方的圆片工件向轴线处移动,从而完成对心。
附图说明
16.图1为本实用新型的结构示意图;
17.图2为本实用新型的固定组件的放大示意图;
18.图3为本实用新型的定心组件的部分结构放大示意图;
19.图4为本实用新型的驱动组件的放大示意图;
20.图中:1、底座;2、侧板;3、活动块;4、橡胶垫;5、导向杆;6、弹簧;7、铁片;8、电磁铁;9、支撑板;10、推板;11、横杆;12、驱动条;13、竖板;14、横轴;15、驱动轮;16、第一锥齿轮;17、顶板;18、支撑杆;19、竖轴;20、皮带机构;21、第二锥齿轮;22、电机;111、工件。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
22.请参阅图1-图4,本实用新型提供一种半导体零部件加工用慢走丝切割工件装夹治具,包括底座1,底座1顶部设置有固定机构,固定机构可固定底座1顶部放置的工件。还包括定心机构,定心机构设置在固定机构顶端,固定机构可将叠放在一起的工件移动至同轴线处。
23.本实施例中,优选的,固定机构包括多个呈圆周阵列分布的固定组件,固定组件包括侧板2,侧板2固定连接在底座1顶部,侧板2外侧设置有活动块3,活动块3一侧固定安装有橡胶垫4,活动块3朝向侧板2一侧两端固定安装有两个间隔分布的导向杆5,导向杆5贯穿侧板2,导向杆5上套设有弹簧6,弹簧6两端分别固定连接在侧板2和活动块3上,活动块3一侧固定安装有铁片7,侧板2朝向活动块3一侧固定安装有电磁铁8,电磁铁8通电可吸附铁片7。橡胶垫4外侧面呈弧面设置。将工件111放置在底座1顶部,可参考说明书附图中图1所示,通过弹簧6处于压缩状态下的弹力带动活动块3、橡胶垫4压紧工件111,从而将工件111固定在底座1上,加工完成之后通过启动电磁铁8通电,电磁铁8通电吸附铁片7,从而可取出工件111。
24.本实施例中,优选的,定心机构包括多组呈圆周阵列分布的定心组件,定心组件包括支撑板9,支撑板9固连在底座1顶部,支撑板9一侧设有推板10,推板10两端均固定安装有横杆11,横杆11贯穿支撑板9,推板10上固定安装有驱动条12,支撑板9上固定安装有两个间隔分布的竖板13,两个竖板13之间可转动安装有横轴14,横轴14上固定安装有驱动轮15,驱动轮15与驱动条12啮合,横轴14贯穿竖板13,横轴14端部固定安装有第一锥齿轮16。
25.本实施例中,优选的,定心机构还包括驱动组件,驱动组件可驱动多个第一锥齿轮16同步同向转动。驱动组件包括顶板17,顶板17位于底座1顶端,顶板17上固定安装有支撑杆18,支撑杆18下端固连在底座1上,顶板17底部可转动安装有多个竖轴19,多个竖轴19之间通过皮带机构20传动,竖轴19底部均固定安装有第二锥齿轮21,第二锥齿轮21分别与第一锥齿轮16啮合。驱动组件还包括电机22,电机22固连在顶板17顶部,电机22的输出轴贯穿顶板17并与竖轴19固连。多个推板10为弧形块且与橡胶垫4是同轴心设置。
26.本实施例中,优选的,通过电机22带动多个竖轴19、第二锥齿轮21同步同向转动,第二锥齿轮21带动第一锥齿轮16转动,从而驱动轮15带动驱动条12移动,多个推板10相互靠近并使上方的圆片工件向轴线处移动,从而完成对心。
27.本实用新型的工作原理及使用流程:该装置使用时,将工件111放置在底座1顶部,可参考说明书附图中图1所示,通过弹簧6处于压缩状态下的弹力带动活动块3、橡胶垫4压紧工件111,从而将工件111固定在底座1上,加工完成之后通过启动电磁铁8通电,电磁铁8通电吸附铁片7,从而可取出工件111。通过电机22带动多个竖轴19、第二锥齿轮21同步同向转动,第二锥齿轮21带动第一锥齿轮16转动,从而驱动轮15带动驱动条12移动,多个推板10相互靠近并使上方的圆片工件向轴线处移动,从而完成对心。
28.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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