一种钨丝绳压头成型装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及单晶炉生产技术领域，尤其涉及一种钨丝绳压头成型装置。
【背景技术】
[0002]目前，单晶硅制造行业采用的CZ直拉法技术生产单晶硅晶体，在拉制单晶时需要一种提拉软轴。作为单晶炉内提拉系统的一个中要组件，提拉软轴的工作环境恶劣，不仅要承载单晶棒的重量，而且要承受单晶炉内1500°C的高温。因此，提拉软轴必须需要满足高强度、耐高温、耐疲劳等技术要求。
[0003]长期以来，单晶炉提拉软轴选用钢丝绳，但随着IC行业和光伏行业对原材料单晶硅纯度要求的不断提高，以及将“有磁场”植入单晶炉内，钢丝绳的劣势越来越明显。此外，钢丝绳的Fe元素和C元素也会造成单晶硅的杂质含量超标，并且钢丝绳制备的提拉软轴承载端的承载球为熔化绳头堆积成型，绳体与承载球连接薄弱，容易发生断裂失效，在拉晶过程中提拉软轴的断裂将造成严重的经济损失。
[0004]由于钨丝绳优异的物理和力学性能，已经取代钢丝绳成为单晶炉提拉系统的重要组成部分。钨丝绳由绳体、压头(包括承载头和固定头)组成，压头设置在绳体的两端，在使用过程中起到固定和承载的作用。钨丝绳压头的连接强度直接影响钨丝绳的使用寿命，但由于钨的熔点较高，钨丝绳的压头无法采用融化成型的方法与绳体连接。因此，提供一种钨丝绳压头制备装置有很大的必要性。
[0005]中国专利申请号200810150620.8，公开一种钨丝绳端头承载球的成形工艺，利用铌或钽或以铌或钽为基材的合金材料的金属塑性变型，进行冷挤压工艺成形，压制过程为:在一个包括上模和下模，且上模和下模中间制有球形成形内腔和作为溢流口的钨丝绳通道的挤压模具的球形成形内腔放置大小合适的铌或钽或以铌或钽为基材的合金材料;将钨丝绳绳头放入挤压模具的钨丝绳通道内，将上模和下模合并后通过压力机挤压，此成型工艺无法确保上下模均匀施力，从而影响压头成型率，而且此结构只能上下压制，不适合特殊压头的实际需求，比如多棱柱状结构等。
【实用新型内容】
[0006]有鉴于此，本实用新型的目的是针对现有技术的不足，提供一种钨丝绳压头成型装置，解决了单晶炉技术领域中钨丝绳压头成型率低的技术问题。
[0007]为达到上述目的，本实用新型采用以下技术方案:
[0008]—种钨丝绳压头成型装置，包括压制模具、成型结构和液压控制装置，所述压制模具包括多个压制模块，所述多个压制模块相互配合后形成镂空部;所述成型结构包括底座和设置在所述底座上的压制结构，所述压制结构设置中空部，所述压制结构设置多个顶推结构，所述顶推结构一端与所述压制模块固定连接，所述顶推结构另一端与所述液压控制装置相连接。
[0009]优选的，所述压制结构为筒状，所述压制结构内设置有油腔，所述液压控制装置的输出端、所述油腔和所述顶推结构依次相连通，所述压制结构端面设有多个固定密封螺栓。
[0010]优选的，所述顶推结构通过液压进出结构与所述液压控制装置相连接。
[0011]优选的，所述顶推结构一端与所述压制模块的一端采用相互配合的锲形结构固定连接。
[0012]优选的，所述顶推结构设置固定挡板，所述固定挡板一端与所述顶推结构固定连接，所述固定挡板另一端与所述压制模块接触连接。
[0013]优选的，所述液压控制装置包括液压缸和液压控制模块，所述顶推结构通过液压进出结构与所述液压缸固定连接;所述液压控制模块包括依次电连接的压力传感器、信号调理电路、控制器和电磁阀，所述压力传感器和所述电磁阀分别与所述液压缸固定连接。
[0014]本实用新型的有益效果是:
[0015]本实用新型公开的一种钨丝绳压头成型装置，压制模具包括多个压制模块，即压制模具为分割体，多个压制模块拼接后形成的镂空部即压头的设计形状，每个压制模块分别固定连接有顶推结构，顶推结构与液压控制装置相连接，通过液压控制装置带动顶推结构和压制模具沿径向施力在钨丝绳压头上使钨丝绳压头成型，多个压制模块设计且分别配合顶推结构使本实用新型在压制过程中对钨丝绳压头多角度均匀施力。综上，本实用新型公开的技术方案相对本领域技术人员是不易想到的。
[0016]首先多角度均匀施力有利于减少钨丝绳内部的结构间隙，从而保证了成型钨丝绳压头的结构强度，同时增加钨丝绳压头的压制精度降低生产过程中的不良率;其次，通过更换全部或部分压制模具，在其他结构不变化的情况下可以压制不同形状的压头，从而增加本实用新型的实用性，而且拆装过程操作便捷。
[0017]另外，压制结构为筒状，压制结构内设置有油腔，液压控制装置的输出端、油腔和顶推结构依次相连通，液压油可以通过液压控制装置输送到油腔或者从油腔中回流到液压控制装置，以此控制顶推结构的伸缩，压制结构端面设有多个固定密封螺栓，密封螺栓的设计便于压制结构的检修工作;顶推结构通过液压进出结构与所述液压控制装置相连接，液压进出结构可以采用密封转接结构，有利于本实用新型的检修工作，也可以使用液体流量控制装置，有利于监控液压控制装置中液体的进出量;顶推结构一端与压制模块的一端采用相互配合的锲形结构固定连接，顶推结构设置锲形槽，压制模块设置锲形凸起，锲形结构的相互配合便于压制模块的安装与拆卸;顶推结构设置固定挡板，固定挡板一端与顶推结构固定连接，固定挡板另一端与压制模块接触连接，固定挡板的增设可以进一步的增加压制模块的固定强度，防止长期使用过程中压制模块的松脱。
[0018]此外，液压控制装置包括液压缸和液压控制模块，液压控制模块使用数字化管理，使本实用新型可以根据不同的压头调整压力参数，而且易于监控。
[0019]综上所述，本实用新型具有施力均匀、压头结构稳定、压头精度高、成型率高等优点，相对现有技术和公知常识是具有实质性特点和进步。
【附图说明】
[0020]图1为本实用新型实施例一的结构示意图。
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