技术特征：
技术总结
本发明提供一种靶组件，其可抑制背板的延伸部分和靶侧面之间发生异常放电，同时能可靠地防止接合靶和背板的粘接材料向外部渗出，并且背板很容易再利用。具有绝缘材料靶(21)和通过粘接材料接合在该靶的一面上的背板(22)，且背板具有比靶的外周边更向外延伸的延伸部分(22a)的本发明的靶组件(2)，其特征在于：还具有与靶侧面之间留出规定的间隙而围绕在靶周围，覆盖延伸部分的靶侧的面并在背板上装卸自如的环形绝缘板(23)。
技术研发人员：中村真也;池田佳广;宫口有典;桥本一义;堤贤吾;藤井佳词
受保护的技术使用者：株式会社爱发科
技术研发日：2015.06.16
技术公布日：2017.08.01