技术总结
本发明公开了蒸发体以及这种蒸发体的运行方式。蒸发体(2)用于PVD蒸发设备中并且具有带有中心蒸发面(6)的上表面(4)。为了在构造简单的同时能够阻止散布的金属熔体扩散至装设在端侧处的电极，所述蒸发面(6)在纵向方向(x)上直接以横向槽(8B)为界，所述横向槽针对散布于蒸发面(6)上的金属溶体形成屏障。
技术研发人员：R.格劳;R.恩古梅尼亚皮;H.施韦格尔;D.王
受保护的技术使用者：肯纳金属公司
文档号码：201610443781
技术研发日：2016.06.20
技术公布日：2017.01.04