用于制造压力传感器的材料及压力传感器的制备方法与流程

文档序号:11937510阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于制造压力传感器的材料,其特征在于其质量份组成如下:铝10-20份、钒6-8份、锆1.5-3.2份、镁2.4-3.6份、钇0.8-1.2份、镍0.8-2.4份、钼0.5-2.4份、钌1.1-2.0份、锰0.6-2.4份、锌0.8-1.2份、钪0.2-0.6份、铌0.06-0.12份、硼0.12-0.36份。

2.根据权利要求1所述的用于制造压力传感器的材料,其特征在于:所述材料的质量份组成如下:铝12份、钒6.5份、锆1.8份、镁2.6份、钇0.9份、镍1.2份、钼0.6份、钌1.2份、锰0.8份、锌0.9份、钪0.3份、铌0.08份、硼0.15份。

3.根据权利要求1所述的用于制造压力传感器的材料,其特征在于:所述材料的质量份组成如下:铝10份、钒6份、锆1.5份、镁2.4份、钇0.8份、镍0.8份、钼0.5份、钌1.1份、锰0.6份、锌0.8份、钪0.2份、铌0.06份、硼0.12份。

4.根据权利要求1所述的用于制造压力传感器的材料,其特征在于:所述材料的质量份组成如下:铝15份、钒7份、锆2.4份、镁3份、钇1份、镍1.6份、钼1.5份、钌1.6份、锰1.5份、锌1份、钪0.4份、铌0.09份、硼0.24份。

5.根据权利要求1所述的用于制造压力传感器的材料,其特征在于:所述材料的质量份组成如下:铝20份、钒8份、锆3.2份、镁3.6份、钇1.2份、镍2.4份、钼2.4份、钌2.0份、锰2.4份、锌1.2份、钪0.6份、铌0.12份、硼0.36份。

6.一种制造压力传感器的方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤:

(1)按质量份数准备原料:铝10-20份、钒6-8份、锆1.5-3.2份、镁2.4-3.6份、钇0.8-1.2份、镍0.8-2.4份、钼0.5-2.4份、钌1.1-2.0份、锰0.6-2.4份、锌0.8-1.2份、钪0.2-0.6份、铌0.06-0.12份、硼0.12-0.36份;

(2)步骤(1)中的原料用千吨油压机制成电极,然后放入真空自耗电弧炉中通过水冷铜坩埚进行熔炼,然后进行铸锭、开坯、锻造,然后电炉加热至900-950℃,保温30-100min,用,用旋锻机旋锻、退火,退火温度720℃ -780℃、保温时间2.5-3h,然后空冷、矫直,机加成压力传感器。

7.根据权利要求6所述的制造压力传感器的方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤:

(1)按质量份数准备原料:铝15份、钒7份、锆2.4份、镁3份、钇1份、镍1.6份、钼1.5份、钌1.6份、锰1.5份、锌1份、钪0.4份、铌0.09份、硼0.24份;

(2)步骤(1)中的原料用千吨油压机制成电极,然后放入真空自耗电弧炉中通过水冷铜坩埚进行熔炼,然后进行铸锭、开坯、锻造,然后电炉加热至900-950℃,保温30-100min,用,用旋锻机旋锻、退火,退火温度720℃ -780℃、保温时间2.5-3h,然后空冷、矫直,机加成压力传感器。

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