一种离子束抛光系统的运输装置及其运输方法与流程

文档序号:11800184阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种离子束抛光系统的运输装置,用于双真空离子束抛光系统中工件的运输抛光,所述双真空离子束抛光系统包括真空工作室(100)和真空辅助室(101),所述真空工作室(100)和真空辅助室(101)连通,所述真空工作室(100)和真空辅助室(101)之间设置有能够控制二者通断的插板阀(102),其特征在于:所述运输装置包括导轨组件、用于安装工件的运输车(1)、直线运动模组(2)以及控制单元,所述导轨组件包括设置在真空工作室(100)内的第一直线导轨(3)和设置在真空辅助室(101)内的第二直线导轨(4),所述运输车(1)设置在导轨组件上且能够在导轨组件上直线运动,所述直线运动模组(2)设置在真空工作室(100)内,所述直线运动模组(2)包括直线导向件(21)、能够在直线导向件(21)上直线滑动的滑块(22)以及驱动滑块(22)滑动的驱动机构,所述运输装置还包括能够连接运输车(1)和滑块(22)的连接机构,所述控制单元分别与连接机构和驱动机构相连,当滑块(22)滑动至运输车(1)附近时,所述控制单元能够控制连接机构将滑块(22)和运输车(1)连接锁定;当滑块(22)与运输车(1)连接锁定后,所述控制单元能够控制滑块(22)滑动并带动运输车(1)在第一直线导轨(3)和第二直线导轨(4)上运动。

2.根据权利要求1所述的一种离子束抛光系统的运输装置,其特征在于:所述第一直线导轨(3)具有两根且在真空工作室(100)内平行设置,所述第二直线导轨(4)也具有两根且在真空辅助室(101)内平行设置,所述第一直线导轨(3)和第二直线导轨(4)分设在插板阀(102)的两侧,所述第一直线导轨(3)和第二直线导轨(4)之间形成有间隙。

3.根据权利要求2所述的一种离子束抛光系统的运输装置,其特征在于:所述直线运动模组(2)设置在两根第一直线导轨(3)之间,所述滑块(22)的滑动路径与第一直线导轨(3)相互平行。

4.根据权利要求3所述的一种离子束抛光系统的运输装置,其特征在于:所述直线运动模组(2)为丝杠型直线运动模组或同步带型直线运动模组,所述驱动机构包括驱动电机。

5.根据权利要求2所述的一种离子束抛光系统的运输装置,其特征在于:所述运输车(1)下部具有与第一直线导轨(3)/第二直线导轨(4)配合连接的滑动部,所述滑动部与第一直线导轨(3)/第二直线导轨(4)相互嵌合,所述运输车(1)通过滑动部与第一直线导轨(3)/第二直线导轨(4)滑动连接,当运输车(1)在第一直线导轨(3)和第二直线导轨(4)之间滑动时,所述滑动部能够从第一直线导轨(3)和第二直线导轨(4)中的一个部件上经过两者之间的间隙过渡至另一部件上。

6.根据权利要求2所述的一种离子束抛光系统的运输装置,其特征在于:所述运输车(1)下部具有与第一直线导轨(3)/第二直线导轨(4)配合连接的滚轮,所述第一直线导轨(3)/第二直线导轨(4)上开设有与第一直线导轨(3)/第二直线导轨(4)延伸方向一致的导向槽,所述滚轮能够嵌入在导向槽中并在导向槽中滚动,当运输车(1)在第一直线导轨(3)和第二直线导轨(4)之间运动时,所述滚轮能够从第一直线导轨(3)和第二直线导轨(4)中的一个部件上经过两者之间的间隙过渡至另一部件上。

7.根据权利要求1所述的一种离子束抛光系统的运输装置,其特征在于:所述连接机构包括固定设置在滑块(22)上的第一连接件(5)和固定设置在运输车(1)上的第二连接件(6),当滑块(22)运动至运输车(1)附近时,所述控制单元能够控制第一连接件(5)与第二连接件(6)相互吸合。

8.根据权利要求7所述的一种离子束抛光系统的运输装置,其特征在于:所述第一连接件(5)为电磁铁,所述第二连接件(6)为固定在运输车(1)上的铁块,当滑块(22)运动至运输车(1)附近时,所述电磁铁与铁块相互接触,所述控制单元控制电磁铁得电与铁块相互吸合。

9.根据权利要求1至8任一项所述的一种离子束抛光系统的运输装置,其特征在于:所述运输装置还包括能够感应滑块(22)位置的第一位置感应开关(7)和第二位置感应开关(8),所述第一位置感应开关(7)和第二位置感应开关(8)一前一后地设置在真空工作室(100)内,当滑块(22)运动至第一位置感应开关(7)/第二位置感应开关位置(8)处时,第一位置感应开关(7)/第二位置感应开关(8)反馈信号给控制单元,控制单元控制驱动机构停止工作,所述滑块(22)停止滑动。

10.一种使用根据权利要求9所述的离子束抛光系统的运输装置运输工件的运输方法,其特征在于:包括以下步骤:

1)将工件安装在运输车(1)上,将运输车(1)安设在第二直线导轨(4)上;

2)通过控制单元控制直线运动模组(2)工作,所述滑块(22)在直线导向件(21)上滑动向运输车(1)靠近;

3)当滑块(22)滑动至第一位置感应开关(7)位置处,所述第一位置感应开关(7)反馈信号给控制单元,所述控制单元控制连接机构将滑块(22)与运输车(1)连接锁定;

4)控制单元控制滑块(22)向远离插板阀(102)的方向滑动,所述运输车(1)在滑块(22)的拉动下从真空辅助室(101)进入真空工作室(100);

5)当滑块(22)滑动至第二位置感应开关(8)位置处时,所述第二位置感应开关(8)反馈信号给控制单元,所述控制单元控制驱动机构停止工作,所述滑块(22)停止滑动,所述运输车(1)到达工作位置;

6)当工件抛光完成后,控制单元控制滑块(22)向靠近插板阀(102)的方向运动,所述运输车(1)在滑块(22)的推动下从真空工作室(100)回到真空辅助室(101);

7)当滑块(22)再次滑动至第一位置感应开关(7)位置处时,所述第一位置感应开关(7)反馈信号给控制单元,所述控制单元控制控制驱动机构停止工作,所述滑块(22)停止滑动,同时,所述控制单元还控制连接机构解锁,滑块(22)与运输车(1)分离,所述运输车(1)回到初始位置;

8)所述控制单元控制滑块(22)向远离插板阀(102)的方向滑动;

9)当滑块(22)滑动至第二位置感应开关(8)位置处,所述第二位置感应开关(8)反馈信号给控制单元,所述控制单元控制驱动机构停止工作,所述滑块(22)停止滑动。

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