刀具金刚石涂层制备装置的制作方法

文档序号:11840721阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种刀具金刚石涂层制备装置,其特征在于,包括罩体,该罩体具有一反应腔,所述反应腔内设置有支撑台,所述支撑台上方设置有螺旋形热丝,该螺旋形热丝的轴向位于竖直方向,刀具支撑于所述支撑台上并位于所述螺旋形热丝围成的空间内,所述支撑台可沿轴向转动,所述螺旋形热丝分别与热丝电源和直流偏压电源连接。

2.根据权利要求1所述的刀具金刚石涂层制备装置,其特征在于:所述反应腔为密封的腔体,该腔体连接于真空及气压控制装置。

3.根据权利要求1所述的刀具金刚石涂层制备装置,其特征在于:所述罩体上设置有反应气体入口,该反应气体入口延伸于所述反应腔内并面向所述螺旋形热丝。

4.根据权利要求1所述的刀具金刚石涂层制备装置,其特征在于:所述支撑台上设置有冷却装置。

5.根据权利要求4所述的刀具金刚石涂层制备装置,其特征在于:所述冷却装置包括绕设于所述支撑台的循环水管,该循环水管具有冷却水入口和冷却水出口,所述冷却水入口和冷却水出口之间连接有冷却水源和循环水泵。

6.根据权利要求1所述的刀具金刚石涂层制备装置,其特征在于:所述罩体上还设置有观察口。

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