一种双面研磨垫蓝宝石窗口片减薄加工方法与流程

文档序号:12148408阅读:895来源:国知局

本发明涉及蓝宝石技术领域,特别是涉及一种双面研磨垫蓝宝石窗口片减薄加工方法。



背景技术:

蓝宝石晶体具有优良的光学性能、物理性能和稳定的化学性能。广泛应用于高亮度LED衬底材料、各种光学元器件、扫描仪窗口材料。蓝宝石窗口片用于光学窗口领域具有以下几个优良特征:1.高光学透射率,蓝宝石晶体有很好的透光性能,其透光范围为0.15~7.5微米,覆盖了紫外、可见、近红外、中红外等波段;2.高耐磨性,膨胀系数仅为5X10-6/度,熔点为2050°C,工作温度可达1900°C,具有优秀的耐热冲击和耐高温性能;3.很好的机械性能,其硬度可达莫氏9级,同时还有很好的抗压强度、压缩强度和弯曲强度,同时具有抗电磁干扰、电磁兼容性能,抗辐射性能、电绝缘性能;随着蓝宝石应用领域的发展,对蓝宝石研磨厚度去除效率、外观等要求也越来越高,传统的研磨加工方法不仅加工效率低、晶片外观划痕多、成本高等不足。



技术实现要素:

本发明所要解决的问题是提供一种双面研磨垫蓝宝石窗口片减薄加工方法,解决传统的研磨加工方法加工效率低、晶片外观划痕多、成本较高的问题。

为解决以上问题本发明所采用的方案:

一种双面研磨垫蓝宝石窗口片减薄加工方法,其加工工艺如下:

(1)制片:先通过切割将蓝宝石工件制成蓝宝石薄片,其中蓝宝石薄片的厚度为400-500微米;

(2)安装摆放垫与打孔:将聚氨酯垫分别粘贴在上盘面与下盘面上,同时利用美工刀片对盘面上的流砂进行开孔;

(3)配制金刚石研磨液:将5%的金刚石研磨液与95%自制悬浮液混合进行反应,在20℃-30℃下匀速搅拌15-45min,制备成金刚石研磨液;

(4)加入金刚石研磨液:加入金刚石研磨液,金刚石研磨液的流量保持在10-20mL/min,使金刚石研磨液有效的分部在盘面的表面上;

(5)研磨:打开研磨机进行研磨,研磨的时间为25-35min,研磨机的压力为450-550kg,研磨机的转速为25-35转/min;

(6)回收金刚石研磨液:研磨完成后对研磨机上的金刚石研磨液进行回收再利用。

上述一种双面研磨垫蓝宝石窗口片减薄加工方法,其中,所述的金刚石研磨液为河南联合牌水性液,超纯水为实验室纯水机自制超纯水。

本方案的有益效果:

本发明提供的一种双面研磨垫蓝宝石窗口片减薄加工方法,包括了制片、安装摆放垫与打孔、配制金刚石研磨液、加入金刚石研磨液、研磨与回收研磨液等步骤,步骤简单,制备方便,采用聚氨酯垫配合金刚石研磨液的加工方法,利用聚氨酯研磨垫硬度较低,表面有许多小孔,在研磨的过程中金刚石颗粒可以镶嵌在表面,有效的减少金刚石颗粒对晶片表面的磨损,有效的提高加工效率,提升晶片外观质量,大大降低了成本并且可回收利用。

具体实施方式

实施例1:一种双面研磨垫蓝宝石窗口片减薄加工方法,其加工工艺如下:

(1)制片:先通过切割将蓝宝石工件制成蓝宝石薄片,其中蓝宝石薄片的厚度为400微米;

(2)安装摆放垫与打孔:将聚氨酯垫分别粘贴在上盘面与下盘面上,同时利用美工刀片对盘面上的流砂进行开孔;

(3)配制金刚石研磨液:将5%的金刚石研磨液与95%自制悬浮液混合进行反应,在20℃下匀速搅拌15min,制备成金刚石研磨液;

(4)加入金刚石研磨液:加入金刚石研磨液,金刚石研磨液的流量保持在10mL/min,使金刚石研磨液有效的分部在盘面的表面上;

(5)研磨:打开研磨机进行研磨,研磨的时间为25min,研磨机的压力为450kg,研磨机的转速为25转/min;

(6)回收金刚石研磨液:研磨完成后对研磨机上的金刚石研磨液进行回收再利用。

实施例2:一种双面研磨垫蓝宝石窗口片减薄加工方法,其加工工艺如下:

(1)制片:先通过切割将蓝宝石工件制成蓝宝石薄片,其中蓝宝石薄片的厚度为450微米;

(2)安装摆放垫与打孔:将聚氨酯垫分别粘贴在上盘面与下盘面上,同时利用美工刀片对盘面上的流砂进行开孔;

(3)配制金刚石研磨液:将5%的金刚石研磨液与95%自制悬浮液混合进行反应,在30℃下匀速搅拌30min,制备成金刚石研磨液;

(4)加入金刚石研磨液:加入金刚石研磨液,金刚石研磨液的流量保持在20mL/min,使金刚石研磨液有效的分部在盘面的表面上;

(5)研磨:打开研磨机进行研磨,研磨的时间为30min,研磨机的压力为550kg,研磨机的转速为30转/min;

(6)回收金刚石研磨液:研磨完成后对研磨机上的金刚石研磨液进行回收再利用。

实施例3:一种双面研磨垫蓝宝石窗口片减薄加工方法,其加工工艺如下:

(1)制片:先通过切割将蓝宝石工件制成蓝宝石薄片,其中蓝宝石薄片的厚度为500微米;

(2)安装摆放垫与打孔:将聚氨酯垫分别粘贴在上盘面与下盘面上,同时利用美工刀片对盘面上的流砂进行开孔;

(3)配制金刚石研磨液:将5%的金刚石研磨液与95%自制悬浮液混合进行反应,在25℃下匀速搅拌45min,制备成金刚石研磨液;

(4)加入金刚石研磨液:加入金刚石研磨液,金刚石研磨液的流量保持在15mL/min,使金刚石研磨液有效的分部在盘面的表面上;

(5)研磨:打开研磨机进行研磨,研磨的时间为35min,研磨机的压力为500kg,研磨机的转速为35转/min;

(6)回收金刚石研磨液:研磨完成后对研磨机上的金刚石研磨液进行回收再利用。

上述一种双面研磨垫蓝宝石窗口片减薄加工方法,其中,所述的金刚石研磨液为河南联合牌水性液,超纯水为实验室纯水机自制超纯水。

本发明提供的一种双面研磨垫蓝宝石窗口片减薄加工方法,包括了制片、安装摆放垫与打孔、配制金刚石研磨液、加入金刚石研磨液、研磨与回收研磨液等步骤,步骤简单,制备方便,采用聚氨酯垫配合金刚石研磨液的加工方法,利用聚氨酯研磨垫硬度较低,表面有许多小孔,在研磨的过程中金刚石颗粒可以镶嵌在表面,有效的减少金刚石颗粒对晶片表面的磨损,有效的提高加工效率,提升晶片外观质量,大大降低了成本并且可回收利用。

仅为本发明较佳的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,可轻易想到的变化或替换,都应涵盖在本发明的保护范围内。因此,本发明的保护范围应该以权利要求书的保护范围为准。

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