一种掩膜板及其组装方法与流程

文档序号:15780064发布日期:2018-10-30 21:21阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种掩膜板,包括多个条状骨架结构、由骨架结构支撑的具有掩膜图案的掩膜片;所述骨架结构包括中间部以及两端的延伸部,所述中间部的宽度大于所述延伸部的宽度;其特征在于,所述掩膜板还包括具有开口区域的框架;

其中,所述框架上设置有与所述开口区域相连的凹槽;

所述骨架结构两端的延伸部以及所述中间部中靠近所述延伸部的过渡区域位于所述凹槽内,且将所述骨架结构与所述凹槽相固定的固定点至少设置在所述过渡区域内;

设置在一个所述过渡区域内的多个所述固定点沿所述骨架结构的宽度方向设置。

2.根据权利要求1所述的掩膜板,其特征在于,所述凹槽包括相连的第一区域和第二区域;

其中,沿所述骨架结构的宽度方向,所述第一区域的宽度大于所述第二区域的宽度;所述第一区域与所述开口区域相连;

所述骨架结构的过渡区域位于所述第一区域内,所述骨架结构的延伸部至少位于所述第二区域内。

3.根据权利要求2所述的掩膜板,其特征在于,所述掩膜板还包括设置在所述凹槽内的沿所述骨架结构的宽度方向的切割槽,且所述切割槽位于所述固定点远离所述开口区域的一侧。

4.根据权利要求3所述的掩膜板,其特征在于,沿所述骨架结构的宽度方向,所述切割槽的长度等于所述第一区域的宽度。

5.根据权利要求2所述的掩膜板,其特征在于,相邻的至少两个凹槽的第一区域相连。

6.根据权利要求5所述的掩膜板,其特征在于,所述掩膜板还包括设置在所述第一区域内的沿所述骨架结构的宽度方向的切割槽,且所述切割槽位于所述固定点远离所述开口区域的一侧;其中,相连的至少两个凹槽内的切割槽连接在一起。

7.根据权利要求6所述的掩膜板,其特征在于,沿所述骨架结构的宽度方向,所述切割槽连接在一起的长度等于所述第一区域连接在一起的宽度。

8.根据权利要求3或6所述的掩膜板,其特征在于,沿所述骨架结构的长度方向,所述切割槽的宽度为0.1~1.0mm。

9.根据权利要求2所述的掩膜板,其特征在于,所述掩膜片的两端通过固定点固定在所述框架中位于相邻两个第二区域之间的部分。

10.根据权利要求1所述的掩膜板,其特征在于,所述固定点还设置在所述延伸部上。

11.根据权利要求1所述的掩膜板,其特征在于,所述框架包括外框和套设在所述外框内的具有开口区域的内框;所述凹槽开设在所述内框上,且所述内框开设有所述凹槽的一面高于所述外框。

12.一种掩膜板的组装方法,其特征在于,所述掩膜板包括多个条状骨架结构、具有掩膜图案的掩膜片以及具有开口区域的框架;其中,所述骨架结构由中间部以及两端的延伸部构成,所述中间部的宽度大于所述延伸部的宽度;所述框架上设置有与所述开口区域相连的凹槽;所述组装方法包括,

将所述骨架结构固定在所述框架上,并使所述骨架结构处于紧绷状态;其中,所述骨架结构两端的延伸部以及所述中间部中靠近所述延伸部的过渡区域位于所述凹槽内,且将所述骨架结构与所述凹槽相固定的固定点至少设置在所述过渡区域内;

设置在一个所述过渡区域内的多个所述固定点沿所述骨架结构的宽度方向设置;

将所述掩膜片架设在相邻的两个所述骨架结构上,并将所述掩膜片固定在所述框架中位于相邻两个所述凹槽之间的部分,且使所述掩膜片处于紧绷状态。

13.根据权利要求12所述的组装方法,其特征在于,所述骨架结构和所述掩膜片通过焊接方式固定在所述框架上。

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