1.一种化学气相沉积装置，包括：反应腔和位于反应腔顶部的喷淋头，喷淋头包括一个由顶板、外侧壁、内侧壁和底板组成的空心圆柱体，在顶板的内部设有一个上进气腔，空心圆柱体的内部被中层板分成两个独立且互相密封的部分，从上到下依次为下进气腔和冷却腔，在顶板与底板之间设有与上进气腔和反应腔连通的上进气导管，在中层板与底板之间设有与下进气腔和反应腔连通的下进气导管，在顶板的中心设有尾气导管，尾气导管的上端开口于顶板外，尾气导管的下端向下依次穿过顶板、中层板、底板后与反应腔相连通，其特征在于：在反应腔的侧壁内部设有进气腔，穿过侧壁设有与侧壁进气腔和反应腔连通的侧壁进气导管，反应气体经侧壁进气导管从外侧向中心喷入反应腔中，下进气腔被两个竖直的隔离壁分成三个部分，沿径向从中心向外侧依次为内下进气腔、中下进气腔和外下进气腔，上进气腔的进气导管的直径小于中下进气腔的进气导管的直径，且上进气腔的进气导管设置在中下进气腔的进气导管中，上进气腔、内下进气腔、中下进气腔、外下进气腔的反应气体经各自的进气导管从上向下喷入反应腔中，反应腔中的尾气经尾气导管从下向上抽出，反应腔内的气体沿径向从外侧向中心流动。
2.根据权利要求1所述的化学气相沉积装置，其特征在于：反应腔的侧壁进气腔包括上侧壁进气腔和下侧壁进气腔，其中：上侧壁进气腔位于基座外侧上方，上侧壁进气导管分布在喷淋头和基座之间的侧壁上，而下侧壁进气腔位于基座外侧下方，下侧壁进气导管分布在基座下方的侧壁上，上侧壁进气腔和下侧壁进气腔用于输运第二反应气体或者第三反应气体。
3.根据权利要求1所述的化学气相沉积装置，其特征在于：上进气腔和中下进气腔的进气导管均为规则单圈排列，上进气腔用于输运第一反应气体，中下进气腔用于输运第二反应气体，内下进气腔和外下进气腔用于输运第二反应气体或者第三反应气体。
4.根据权利要求2或3所述的化学气相沉积装置，其特征在于：所述第一反应气体为金属有机气体，或者金属有机气体和载气的混合气体；所述第二反应气体为氢化物气体，或者氢化物气体和载气的混合气体；所述第三反应气体为载气，包括氮气、氢气和惰性气体中的一种或多种。