技术总结
本发明涉及干蚀刻清洗剥离防护液，主要由四烷基季胺、油酸、有机溶剂组成，其中，各组份之间的比例为四烷基季胺：油酸：有机溶剂=25～30：0.1～8：65～70。本发明所述干蚀刻清洗剥离防护液的有益效果主要有：在干蚀刻清洗剂或剥离液中可以很简单地消除或减少铝金属的腐蚀，而且不会对环境造成不良影响，同时配方简单，易混合，而且成本低廉，使用温度易控。经试验，该干蚀刻清洗剥离防护液安全无毒，即可以达到防止或减少铝金属在干蚀刻过程中的腐蚀，又可以达到环保要求，同时配方简单，易混合，而且成本低廉，使用温度易控。
技术研发人员：王建荣
受保护的技术使用者：昆山欣谷微电子材料有限公司
文档号码：201611227554
技术研发日：2016.12.27
技术公布日：2017.05.10