低成本的硅片切割方法与流程

文档序号:12368014阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种低成本的硅片切割方法,其步骤包括:

A.切割机利用成品砂浆对硅棒进行切割,切割完成,下料至脱胶机。

B.脱胶机自来水喷淋预清洗;

C.脱胶机自来水超声清洗;

D.脱胶机乳酸脱胶,下料至清洗机;

E.清洗机柠檬酸超声清洗;

F.清洗机自来水溢流超声漂洗;

G.清洗机药剂超声清洗;

H.清洗机纯水溢流漂洗,下料至分选台;

I.分选台分选检验后包装出货。

所述步骤A中成品砂浆的配置方法为:

a.新砂浆配置:

新砂和回收砂按照6:4的比例配置成砂,新切割液和回收切割液按照1:9的比例配置成切割液;

将砂、切割液按照1:1的比例配置成密度为1.660-1.670kg/L的悬浊液,搅拌8小时后进行密度监控,符合新砂浆标准后用于成品砂浆配置,新砂浆标准如下:

D50值:9.40-12.00;

小颗粒累计(0-5.13um):<5%;

粒径集中累计(7.50-13.31um):≥80;

最大颗粒(19.50um):<0.15%;

PH值25℃:5.0-7.5;

电导率(us/cm):<30;

粘度(mPa·s):240-320;

比重25℃(kg/L):1.665-1.670;

含水率:≤0.5%。

b.在线砂浆配置:

将切割产生的废砂浆用切割液稀释至1.5-1.6kg/L。然后将稀释好的废砂浆用离心机分离为一次重液和一次轻液。再用压滤机对一次轻液进行压滤,产生在线回收切割液;

将在线回收切割液加入一次重液中加入进行调和,将一次重液的密度调整至1.55-1.6kg/L,然后再用离心机将一次重液分离为二次重液和二次轻液。用压滤机对二次轻液进行压滤,产生在线回收切割液。将在线回收切割液加入二次重液中进行调和,将二次重液的密度调整至1.680-1.685kg/L,即为在线砂浆。

c.成品砂浆配置:

将配置完成的新砂浆和在线砂浆按照2:8的比例混合为成品砂浆,搅拌2小时后进行密度监控,符合成品砂浆标准后用于切割,成品砂浆标准如下:

D50值:8.65-9.40;

小颗粒累计(0-5.13um):<6%;

粒径集中累计(7.50-13.31um):≥80;

最大颗粒(19.50um):<0.2%;

PH值25℃:5.0-7.5;

电导率(us/cm):<30;

粘度(mPa·s):200-280;

比重25℃(kg/L):1.675-1.680;

含水率:≤0.8%。

2.根据权利要求1所述的低成本的硅片切割方法,其特征在于:所述步骤A中的成品砂浆还添加有分散剂。

3.根据权利要求1所述的低成本的硅片切割方法,其特征在于:所述步骤B中产生的废水经压滤机压滤处理后重新用于步骤B。

4.根据权利要求1所述的低成本的硅片切割方法,其特征在于:所述步骤F中产生的废水经压滤机压滤处理后重新用于步骤B。

5.根据权利要求1所述的低成本的硅片切割方法,其特征在于:所述步骤H中产生的废水用于步骤F。

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