高效率抛光垫刻整与梳理装置的制作方法

文档序号:11963431阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种高效率抛光垫刻整与梳理装置,其特征在于,包含:

一载盘;以及

一刻整层,设置于所述载盘;所述刻整层具有复数个交错设置的凹沟,使该刻整层具有复数个呈规则排列的凸部,各该凸部概呈等高且各该凹沟概呈等深。

2.如权利要求1所述的高效率抛光垫刻整与梳理装置,其特征在于,该等凹沟具有复数个沿一第一方向延伸的第一凹沟;该等凹沟具有复数个沿一第二方向延伸的凹沟,该第一方向与该第二方向的夹角为垂直。

3.如权利要求1所述的高效率抛光垫刻整与梳理装置,其特征在于,该等凹沟具有复数个沿一第一方向延伸的第一凹沟;该等凹沟具有复数个沿一第二方向延伸的凹沟,该第一方向与该第二方向的夹角不等于90°。

4.如权利要求1所述的高效率抛光垫刻整与梳理装置,其特征在于,各该凸部的侧面具有斜边。

5.如权利要求1所述的高效率抛光垫刻整与梳理装置,其特征在于,各该凹沟的底面为一个平面。

6.如权利要求1所述的高效率抛光垫刻整与梳理装置,其特征在于,各该凸部为一尖端,且该等尖端概呈等高。

7.如权利要求1所述的高效率抛光垫刻整与梳理装置,其特征在于,该等凸部的侧面宽度概呈一致。

8.如权利要求1所述的高效率抛光垫刻整与梳理装置,其特征在于,该等凹沟的宽度概呈一致。

9.如权利要求1所述的高效率抛光垫刻整与梳理装置,其特征在于,该等凸部分别具有一上表面,该等上表面概呈等高。

当前第2页1 2 3 
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1