支撑顶针及承载腔室的制作方法

本实用新型涉及显示器制造领域，特别涉及一种支撑顶针及承载腔室。

背景技术：

在显示器件制造过程中，通常需要采用等离子体增强化学气相沉积(英文：Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition；简称：PECVD)镀膜工艺，使硅烷、氨气和氢气等气体发生化学反应，并高温沉积在基板上，使得基板上沉积出所需要的薄膜。随后，再通过机械手将沉积有薄膜的基板传输至承载腔室，并将基板放置在用于支撑基板的支撑顶针上，以便于完成基板的冷却，基板被冷却之后，再通过机械手将基板从承载腔室取出。

现有技术中有一种支撑顶针，该支撑顶针为圆柱结构，该支撑顶针的一端通过螺丝固定在承载腔室的内壁上，另一端的侧面支撑基板，支撑顶针的侧面与基板线接触。当机械手将基板传输至承载腔室时，以及当机械手将基板从承载腔室取出时，基板与支撑顶针之间会不断摩擦。随着时间的推移，支撑顶针上与基板接触的地方渐变为平面，支撑顶针与基板之间变为面接触，基板与支撑顶针的接触面的面积变大。而基板在被冷却的过程中，会由高温变为常温，当基板与支撑顶针的接触面的面积较大时，基板在与支撑顶针相接触的地方易产生裂纹，形成碎片。为了防止基板产生裂纹，每次当支撑顶针上与基板接触处变为平面时，就旋转支撑顶针，使支撑顶针的侧面与基板之间再次形成线接触。

通常在将支撑顶针旋转3次后，用于支撑基板的支撑顶针一端的侧面变为平面，整个支撑顶针便无法继续使用，需要重新换一个新的支撑顶针，因此，支撑顶针的使用寿命较短。

技术实现要素：

为了解决支撑顶针的使用寿命较短的问题，本实用新型提供了一种支撑顶针及承载腔室。所述技术方案如下：

第一方面，提供了一种支撑顶针，所述支撑顶针包括多个支撑机构，

所述多个支撑机构通过连接机构串接，每个所述支撑机构的高度方向与所述连接机构的高度方向平行，所述连接机构用于将所述多个支撑机构固定在承载腔室的内壁上，每个所述支撑机构能够在所述连接机构上移动至目标位置以支撑基板，且能够围绕所述连接机构旋转，所述支撑机构的侧面与所述基板线接触。

可选的，所述连接机构为螺纹杆，

每个所述支撑机构为圆柱结构，且中心设置有螺孔，所述螺孔的长度方向与所述支撑机构的高度方向平行；

所述螺纹杆穿过每个所述支撑机构的螺孔以串接所述多个支撑机构，所述螺纹杆的一端设置在所述承载腔室的内壁上，所述螺纹杆的另一端设置有卡接螺帽。

可选的，每个所述支撑机构的上底面设置有n个卡接槽，下底面设置有能够与所述n个卡接槽相卡接的n个凸起结构，所述n大于或等于2。

可选的，所述连接机构包括连接部件和固定部件，

所述连接部件固定在所述承载腔室的内壁上，所述连接部件的底部设置有至少两个滑轨，每个所述支撑机构能够在所述至少两个滑轨上移动至所述目标位置，所述连接部件与所述固定部件的一端固定连接，所述固定部件用于固定每个所述支撑机构。

可选的，每个所述支撑机构为圆柱结构，

每个所述支撑机构的侧面贯穿设置有定位孔，每个所述支撑机构通过所述定位孔上的固定螺帽固定在所述固定部件上。

可选的，每个所述滑轨远离所述连接部件的一端设置有限位螺帽。

可选的所述卡接螺帽与所述螺纹杆之间设置有垫片。

可选的每个所述支撑机构与所述至少两个滑轨的接触处设置有隔垫层，所述隔垫层上设置有与所述至少两个滑轨中每个所述滑轨相对应的滑块。

可选的所述连接部件为圆柱结构，所述固定部件的横截面为半圆弧形，所述连接部件的侧面与所述固定部件的内表面接触。

可选的所述卡接槽和所述凸起结构均呈十字状。

可选的所述连接部件和所述固定部件为一体件。

第二方面，提供了一种承载腔室，所述承载腔室的内壁设置有多个支撑顶针，每个所述支撑顶针为第一方面所述的支撑顶针。

本实用新型提供了一种支撑顶针及承载腔室，该支撑顶针包括多个支撑机构，每个支撑机构能够在连接机构上移动至目标位置以支撑基板，且能够围绕连接机构旋转，当目标位置上的支撑机构无法被继续使用时，只需更换另一支撑机构，无需重新换取一个新的支撑顶针，因此，延长了支撑顶针的使用寿命。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本实用新型。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例提供的一种支撑顶针的结构示意图；

图2是本实用新型实施例提供的一种支撑机构的结构示意图；

图3是本实用新型实施例提供的一种支撑机构的结构示意图；

图4是本实用新型实施例提供的另一种支撑顶针的结构示意图；

图5是本实用新型实施例提供的一种支撑机构的结构示意图；

图6是本实用新型实施例提供的一种支撑顶针支撑基板的示意图；

图7是现有技术中的支撑顶针的结构示意图。

通过上述附图，已示出本实用新型明确的实施例，后文中将有更详细的描述。这些附图和文字描述并不是为了通过任何方式限制本实用新型构思的范围，而是通过参考特定实施例为本领域技术人员说明本实用新型的概念。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型实施方式作进一步地详细描述。

本实用新型实施例提供了一种支撑顶针100，如图1所示，该支撑顶针100包括多个支撑机构110。

多个支撑机构110通过连接机构120串接，每个支撑机构110的高度方向(如图1中u所指示的方向)与连接机构120的高度方向(如图1中v所指示的方向)平行。连接机构120用于将多个支撑机构110固定在承载腔室的内壁(图1中未画出)上，每个支撑机构110能够在连接机构120上移动至目标位置以支撑基板200，且能够围绕连接机构120旋转，支撑机构110的侧面与基板200线接触。

综上所述，本实用新型实施例提供的支撑顶针，该支撑顶针包括多个支撑机构，每个支撑机构能够在连接机构上移动至目标位置以支撑基板，且能够围绕连接机构旋转，当目标位置上的支撑机构无法被继续使用时，只需更换另一支撑机构，无需重新换取一个新的支撑顶针，因此，延长了支撑顶针的使用寿命。

可选的，如图2所示，连接机构120为螺纹杆，每个支撑机构110为圆柱结构，且中心设置有螺孔111，螺孔111的长度方向(如图2中w所指示的方向)与支撑机构110的高度方向(如图2中u所指示的方向)平行。螺纹杆穿过每个支撑机构110的螺孔111以串接多个支撑机构。螺纹杆的一端设置在承载腔室的内壁上，螺纹杆的另一端设置有卡接螺帽121。支撑机构旋进螺纹杆，由于支撑机构和螺纹杆之间的摩擦力较大，所以支撑机构不易在螺纹杆上滑动。另外，卡接螺帽能够限定目标位置处的支撑机构的位置，锁紧目标位置处的支撑机构，防止目标位置处的支撑机构脱落。需要说明的是，图2是以一个支撑机构为例进行说明的。进一步的，卡接螺帽与螺纹杆之间设置有垫片。卡接螺帽与螺纹杆通过垫片能够更加紧密地连接在一起。

如图3所示，每个支撑机构110的上底面A设置有n个卡接槽112，下底面B设置有能够与n个卡接槽112相卡接的n个凸起结构113，n大于或等于2。示例的，n等于4。

示例的，如图3所示，卡接槽和凸起结构均呈十字状。相邻的两个支撑机构能够通过卡接槽和凸起结构卡接在一起，从而使得多个支撑机构能够更加稳固地串接在连接机构上。此外，图3中的111为螺孔。

进一步的，如图4所示，连接机构120包括连接部件123和固定部件124。连接部件123固定在承载腔室的内壁(图4中未画出)上，示例的，连接部件可以通过螺丝固定在承载腔室的内壁上。连接部件123的底部设置有至少两个滑轨1231，每个支撑机构110能够在至少两个滑轨1231上移动至目标位置。连接部件123与固定部件124的一端固定连接，该固定部件124用于固定每个支撑机构110。

如图4所示，每个支撑机构110为圆柱结构。每个支撑机构110的侧面贯穿设置有定位孔114，每个支撑机构110通过定位孔114上的固定螺帽(图4中未画出)固定在固定部件上124。固定部件上与定位孔相对应的位置处可以设置有紧固孔，固定螺帽穿过支撑机构上的定位孔，卡接至该紧固孔上，达到了将支撑机构固定在固定部件的效果。定位孔在支撑机构的侧面上的位置可以根据需求来确定，本实用新型实施例对此不做限定。

如图4所示，连接部件120为圆柱结构，固定部件124的横截面为半圆弧形，连接部件120的侧面与固定部件124的内表面接触。可选的，连接部件和固定部件可以为一体件。

进一步的，如图4所示，每个滑轨1231远离连接部件123的一端设置有限位螺帽1232。该限位螺帽能够限定目标位置处的支撑机构的位置，锁紧目标位置处的支撑机构，防止目标位置处的支撑机构脱落。

进一步的，如图5所示，每个支撑机构110与至少两个滑轨的接触处设置有隔垫层115，该隔垫层115上设置有与至少两个滑轨中每个滑轨相对应的滑块1151。在支撑机构上设置隔垫层和滑块，便于支撑机构能够在至少两个滑轨上快速移动至目标位置。

图6示出了本实用新型实施例提供的支撑顶针支撑基板的示意图。如图6所示，机械手601将沉积有薄膜的基板200传输至承载腔室，并将基板200放置在用于支撑基板200的支撑顶针上100，支撑顶针100的一端固定在承载腔室的内壁上，另一端(即目标位置)的支撑机构的侧面支撑基板200，该支撑机构的侧面与基板200线接触。当该支撑机构的侧面与基板200之间变为面接触时，旋转该支撑机构，使该支撑机构的侧面与基板200之间再次形成线接触。当旋转该支撑机构3次以后，该支撑顶针不可用，此时，将该支撑机构移动至连接机构上且远离基板的位置处，并将与该支撑机构相邻的支撑机构移动至目标位置，再采用当前时刻目标位置处的支撑机构继续支撑基板。示例的，支撑顶针可以包括4个支撑机构或5个支撑机构。需要说明的是，该支撑顶针包括的支撑机构的数量可以根据需求来确定，本实用新型实施例对此不作限定。

图7示出了现有技术中支撑顶针的结构示意图。如图7所示，现有技术中的支撑顶针330为一体件，所以当支撑顶针330与基板200之间变为面接触时，旋转该支撑顶针330，使支撑顶针330的侧面与基板200之间再次形成线接触。当旋转该支撑顶针3次以后，该支撑顶针便无法继续被使用，需要重新换一个新的支撑顶针，所以该支撑顶针一共仅能够被使用4次。假设本实用新型实施例提供的支撑顶针包括4个支撑机构，由于每个支撑机构能够被使用4次，所以该支撑顶针一共可以被使用16次，因此，本实用新型实施例提供的支撑顶针的使用寿命更长。

综上所述，本实用新型实施例提供的支撑顶针，该支撑顶针包括多个支撑机构，每个支撑机构能够在连接机构上移动至目标位置以支撑基板，且能够围绕连接机构旋转。当目标位置上的支撑机构无法被继续使用时，只需更换另一支撑机构，无需重新换取一个新的支撑顶针，因此，延长了支撑顶针的使用寿命，且该支撑顶针的成本较低，结构简单，易于实现。

本实用新型实施例提供了一种承载腔室，该承载腔室的内壁设置有多个支撑顶针，每个支撑顶针为图1或图4所示的支撑顶针。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。