1.一种石墨承载盘烘烤装置，其特征在于，所述烘烤装置包括沿前后方向设置的具有密封内腔的外壳、沿前后方向插设在所述外壳内腔中的矩形管、设于所述外壳内腔中的用于在所述矩形管的径向方向上对所述矩形管进行加热的加热器，所述外壳的前端部上开设有用于向所述矩形管内充入反应气的第一进气通道、用于向所述外壳内腔中充入保护气的第二进气通道，所述外壳的后端部上开设有与所述外壳内腔气流相通的排气通道，所述矩形管的前、后两端部上分别开设有进气口与出气口，所述矩形管上的进气口与所述第一进气通道气流相通且所述矩形管的前端部与所述第一进气通道相密封设置，所述烘烤装置还包括一端密封地连接在所述矩形管出气口上、另一端穿设通过所述排气通道后将所述矩形管内的反应气排出所述烘烤装置外的排气管，所述排气管的外侧壁与所述排气通道的内侧壁间构成一环形腔，所述外壳内腔中的保护气从所述环形腔中排出所述烘烤装置外。
2.根据权利要求1所述的石墨承载盘烘烤装置，其特征在于，所述的反应气选自氯气、氯化氢、四氯化硅、氢气、氮气中的一种或多种的混合。
3.根据权利要求1所述的石墨承载盘烘烤装置，其特征在于，所述烘烤装置还包括设于所述外壳内腔中的用于支撑在所述矩形管径向方向上的支撑件。
4.根据权利要求3所述的石墨承载盘烘烤装置，其特征在于，所述支撑件支撑在所述矩形管的后端部上，所述支撑件为支撑架，所述支撑架内设有循环冷却水腔，所述循环冷却水腔用于对所述矩形管与所述排气管间的密封处进行冷却。
5.根据权利要求1或4所述的石墨承载盘烘烤装置，其特征在于，所述矩形管的后端部与所述排气管间设有密封头，通过所述密封头，所述矩形管与所述排气管相密封设置。
6.根据权利要求1所述的石墨承载盘烘烤装置，其特征在于，所述矩形管前端部上套设有密封圈，所述矩形管通过所述密封圈与所述第一进气通道相密封设置。
7.根据权利要求1所述的石墨承载盘烘烤装置，其特征在于，所述的加热器为带保温层的电阻加热器。
8.根据权利要求1所述的石墨承载盘烘烤装置，其特征在于，烘烤时，所述外壳内的烘烤温度控制在500~1200℃间。
9.根据权利要求1所述的石墨承载盘烘烤装置，其特征在于，烘烤过程中的烘烤压力控制在100mbar~1000mbar。
10.根据权利要求1所述的石墨承载盘烘烤装置，其特征在于，所述外壳呈矩形状。