技术总结
本实用新型涉及一种抛光液在线调配内供给抛光机床，属于化学机械抛光领域。抛光液回收箱和机床支架分别与机床底座固定连接，抛光液在线调配装置与抛光液回收箱上方固定连接，Z向进给机构与机床支架固定连接，Z向进给机构与A轴摆动机构相连，A轴摆动机构与抛光头工具系统相连，机X向进给机构与床底座固定连接，X向进给机构上方与Y向进给机构相连，Y向进给机构上方与C轴转台相连。本实用新型对于提升我国高品质光学元件的制造水平和制造能力，推进光学曲面精密制造理论创新，加快我国航空航天、机械制造等产业的快速发展，具有重要学术价值和较大的社会经济效益。
技术研发人员：杨旭;张冰;张富;赵继;刘畅;刘思明;勾鹏巍
受保护的技术使用者：吉林大学
文档号码：201621230449
技术研发日：2016.11.16
技术公布日：2017.07.21