蒸镀组件及蒸镀设备的制作方法

文档序号:11672969阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种蒸镀组件。蒸镀组件包括磁性板,磁性板平行于掩模板,且磁性板正对掩模板;磁性板包括均匀分布于同一平面的多个磁性块,磁性块所在的平面平行于掩模板,每个磁性块提供相同的作用力作用于掩模板上,以使得掩模板向基板贴合。本发明还涉及一种蒸镀设备,该蒸镀设备包括上述蒸镀组件。上述蒸镀组件及蒸镀设备,在朝向基板的方向上,掩模板各处受到了均匀的推力或拉力,可以使掩模板与基板紧密贴合,从而使得材料只被蒸镀在基板上与掩模板的掩模图案对应的位置,进而使得基板的蒸镀效果较好。

技术研发人员:焦浩;陈祥麟
受保护的技术使用者:昆山国显光电有限公司
技术研发日:2017.05.16
技术公布日:2017.07.25
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