技术特征：
技术总结
本发明公开了一种自旋转立式镀膜基架，包括基架本体和支架，所述基架本体包括顶部的第一导向部和底部的第二导向部，所述支架用于承载待镀膜的样品，可旋转地设于所述基架本体上。本发明还公开了一种镀膜设备。本发明能够实现了流水线式生产，在保证薄膜质量的前提下，可以对样品多个表面一次性镀膜，镀膜工艺耗费时间短，产业化效率高，适合大规模工业化生产。
技术研发人员：崔骏;刘壮;张撷秋;杨世航;陈旺寿;李霖;钟国华
受保护的技术使用者：深圳先进技术研究院
技术研发日：2017.06.06
技术公布日：2017.09.05