蒸镀系统和蒸镀系统的蒸镀方法与流程

本发明涉及蒸镀技术领域，尤其是涉及一种蒸镀系统和蒸镀系统的蒸镀方法。

背景技术：

相关技术中，蒸镀系统的子蒸镀腔位于传送装置的两侧，并通过机械手做旋转运动在子蒸镀腔之间、子蒸镀腔与传送腔室之间传递工件，整个蒸镀系统中的机械手数量多，占用空间大且操作复杂，同时蒸镀系统的空间利用率不高，空间浪费现象严重、布局不合理。

技术实现要素：

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种蒸镀系统，所述蒸镀系统的布局合理、操作简单。

本发明的另一个目的在于提出了一种蒸镀系统的蒸镀方法。

根据本发明第一方面实施例的蒸镀系统，包括：至少一条蒸镀线，每条所述蒸镀线包括蒸镀腔室，所述蒸镀腔室包括多个子蒸镀腔，多个所述子蒸镀腔依次相连，所述蒸镀腔室的一端形成有蒸镀线入口、另一端形成有蒸镀线出口，所述子蒸镀腔内设有蒸发源组件；第一传送轨道，所述第一传送轨道穿设在所述蒸镀线入口和所述蒸镀线出口之间，所述第一传送轨道位于所述蒸发源组件的上方；托盘，所述托盘包括用于放置工件的托架，所述托盘可移动地设在所述第一传送轨道上以在所述蒸镀线入口和所述蒸镀线出口之间传送所述工件使所述蒸发源组件对所述工件进行蒸镀。

根据本发明实施例的蒸镀系统，通过使得蒸镀腔室的多个子蒸镀腔依次相连，并在蒸镀系统中设置第一传送轨道和托盘，使得托盘在第一传送轨道上移动以在各子蒸镀腔传递工件，省去了相关技术中设置在各子蒸镀腔之间用于传递工件的机械手和机械手在各子蒸镀腔之间的传递工序，简化了操作步骤，降低了工件在传递过程中破碎的风险，减小了工件与正常蒸镀位置之间的偏差，降低了对位工序的难度，同时优化了蒸镀线的布局，提高了空间利用率，使得蒸镀线的结构更加紧凑、布局更加合理，减小了蒸镀系统的整体占用空间和成本。

根据本发明的一些实施例，所述蒸镀系统还包括：第二传送轨道，所述第二传送轨道设在所述蒸镀腔室外，所述第二传送轨道与所述第一传送轨道围成环形轨道以使所述托盘在所述蒸镀线入口和所述蒸镀线出口之间循环移动。

根据本发明的一些具体实施例，所述蒸镀线为多条，所述第二传送轨道连接在相邻的两条所述蒸镀线之间，所述第二传送轨道的一端与相邻的两条所述蒸镀线中的其中一条所述蒸镀线的所述蒸镀线出口相连、另一端与相邻的两条所述蒸镀线中的另一条所述蒸镀线的所述蒸镀线入口相连以在多条所述蒸镀线之间形成所述环形轨道。

根据本发明的另一些具体实施例，所述第二传送轨道连接在每条所述蒸镀线的所述蒸镀线出口和所述蒸镀线入口之间以在每条所述蒸镀线之间形成所述环形轨道。

可选地，所述环形轨道形成为多边形轨道。

根据本发明的一些实施例，多条所述蒸镀线的所述第一传送轨道和所述第二传送轨道围成方形的所述环形轨道。

具体地，所述蒸镀线为两条，两条所述蒸镀线的所述蒸镀腔室相互平行，且两条所述蒸镀线中的所述工件的移动方向相反。

可选地，所述第一传送轨道和所述第二传送轨道均为滚珠丝杠导轨。

根据本发明的一些实施例，所述蒸镀线还包括：入口过渡腔，所述入口过渡腔位于所述蒸镀线入口的上游，所述入口过渡腔和所述蒸镀线入口之间设有至少一个第一对位机构，所述第一对位机构被构造成对所述工件进行预对位。

进一步地，所述蒸镀线还包括：掩膜板，所述掩膜板设在所述工件和所述蒸发源组件之间；至少一个所述子蒸镀腔内设有第二对位机构，所述第二对位机构被构造成对所述工件进行对位以使所述工件的待蒸镀区对准所述掩膜板的图案。

具体地，所述第二对位机构包括：对位板，所述对位板位于所述第一传送轨道的上方，所述对位板的上设有向下延伸的对位部；控制器，所述控制器与所述对位板相连，所述控制器被构造成控制所述对位板移动以使所述对位部对所述工件进行对位；和

弹性调节机构，所述弹性调节机构设在所述托盘的底部。

具体地，所述托盘还包括侧边，所述侧边连接在所述托架的外边缘，所述工件的上表面低于所述侧边的上端面。

根据本发明的一些实施例，所述对位部为两个，两个所述对位部间隔设置，且在从上到下的方向上，两个所述对位部彼此相对的一侧表面分别朝向远离彼此的方向倾斜延伸。

根据本发明的一些实施例，所述蒸镀线还包括：多个掩膜板室，每个所述掩膜板室内设有多个掩膜板，多个所述掩膜板室与多个所述子蒸镀腔一一对应，所述掩膜板室和与其对应的所述子蒸镀腔之间设有连通通道，所述掩膜板在所述连通通道内可移动以对所述子蒸镀腔内的所述掩膜板进行更换；

更换装置，所述更换装置在所述掩膜板室和与其对应的所述子蒸镀腔之间可移动，所述更换装置被构造成将所述子蒸镀腔内的所述掩膜板取出并将所述掩膜板室内的所述掩膜板运输到所述子蒸镀腔内以更换所述子蒸镀腔内的所述掩膜板。

具体地，所述更换装置包括推拉杆，所述推拉杆在所述掩膜板室和与其对应的所述子蒸镀腔之间可移动，所述掩膜板的邻近所述推拉杆的侧壁上设有配合孔，所述推拉杆适于伸入所述配合孔内以在所述推拉杆移动时带动所述掩膜板移动。

根据本发明的一些实施例，至少一个所述子蒸镀腔内的所述蒸发源组件包括多个蒸发源，多个所述蒸发源中的至少一个为备用蒸发源。

具体地，相邻的两个所述子蒸镀腔之间设有闸门，所述闸门在打开状态和关闭状态之间可切换，所述闸门处于所述打开状态下所述托盘从两个所述子蒸镀腔中的其中一个内移动至两个所述子蒸镀腔中的另一个内。

可选地，至少一条所述蒸镀线的多个所述子蒸镀腔呈一字形排列，或者呈折线形排列，或者呈蜂窝状环形排列。

根据本发明第二方面实施例的蒸镀系统的蒸镀方法，包括以下步骤：将所述工件放置在所述蒸镀线入口处的所述托盘上；所述工件随所述托盘进入所述蒸镀腔室并在多个所述子蒸镀腔之间依次移动以对所述工件进行蒸镀；蒸镀后的所述工件随所述托盘移动至所述蒸镀线出口外；将蒸镀后的所述工件从所述托盘中取出，并将所述工件送至下一个工序。

根据本发明的一些实施例，所述工件随所述托盘进入所述蒸镀腔室前，还包括以下步骤：对所述工件进行预对位。

进一步地，所述工件进入所述子蒸镀腔内后、对所述工件进行蒸镀前，还包括以下步骤：对所述工件进行精对位。

根据本发明的一些具体实施例，将蒸镀后的所述工件从所述托盘中取出后，还包括以下步骤：所述托盘从所述蒸镀线出口处移动至所述蒸镀线入口处。

根据本发明第二方面实施例的蒸镀系统的蒸镀方法，通过托盘带着工件在第一传送轨道上移动以使工件在各子蒸镀腔之间传递，省去了相关技术中设置在各子蒸镀腔之间用于传递工件的机械手和机械手在各子蒸镀腔之间的传递工序，简化了操作步骤，降低了工件在传递过程中破碎的风险，减小了工件与正常蒸镀位置之间的偏差，降低了对位工序的难度，同时优化了蒸镀线的布局，提高了空间利用率，使得蒸镀线的结构更加紧凑、布局更加合理，减小了蒸镀系统的整体占用空间和成本。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是根据本发明实施例的蒸镀系统的产线布局示意图；

图2是根据本发明实施例的蒸镀腔室的局部侧视图；

图3是根据本发明实施例的蒸镀腔室的局部俯视图；

图4是根据本发明实施例的掩膜板室和子蒸镀腔的示意图；

图5是根据本发明实施例的掩膜板室的另一个示意图；

图6是根据本发明实施例的掩膜板的结构示意图；

图7是根据本发明实施例的蒸镀系统的蒸镀方法的托盘传递流程图。

附图标记：

蒸镀系统1000，

蒸镀线100，蒸镀线入口101，蒸镀线出口102，

子蒸镀腔11，闸门111，

第一传送轨道2，子轨道21，

托盘3，子托架31，侧边32，

工件4，

蒸发源组件5，蒸发源51，机械臂52，

入口过渡腔61，出口过渡腔62，第一机械手63，第二机械手64，封装工序65，检测工序66，

第一对位机构71，对位板721，对位部7211，图像采集器722，弹性调节机构723，

掩膜板81，配合孔811，支架82，

掩膜板室91，推拉杆92，搁架93，支撑导轨931，滚轮9311。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

下面参考图1-图7描述根据本发明实施例的蒸镀系统1000。其中，蒸镀系统1000可以为真空蒸镀系统1000。真空蒸镀技术是oled(organiclight-emittingdiode，简称oled，中文名称为有机电激发光二极管)显示屏生产技术中的重要工序，主要是在真空环境中，将小分子材料及金属材料(例如mg、ag等)加热并镀到工件4上。

如图1所示，根据本发明一个实施例的蒸镀系统1000，包括：至少一条蒸镀线100，第一传送轨道2和托盘3。其中，蒸镀线100可以为一条或者多条。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

具体地，每条蒸镀线100包括蒸镀腔室，蒸镀腔室包括多个子蒸镀腔11，多个子蒸镀腔11依次相连。每个子蒸镀腔11内均为真空环境。如图1所示，相邻的两个子蒸镀腔11的侧壁可以彼此相连，或者相邻的两个子蒸镀腔11可以共用一个侧壁。由此，可以减小各子蒸镀腔11之间的间隙，使得蒸镀系统1000的结构更加紧凑，提高了空间利用率，减小了蒸镀腔室的整体占用空间，使得蒸镀线100的布局更加合理。

可选地，子蒸镀腔11可以形成为多边体形状，例如，在图1的示例中，子蒸镀腔11形成为长方体形状。当然，本领域的技术人员可以理解，子蒸镀腔11还可以形成为五边体、六边体等。

蒸镀腔室的一端形成有蒸镀线入口101，蒸镀腔室的另一端形成有蒸镀线出口102，子蒸镀腔11内设有蒸发源组件5。蒸发源组件5可以在子蒸镀腔11内移动(例如，在水平方向上移动)以对工件4进行蒸镀。其中，每个子蒸镀腔11内的蒸发源组件5可以分别对工件4蒸镀一层功能层薄膜(例如，电子注入层、发光层等)。

第一传送轨道2穿设在蒸镀线入口101和蒸镀线出口102之间，第一传送轨道2位于蒸发源组件5的上方。托盘3包括用于放置工件4的托架，托盘3可移动地设在第一传送轨道2上以在蒸镀线入口101和蒸镀线出口102之间传送工件4使蒸发源组件5对工件4进行蒸镀。由此，可以通过托盘3带着工件4在第一传送轨道2上移动以使工件4在各子蒸镀腔11之间传递，省去了相关技术中设置在各子蒸镀腔11之间用于传递工件4的机械手和机械手在各子蒸镀腔11之间的传递工序，简化了操作步骤，降低了工件4在传递过程中破碎的风险，减小了工件4与正常蒸镀位置之间的偏差，降低了对位工序的难度，且节省了机械手的占用空间，极大地减小了蒸镀系统1000的整体占用空间和蒸镀系统1000的成本。

具体地，参照图2和图3，第一传送轨道2可以包括两个彼此平行的子轨道21。在本发明的一些实施例中，托架可以包括多个子托架31，且多个子托架31围成一个框架，框架的形状可以与工件4轮廓形状相适配。例如，在图3的示例中，工件4可以大体形成为长方形，托架包括四个子托架31，四个子托架31围成一个长方形的框架，工件4的四个角分别支撑在对应的子托架31上。由此，可以将工件4稳定地支撑在框架上，且可以使得工件4的待蒸镀区裸露出来，方便蒸镀。

在本发明的另一些实施例中，托架还可以形成为一个整体的框架结构，例如，托架可以形成为长方形的框架等。由此，同样可以将工件4稳定地支撑在托架上，且可以使得工件4的待蒸镀区裸露出来以方便蒸镀。

例如，在蒸镀过程中，可以在蒸镀线入口101处将工件4放置在空托盘3的托架上，使托盘3带动工件4在第一传送轨道2上移动，将工件4从蒸镀线入口101传送至蒸镀线出口102，使得各子蒸镀腔11内的蒸发源组件5依次对工件4进行蒸镀，完成蒸镀过程，然后在蒸镀线出口102处将工件4从托盘3上取出进入下一个工序。其中，下一个工序可以为封装工序65或者检测工序66。

具体地，可以在蒸镀线入口101处设置第一机械手63，在蒸镀线出口102处设置第二机械手64，第一机械手63可以将待蒸镀的工件4放置在空的托盘3上，第二机械手64可以将蒸镀后的工件4从托盘3中取出以将蒸镀后的工件4送入下一个工序。

根据本发明实施例的蒸镀系统1000，通过使得蒸镀腔室的多个子蒸镀腔11依次相连，并在蒸镀系统1000中设置第一传送轨道2和托盘3，使得托盘3在第一传送轨道2上移动以在各子蒸镀腔11传递工件4，省去了相关技术中设置在各子蒸镀腔11之间用于传递工件4的机械手和机械手在各子蒸镀腔11之间的传递工序，简化了操作步骤，降低了工件4在传递过程中破碎的风险，减小了工件4与正常蒸镀位置之间的偏差，降低了对位工序的难度，同时优化了蒸镀线100的布局，提高了空间利用率，使得蒸镀线100的结构更加紧凑、布局更加合理，减小了蒸镀系统1000的整体占用空间和成本。

根据本发明的一些具体实施例，至少一条蒸镀线100的多个子蒸镀腔11呈一字形排列或者呈折线形排列。

具体而言，蒸镀系统1000中至少一条蒸镀线100的多个子蒸镀腔11呈一字形排列，例如，参照图2和图3，每个子蒸镀腔11均形成为长方体形状，多个子蒸镀腔11的侧壁依次相连并呈一字形排列。此时，第一传送轨道2形成为直线状。或者蒸镀系统1000的至少一条蒸镀线100的多个子蒸镀腔11可以呈折线形排列，例如，多个子蒸镀腔11可以大体呈l形、z形排列。此时，第一传送轨道2可以包括多个依次相连的直线段。

由此，可以减小相邻两个子蒸镀腔11之间的间隙，使得蒸镀腔室的结构更加紧凑，提高了空间利用率。同时，可以使得托盘3在第一传送轨道2上始终做直线运动，从而可以在各子蒸镀腔11之间直线传递工件4，有效地避免了工件4与托盘3之间产生相对滑动，减小了工件4与正常蒸镀位置之间的偏差，降低了对位工序的难度，有利于减少对位机构的数量，从而减小了对位机构的占用空间，进一步地简化了蒸镀系统1000的结构，降低了蒸镀系统1000的成本，且有效地避免了对位过程中对工件4造成损害使工件4发生破碎的现象，提高了产品合格率。同时，减小了因工件4与托盘3发生相对滑动而产生的静电，避免了因静电导致的各种异常现象(例如工件4破碎、损伤掩膜板81等)，保证了生产安全。

此外，在蒸镀过程中，为了保持蒸发源组件5的速率稳定，在整个蒸镀过程中，无论是否在对工件4进行蒸镀，蒸发源组件5始终处于蒸发状态，也就是说，蒸发源组件5在这个蒸镀过程中处于连续工作状态。因此，本申请中的蒸镀系统1000相对于相关技术中通过限制工件4移动速率来减小工件4滑动、保证安全生产的技术方案，减小了工件4的平均作业时间，从而减小了单个工件4对昂贵的蒸发源材料的消耗，降低了材料成本。

在本发明中的另一些具体实施例中，至少一条蒸镀线100的多个子蒸镀腔11还可以呈蜂窝状环形排列。具体而言，蒸镀系统1000的至少一条蒸镀线100的多个子蒸镀腔11呈蜂窝状环形排列。例如，每个子蒸镀腔11可以形成为六边体形状，多个子蒸镀腔11的侧壁依次相连形成为环形结构。此时，第一传送轨道2可以包括多个依次相连直线段。由此，同样可以减小相邻两个子蒸镀腔11之间的间隙，提高空间利用率且可以保证托盘3在各子蒸镀腔11内的运动轨迹大体为直线。

当然，可以理解的是，至少一个蒸镀线100的多个子蒸镀腔11还可以呈方形排列等。其具体排列方式可以根据实际情况调整涉及，本发明对此不作具体限定。

根据本发明的一些实施例，蒸镀系统1000还包括第二传送轨道(图未示出)，第二传送轨道设在蒸镀腔室外，第二传送轨道与第一传送轨道2围成环形轨道以使托盘3在蒸镀线入口101和蒸镀线出口102之间循环移动。由此，可以通过环形轨道实现托盘3在蒸镀线入口101和蒸镀线出口102之间循环移动，由此，可以循环利用托盘3，提高了蒸镀线100的自动化和生产效率。

例如，在本发明的一个具体实施例中，蒸镀线100为多条，第二传送轨道连接在相邻的两条蒸镀线100之间，具体地，第二传送轨道的一端与相邻的两条蒸镀线100中的其中一条蒸镀线100的蒸镀线出口102相连，第二传送轨道的另一端与相邻的两条蒸镀线100中的另一条蒸镀线100的蒸镀线入口101相连以在多条蒸镀线100之间形成环形轨道。

为方便描述，将相邻两条蒸镀线100中的其中一条蒸镀线100称为“第一蒸镀线”，将相邻两条蒸镀线100中的另一条蒸镀线100称为“第二蒸镀线”。具体而言，第二传送轨道的一端与第一蒸镀线的蒸镀线出口102相连，第二传送轨道的另一端与第二蒸镀线的蒸镀线入口101相连。由此，可以使得多条蒸镀线100的第一传送轨道2和第二传送轨道共同围成一个环形轨道，从而可以使得托盘3在整个蒸镀系统1000的多条蒸镀线100之间循环移动，提高了托盘3的利用率，且提高了蒸镀线100的自动化和生产效率。

例如，托盘3移动至第一蒸镀线的蒸镀线入口101处时，可以将待蒸镀的工件4放置在托盘3的托架上，由托盘3带着待蒸镀工件4在第一蒸镀线的各子蒸镀腔11内移动，以对待蒸镀工件4进行蒸镀。当托盘3移动至第一蒸镀线的出口处时，可以将蒸镀后的工件4从托盘3上取出，此时托盘3为空托盘3，托盘3可以通过第二传送轨道向第二蒸镀线的蒸镀线入口101移动。当托盘3移动至第二蒸镀线的蒸镀线入口101处时，可以将另一个待蒸镀的工件4放置在托盘3的托架上，由托盘3带着上述另一个待蒸镀工件4在第二蒸镀线的各子蒸镀腔11内移动，以对待蒸镀工件4进行蒸镀，当托盘3移动至第二蒸镀线的出口处时，可以将蒸镀后的工件4从托盘3上取出，使托盘3通过第二传送轨道移动至下一个蒸镀线100。

根据本发明的另一些具体实施例，第二传送轨道连接在每条蒸镀线100的蒸镀线出口102和蒸镀线入口101之间以在每条蒸镀线100之间形成环形轨道。其中，蒸镀线100可以为一条或者多条。例如，托盘3移动至蒸镀线100的蒸镀线入口101处时，可以将待蒸镀的工件4放置在托盘3的托架上，由托盘3带着待蒸镀工件4在该蒸镀线100的各子蒸镀腔11内移动，以对待蒸镀工件4进行蒸镀。当托盘3移动至该蒸镀线100的出口处时，可以将蒸镀后的工件4从托盘3上取出，此时托盘3为空托盘3，托盘3可以通过第二传送轨道向该蒸镀线100的蒸镀线入口101移动以循环利用托盘3。由此，同样可以循环利用托盘3，提高了托盘3的利用率，同时提高了蒸镀线100的自动化和生产效率。

可选地，环形轨道形成为多边形轨道。例如，环形轨道可以形成为方形、五边形、六边形等形状。由此，可以使得托盘3在蒸镀系统1000中的移动轨迹呈直线或者大体呈直线，从而便于控制托盘3在第一传送轨道2和第二传送轨道上移动，且进一步地避免了工件4与托盘3之间产生相对滑动，减小了工件4与正常蒸镀位置之间的偏差，进一步地降低了对位工序的难度，减少了对位机构的数量，进一步地简化了蒸镀系统1000的结构，降低了蒸镀系统1000的成本，且有效地避免了对位过程中对工件4造成损害使工件4发生破碎的现象，提高了产品合格率。同时，进一步地减小了因工件4与托盘3发生相对滑动而产生的静电，避免了因静电导致的各种异常现象(例如工件4破碎、损伤掩膜板81等)，保证了生产安全。

根据本发明的一个具体实施例，多条蒸镀线100的第一传送轨道2和第二传送轨道围成方形的环形轨道。其中，蒸镀线100可以为两条、三条或者四条。由此，可以使得托盘3始终保持直线运动，便于控制托盘3在第一传送轨道2和第二传送轨道上移动。

例如，在图1的示例中，蒸镀线100为两条，两条蒸镀线100的蒸镀腔室相互平行，且两条蒸镀线100中的工件4的移动方向相反。具体地，两条蒸镀线100的蒸镀腔室形成为长方体形状，两条蒸镀线100在方形的环形轨道上相对设置，托盘3可以沿图1中箭头标示的方向移动。由此，可以进化简化蒸镀系统1000的布局，且可以保证生产效率。

可选地，第一传送轨道2和第二传送轨道均为滚珠丝杠导轨以将滚珠丝杠导轨的回转运动转化为直线运动。由此，可以方便地实现托盘3在第一传送轨道2和第二传送轨道上的直线运动，结构简单，设计巧妙。

根据本发明的一些实施例，蒸镀线100还包括入口过渡腔61。工件4可以在入口过渡腔61内适应从大气状态向真空状态的转变。例如，蒸镀开始时，可以将工件4送入入口过渡腔61内，然后对入口过渡腔61抽真空，使得入口过渡腔61从大气状态转变为真空状态，从而可以使得工件4适应从大气状态向真空状态的转变，保证蒸镀的顺利进行。

具体地，入口过渡腔61位于蒸镀线入口101的上游，入口过渡腔61和蒸镀线入口101之间设有至少一个第一对位机构71，第一对位机构71被构造成对工件4进行预对位。例如，第一对位机构71可以将第一对位机构71的基台中心对准工件4的中心完成预对位，或者将工件4的中心对准托架的中心完成预对位，具体的对位标准可以根据实际生产情况调整设计。由此，可以通过第一对位机构71初步调整工件4的位置，防止工件4与正常的蒸镀位置偏差过大，简化了子蒸镀腔11内的对位工序，保证了蒸镀效果。同时，将第一对位机构71设置在蒸镀线入口101和入口过渡腔61之间，减少了第一对位机构71在子蒸镀腔11内的占用空间。

可选地，第一对位机构71可以为一个或者多个。第一对位机构71的具体数量可以根据实际情况调整设计。其中，第一对位机构71为多个时，多个第一对位机构71可以依次对工件4进行预对位，或者，多个第一对位机构71中的至少一个可以为备用对位机构，当多个第一对位机构71中的其中一个损坏时，可以通过备用对位机构对工件4进行对位以保证生产的顺利进行。其中，第一对位机构71可以是现有技术的任何对位设备，只要其能实现本发明的功能即可。

这里，需要说明的是，本申请中所说的“上游”指的是，蒸镀线100上工件4移动方向上的上游，相应地，本申请中所说的“下游”指的是，蒸镀线100上工件4移动方向上的下游。

进一步地，蒸镀线100还包括掩膜板81(mask)，掩膜板81设在工件4和蒸发源组件5之间。参照图2，掩膜板81可以支撑在支架82上。掩膜板81上具有图案，工件4的待蒸镀区可以与掩膜板81上的图案相对，这样，当工件4移动至蒸发源组件5上方时，蒸发源组件5可以在工件4上蒸镀出掩膜板81上的图案。

具体地，至少一个子蒸镀腔11内设有第二对位机构，第二对位机构被构造成对工件4进行对位以使工件4的待蒸镀区对准掩膜板81的图案。具体而言，可以在多个子蒸镀腔11中的其中一部分子蒸镀腔11内设置第二对机构，也可以在每个子蒸镀腔11内均设置第二对位机构。优选地，每个子蒸镀腔11内均设有第二对位机构。由此，可以通过第二对位机构对工件4进行精对位，使得工件4的待蒸镀区对准掩膜板81上的图案，提高了蒸镀位置的精确性，从而可以准确实现各层薄膜的蒸镀，提高了产品的合格率。

具体地，参照图2，第二对位机构包括对位板721和控制器。对位板721可以形成为方形，对位板721位于第一传送轨道2的上方，对位板721的上设有向下延伸的对位部7211，控制器与对位板721相连，控制器被构造成控制对位板721移动以使对位部7211对工件4进行对位。例如，控制器可以控制对位板721在上下、前后、左右方向上移动，也可以控制对位板721在空间内转动，以通过对位部7211对工件4进行对位。

根据本发明的一些实施例，第二对位机构还包括至少一个图像采集器722，图像采集器722与控制器相连，图像采集器722被构造成在第二对位机构对位前和/或对位后采集子蒸镀腔11内的图像以获取工件4和掩膜板81的相对位置，控制器根据图像采集器722获取的相对位置控制对位板721移动。其中，图像采集器722可以为一个或者多个。图像采集器722可以设置在子蒸镀腔11的顶壁、侧壁、底壁中的至少一个上。例如，当工件4移动至掩膜板81的正上方时，控制器可以根据工件4和掩膜板81的相对位置控制对位板721移动使得工件4的中心对准掩膜板81的中心，进而使得工件4的待蒸镀区对准掩膜板81的图案以完成对位，或者使得工件4的中心对准支架82的中心，进而使得工件4的待蒸镀区对准掩膜板81的图案以完成对位。可以理解的是，具体对位方法可以根据实际情况调整设计，本发明对此不作具体限定。

例如，在本发明的一些实施例中，图像采集器722可以在对位前采集子蒸镀腔11内的图像以获取工件4和掩膜板81的相对位置，这样，方便控制器根据工件4和掩膜板81的相对位置控制对位板721移动，从而可以精确地调节工件4的位置且提高了对位效率。

又如，在本发明的另一些实施例中，图像采集器722可以在对位后采集子蒸镀腔11内的图像，这样可以在对位后获取工件4和掩膜板81的相对位置，从而可以通过图像采集器722反馈对位情况，控制器可以根据图像采集器722的反馈结果判断是否对位成功，如果对位尚未成功，控制器可以根据工件4和掩膜板81的相对位置继续调整工件4的位置直至对位成功。由此，同样可以提高对位的精确性。

再如，在本发明的再一些实施例中，图像采集器722可以分别在对位前和对位后采集子蒸镀腔11内的图像，使得控制器可以根据对位前工件4和掩膜板81的相对位置控制对位板721移动对工件4进行对位，并根据对位后工件4和掩膜板81的相对位置判断是否对位成功。由此，可以提高对位的精确性和对位效率。

根本发明的一些进一步实施例，第二对位机构进一步包括弹性调节机构723，弹性调节机构723设在托盘3的底部。可选地，弹性调节机构723可以为弹簧等。由此，可以通过弹性调节机构723在上下方向上调节托盘3的位置，从而可以灵活地调节工件4的位置以对工件4进行对位。

具体地，在蒸镀线入口101处将工件4放置在托盘3上后，可以通过第一对位机构71按照标准进行预对位，例如，可以使得工件4的中心与第一对位机构71的基台中心重合，保持工件4锁死，然后通过滚珠丝杠导轨实现工件4的平稳移动，当工件4移动到掩膜板81的正上方时，通过第二对位机构对工件4进行对位，例如，可以先使掩膜板81支架82的中心与工件4的中心重合，然后利用弹性调节机构723的上下移动、图像采集器722获取的工件4和掩膜板81的相对位置，实现精对位。整个对位过程中掩膜板81保持不动，工件4通过滚珠丝杠导轨在各子蒸镀腔11内进行直线移动。

进一步地，蒸镀线出口102处可以设有出口过渡腔62，出口过渡腔62可以位于蒸镀线出口102的下游。蒸镀完成后的工件4可以在出口过渡腔62内适应从真空状态向大气状态的转变。例如，蒸镀完成时，可以将工件4送入出口过渡腔62内，然后对出口过渡腔62卸真空，使得出口过渡腔62从真空状态转变为大气状态，从而可以使得工件4适应从真空状态向大气状态的转变，保证生产的顺利进行。

具体地，工件4的传递流程如图7所示，首先在入口过渡腔61处，使工件4适应从大气状态到真空状态的转变，然后由第一机械手63将工件4传送到空的托盘3上，并由第一对位机构71进行预对位，接着托盘3与工件4一起移动到子蒸镀腔11内托盘3中心与掩膜板81中心对应的位置，通过第二对位机构进行精对位，然后开始蒸镀，以此类推，完成所有子蒸镀腔11的蒸镀过程。然后通过第二机械手64将工件4送入出口过渡腔62，最后将工件4送入下一个工序。

具体地，托盘3还包括侧边32，侧边32连接在托架的外边缘，工件4的上表面低于侧边32的上端面。这里，需要说明的是，本申请中的“外边缘”指的是，托架远离托架中心的边缘。其中，侧边32可以与托架31垂直或者大体与托架垂直。

例如，当托架包括多个子托架31时，侧边32可以连接在子托架31的左边缘或者右边缘上。当然，侧边32还可以连接在子托架31的前边缘或者后边缘上。又如，托架形成为一个整体的框架结构时，侧边32可以环绕在托架的外周。

具体地，工件4的上表面低于侧边32的上端面，由此，在对位过程中，可以通过第二对位机构的对位部7211与侧边32接触对工件4进行对位，从而避免了对位过程中对位部7211与工件4直接接触，进而有效地保护了工件4，防止工件4在对位过程中发生损坏。

可选地，第二对位机构的对位部7211为两个，两个对位部7211间隔设置，且在从上到下的方向上，两个对位部7211彼此相对的一侧表面分别朝向远离彼此的方向倾斜延伸。由此，对位部7211的上述依次表面可以形成为导向面，从而可以通过导向面与侧边32接触实现对工件4的对位。

例如，在图2的示例中，对位部7211可以设置在对位板721的下表面上，两个对位部7211在左右方向上间隔设置。对位部7211可以从对位板721的前端延伸至对位板721的后端，在从上至下的方向下，对位部7211的厚度逐渐减小。例如，对位部7211的横截面可以形成为三角形、梯形等形状。由此，便于对位部7211与侧边32接触对工件4进行对位且结构简单、加工方便。当然，可以理解是，两个对位部7211还可以在前后方向上间隔设置，此时对位部7211可以从对位板721的左端延伸至对位板721的右端。

在本发明的另一些实施例中，对位部7211可以为四个，四个对位部7211与四个托架一一对应，在从上至下的方向上，对位部7211邻近托架的一侧表面朝向远离托架的方向倾斜延伸形成导向面。由此，同样可以通过对位部7211方便地对工件4进行对位，且可以节省对位部7211的用料。

根据本发明的一些实施例，参照图1，蒸镀线100还包括多个掩膜板室91，每个掩膜板室91内设有多个掩膜板81，多个掩膜板室91与多个子蒸镀腔11一一对应，掩膜板室91和与其对应的子蒸镀腔11之间设有连通通道，掩膜板81在连通通道内可移动以对子蒸镀腔11内的掩膜板81进行更换。具体地，在蒸镀过程中，掩膜板81上会粘附大量的蒸发源材料，影响蒸镀效果。蒸镀一段时间后，可以将掩膜板室91内的掩膜板81对子蒸镀腔11内的掩膜板81进行更换，可以保证蒸镀效果。

进一步地，蒸镀线100还包括更换装置，更换装置在掩膜板室91和与其对应的子蒸镀腔11之间可移动，更换装置被构造成将子蒸镀腔11内的掩膜板81取出并将掩膜板室91内的掩膜板81运输到子蒸镀腔11内以更换子蒸镀腔11内的掩膜板81。具体地，参照图4和图5，更换装置可以包括推拉杆92，推拉杆92在掩膜板室91和与其对应的子蒸镀腔11之间可移动，掩膜板81的邻近推拉杆92的侧壁上设有配合孔811，推拉杆92适于伸入配合孔811内以在推拉杆92移动时带动掩膜板81移动。具体地，推拉杆92可以穿过连通通道伸入到子蒸镀腔11内，并在掩膜板室91和与其对应的子蒸镀腔11之间移动。由此，可以通过更换装置方便地将子蒸镀腔11内的掩膜板81拉出，并可以方便地将掩膜板室91内的掩膜板81推送至子蒸镀腔11内，完成更换。结构简单、设计巧妙。

进一步地，掩膜板室91内设有搁架93，搁架93相对掩膜板室91可上下移动，搁架93上设有多个支撑导轨931，多个支撑导轨931在上下方向上间隔设置，掩膜板81可滑动地设在支撑导轨931上。

参照图5，支撑导轨931可以设置在搁架93相对的两个侧壁上。例如，在更换过程中，可以在上下方向上移动搁架93，使得搁架93的其中一个空支撑导轨931对准连通通道，然后将推拉杆92推入子蒸镀腔11室内，使推拉杆92伸入子蒸镀腔11内掩膜板81上的配合孔811内，将子蒸发腔内的掩膜板81拉至上述空的支撑导轨931上，接着，再上下移动搁架93，使得放置有未使用的掩膜板81的支撑导轨931对准连通通道，然后将推拉杆92伸入上述未使用的掩膜板81的配合孔811，最后将上述未使用的掩膜板81从连通通道推入子蒸镀腔11内，完成更换。

具体地，支撑导轨931上设有滚轮9311，掩膜板81可滑动地设在滚轮9311上。参照图4，每个支撑导轨931上可以设有多个滚轮9311。由此，可以减小掩膜板81在支撑导轨931上的摩擦力，从而可以更加省力地更换子蒸发腔内的掩膜板81。

根据本发明的一些实施例，至少一个子蒸镀腔11内的蒸发源组件5包括多个蒸发源51，多个蒸发源51中的至少一个为备用蒸发源51。具体地，多个子蒸镀腔11中的其中一部分子蒸镀腔11内的蒸发源组件5可以包括多个蒸发源51，或者每个子蒸镀腔11内的蒸发源组件5均包括多个蒸发源51。由于蒸镀腔室内为真空环境，当蒸发源51出现故障时，卸真空之前需要等待蒸发源51温度冷却到一定温度后才能开腔，需要较长时间，而处理完问题后进行抽真空又需要数小时，从而耽误生产时间。

由此，在子蒸镀腔11内设置备用蒸发源51，当其中一个蒸发源51发生故障，例如，蒸发源51的蒸发速率不稳定、断线等，可以立即启动备用蒸发源51进行蒸镀，避免因蒸发源51发生故障导致整个产线停滞，节省了维修时间，且提高了蒸镀系统1000应对突发状况的能力，提高了蒸镀系统1000的稳定性和抗风险能力，保证了生产的连续性。同时，当其中一个蒸发源51内的蒸发材料耗尽时，也可以启用备用蒸发源51进行蒸镀，延长了生产时间，提高了生产效率。

可以理解的是，由于蒸镀材料为小分子有机材料，不能在高温下长时间储存，否则会导致蒸发材料变质，当上述其中一个蒸发源51内的蒸发材料即将耗尽或者蒸发速率不稳定时，可以对备用蒸发源51进行预先升温，以保证生产的顺利进行。

例如，在本发明的一个具体实施例中，每个子蒸镀腔11内设有两个机械臂52，每个机械臂52上安装有一个蒸发源51，两个蒸发源51中的其中一个为备用蒸发源51。

具体地，相邻的两个子蒸镀腔11之间设有闸门111，闸门111在打开状态和关闭状态之间可切换，闸门111处于打开状态下托盘3从两个子蒸镀腔11中的其中一个内移动至两个子蒸镀腔11中的另一个内。例如，当托盘3移动至闸门111处时，闸门111可以切换至打开状态以使托盘3顺利传递至下一个子蒸镀腔11内，当托盘3通过闸门111后，闸门111可以切换至关闭状态。由此，通过在各子蒸镀腔11之间设置闸门111，可以使得各子蒸镀腔11彼此独立且便于托盘3在各子蒸镀腔11之间移动，且当其中一个子蒸镀腔11出现漏气等故障时，能够快速锁定出现故障的范围，便于检修，同时避免了出现故障的子蒸镀腔11对其他子蒸镀腔11产生影响。

根据本发明实施例的蒸镀系统1000的其他构成以及操作对于本领域普通技术人员而言都是已知的，这里不再详细描述。

下面描述根据本发明第二方面实施例的蒸镀系统1000的蒸镀方法，其中，蒸镀系统1000可以为上述第一方面实施例中的蒸镀系统1000。具体地，蒸镀系统1000的蒸镀方法可以包括以下步骤：

将工件4放置在蒸镀线入口101处的托盘3上；

工件4随托盘3进入蒸镀腔室并在多个子蒸镀腔11之间依次移动以对工件4进行蒸镀；

蒸镀后的工件4随托盘3移动至蒸镀线出口102外；

将蒸镀后的工件4从托盘3中取出，并将工件4送至下一个工序。

由此，可以通过托盘3带着工件4在第一传送轨道2上移动以使工件4在各子蒸镀腔11之间传递，省去了相关技术中设置在各子蒸镀腔11之间用于传递工件4的机械手和机械手在各子蒸镀腔11之间的传递工序，简化了操作步骤，降低了工件4在传递过程中破碎的风险，减小了工件4与正常蒸镀位置之间的偏差，降低了对位工序的难度，同时优化了蒸镀线100的布局，提高了空间利用率，使得蒸镀线100的结构更加紧凑、布局更加合理，减小了蒸镀系统1000的整体占用空间和成本。

根据本发明的一些实施例，工件4随托盘3进入蒸镀腔室前，还包括以下步骤：对工件4进行预对位。由此，可以通过预对位工序初步调整工件4的位置，简化了子蒸镀腔11内的对位工序，保证了蒸镀效果。同时，在工件4随托盘3进入蒸镀腔室前对工件4进行预对位，减少了对位机构在子蒸镀腔11内的占用空间。

进一步地，工件4进入子蒸镀腔11内后、对工件4进行蒸镀前，还包括以下步骤：对工件4进行精对位。由此，可以保证蒸镀效果，提高了蒸镀位置的精确性，从而可以准确实现各层薄膜的蒸镀，提高了产品的合格率。

根据本发明的一些具体实施例，将蒸镀后的工件4从托盘3中取出后，还包括以下步骤：托盘3从蒸镀线出口102处移动至蒸镀线入口101处。由此，可以使得托盘3在蒸镀线100上循环移动，提高了托盘3的利用率，且提高了蒸镀线100的自动化和生产效率。

根据本发明第二方面实施例的蒸镀系统1000的蒸镀方法，操作简单，降低了编辑控制程序的难度且可靠性高，保证了生产的顺利进行。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由权利要求及其等同物限定。