一种超细纳米晶碳化钨涂层及其制备方法与流程

文档序号:11380880阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种超细纳米晶碳化钨涂层及其制备方法,为一种采用常压化学气相沉积的方法制备的超细纳米晶碳化钨涂层,所制备的超细纳米晶碳化钨涂层为具有高硬度、耐磨损、耐腐蚀特性的细晶粒层状碳化钨涂层,特别是存在粒径为3~5nm的W2C超细纳米晶和非晶,有效提高了层状结构涂层的层间结合力,和涂层硬度,该涂层的显微硬度可以达到28.8GPa。

技术研发人员:谭成文;张慧聪;于晓东
受保护的技术使用者:北京理工大学
技术研发日:2017.07.06
技术公布日:2017.09.05
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