技术特征：
技术总结
本发明提供一种有机发光二极管的制备装置，其包括：一蒸发装置、一蒸镀装置、一导管和一真空泵；所述蒸发装置包括一蒸发室和一第一加热装置；所述第一加热装置用于加热所述蒸发室，使设置于该蒸发室内的蒸发源材料蒸发；所述蒸镀装置包括一蒸镀室、一喷头和一载物台；该蒸发室通过该导管与一设置于该蒸镀室内的喷头连接；该喷头包括一喷头本体和一喷嘴，该喷头本体具有相对的第一表面和第二表面，该第一表面设置一开口，该开口与该导管的排气端连接，该第二表面为一开口结构，该喷嘴设置于该开口结构处，该喷嘴包括多个间隔设置的通孔；该载物台设置于该蒸镀室内；该真空泵与该蒸镀室连接，用于维持制备装置的真空度。
技术研发人员：纪进伟;廖文杰;范守善
受保护的技术使用者：清华大学;鸿富锦精密工业（深圳）有限公司
技术研发日：2017.09.22
技术公布日：2019.03.29