技术特征：
技术总结
本发明公开了一种多晶光致发光钨酸锌薄膜的制备方法，采用磁控溅射的方法制备，包括如下步骤：（a）制备氧化钨薄膜层；（b）在步骤（a）的基础上制备氧化锌薄膜层；（c）在步骤（b）的基础上制备氧化钨薄膜，重复步骤（a）中的操作；（d）对上述制备的WO3/ZnO/WO3多层薄膜在空气中进行退火处理，随后自然降温，即得最终样品。本发明采用金属钨和氧化锌陶瓷作为靶材，成本低、环保，且可大规模生产，制备的多晶钨酸锌薄膜与基底结合具有优良光致发光性能和较好透明度（＞70%）。
技术研发人员：张锋;袁春林;颜陈晨;汤起云;胡冬冬;张宜林
受保护的技术使用者：重庆理工大学
技术研发日：2017.12.06
技术公布日：2018.05.04